Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
Другие проблемы инфильтрации связаны с сервисными коммуникациями и местами их ввода в чистое помещение. Например, электрические розетки и выключатели, а также другие сервисные элементы могут сообщаться через внутренние трубки и каналы с загрязненными участками, где давление выше, чем в чистом помещении.
Контроль движения воздуха между чистыми помещениями и внутри них
135
А - стыки между потолком и стенами В - стык между потолком и корпусом фильтра С - граница раздела между потолком и панелями колонн D - панели, закрывающие колонны
Рис. 11.1. Проблемы инфильтрации, связанные с приточной вентиляцией
Подобные проблемы, возникающие в помещениях с более низким давлением, чем на смежных участках, довольно трудно предусмотреть заранее.
11.1.1 Методы контроля инфильтрации воздуха
Относительно просто проверить, в нужном ли направлении идет воздух через открытую дверь или через щели, расположенные по периметру дверного проема (при закрытой двери). Для этого пускают дым (см. ниже) и наблюдают за движением воздуха. Ho для того, чтобы убедиться в отсутствии проникновения нежелательного потока аэрозольных загрязнений в чистое помещение через щели в стенах, потолке, полах, корпусах фильтров и в других элементах, необходимо все эти щели проверить. Обычно они находятся в неплотно прилегающих перекрытиях (нахлестах) или стыковых соединениях, а также в тех местах чистого помещения, где, например, проложены трубопроводы и сервисные каналы.
Используемые для тестирования дым или аэрозоль надо распылить снаружи чистого помещения в тех местах, где находится тестируемый участок ограждающих конструкций, а места возможного проникновения загрязнений сканировать счетчиком частиц изнутри чистого помещения. Это далеко не простая задача. Там, где причина нарушения целостности неизвестна, зачастую очень трудно найти место для генерации тестового аэрозоля. В подобных случаях
136
Технология чистых помещений
можно попытаться обойтись без тестового аэрозоля и провести сканирование, регистрируя «обычные» аэрозольные частицы, проникающие со смежных загрязненных участков. Если при этом никаких частиц не обнаружено, то проблемы инфильтрации, скорее всего, в данном случае не существует.
Контроль течей через ограждающие конструкции должен проводиться в чистбм помещении до сдачи его заказчику или по окончании основных работ по реконструкции. Стандарт ISO 14644-2 включает контроль течей через ограждающие конструкции в список испытаний как «дополнительное» и устанавливает интервал между периодическими испытания в два года (см. таблицу 9.2).
11.2 Контроль воздушных потоков внутри чистого помещения
Частью процедуры испытания, гарантирующей, что чистое помещение функционирует правильно, является обязательная проверка движения воздуха внутри помещения. Необходимо также проверить, достаточно ли движение воздушных потоков внутри чистого помещения для того, чтобы обеспечить разбавление или удаление аэрозольных загрязнений, и, соответственно, предотвратить их накопление.
В турбулентно вентилируемое чистое помещение воздух подается и перемешивается турбулентным потоком. В чистых помещениях такого типа необходимо убедиться в том, что на всех участках обеспечивается хорошее перемешивание воздуха, которое и обеспечивает удаление загрязнений. Особенно важно продемонстрировать хорошее перемешивание воздуха в критических зонах, где продукция не защищена и подвержена риску загрязнения.
В помещениях с однонаправленным воздушным потоком, чтобы обеспечить максимально чистые условия, воздух подают на критические участки непосредственно из высокоэффективных фильтров. Однако и в этом случае можно столкнуться с проблемами из-за:
• тепла, исходящего от оборудования и разрушающего воздушный поток;
• преград, препятствующих поступлению воздуха на критические участки;
• преград или формы оборудования, превращающих однонаправленный поток в турбулентный;
• загрязнений, проникающих в поток чистого воздуха.
Наличие или отсутствие каких-либо из перечисленных проблем и вероятную причину повышения уровня загрязнения можно продемонстрировать с помощью визуализации воздушного потока.
Контроль движения воздуха между чистыми помещениями и внутри них
137
11.2.1 Визуализация движения воздушных потоков
Существует несколько методов, которые могут использоваться для визуализации воздушного потока в чистом помещении. Они могут быть разделены на следующие группы:
1. стримеры (указатели направления потока),
2. струи дыма или частиц,
3. измерение скорости и направления движения воздуха.
11.2.1.1 Стримеры
Стримеры (streamers), применяемые для визуального контроля воздушного потока, бывают нитяными и ленточными. Оптимальными считаются те, которые имеют высокое отношение площади поверхности к весу и за которыми можно без труда вести наблюдения. Можно использовать магнитофонные ленты, применяемые в музыкальных кассетах, а также свободные нити пряжи. Оптимальный способ применения стримеров - это закрепление их на конце анемометра; стример можно использовать для определения направления воздушного потока во время измерения скорости в определенной точке. Можно также использовать несколько стримеров, прикрепляя их на сетке так, как описано в п. 11.2.1.3.
