Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
Однако для систем с однонаправленным воздушным потоком такой подход неправомерен, так как в этом случае поток воздуха может перенести все частицы, прошедшие через точечный дефект в фильтре, непосредственно к продукции или месту проведения рабочих операций. Для того, чтобы не допустить наличия точечных дефектов, на конечной стадии производства фильтры должны быть просканированы. Для этого на вход фильтра подается тестовый аэрозоль, а на выходе вся поверхность фильтра сканируется пробоотборником частиц таким образом, чтобы области, проверяемые пробоотборником, перекрывались. Данный метод обнаружения точечных дефектов в основном идентичен методу сканирования, описанному в главе 12.
8.6 Крепление высокоэффективных воздушных фильтров
Высокоэффективный фильтр, покидающий пределы завода, где он был изготовлен и прошел испытания, имеет характеристики, соответствующие своему назначению. Если он был правильно упакован и транспортирован и если монтаж на месте проводился квалифицированным специалистом, имеющим опыт работы с легко повреждаемым фильтрующим материалом, то неизменность характеристик фильтра сохраняется.
Для того чтобы предупредить проникновение неотфильтрованного воздуха в чистое помещение, фильтр должен быть установлен с помощью хорошо спроектированной системы уплотнения. Конструкция крепления должна обеспечивать бесшумную работу, а особое внимание следует уделить способу герметизации посадочного места фильтра.
Обычно в корпусе фильтров используются неопреновые прокладки, как это иллюстрирует рис. 8.1. При установке фильтра в посадочное место прокладка сдавливается, одновременно уплотняя плоскую поверхность корпуса и предотвращая проникновение загрязненного воздуха за фильтр (рис. 8.6). Данный способ обычно дает положительный эффект, но возможная деформация корпуса
116
Технология чистых помещений
фильтра при транспортировке или монтаже, а также использование некачественных или старых прокладок могут привести к возникновению неплотностей и утечек. Решить эти проблемы можно только при использовании тщательно спроектированной системы крепления.
поток воздуха
корпус ^ПП d
¦ НИНІ I I
WHW
вег fei
прокладка
Рис. 8.6. Обычный способ герметизации с помощью неопреновой прокладки
несущие опоры каркаса
фильтрующий элемент с минигофром
корпус фильтра с острой кромкой
каркас потолка из алюминиевого профиля
Рис. 8.7. Каркас потолка с каналом для жидкого герметика
Высокоэффективная фильтрация воздуха
117
На рис.8.7 показана система, предназначенная для чистых помещений с однонаправленным воздушным потоком. Каркас потолка снабжен сплошным каналом, заполненным жидким гелеобразным герметиком, который не вытекает из канала наружу. Корпус фильтра, выполненный с острой кромкой, погружается в канал, заполненный герметиком. Жидкость смачивает кромку корпуса, обеспечивая идеальную изоляцию и предотвращая утечку воздуха через систему крепления фильтра.
Благодарности
Рисунки 8.1, 8.2 и 8.7 приводятся с разрешения Flanders Filters, рис.8.3 -с разрешения Evanite Fiber Corporation, табл. 8.1 - с разрешения Британского Института стандартов.
9
Испытания и мониторинг чистых помещений
Когда чистое помещение уже построено и готово к передаче заказчику или когда уже эксплуатировавшееся чистое помещение запускается вновь после модернизации (которая могла повлиять на контролируемые параметры загрязнений), необходимо провести испытания чистого помещения. Эти первичные испытания проводятся, чтобы убедиться в том, что чистое помещение работает должным образом и соответствует классу чистоты, заложенному в проекте. Требования, которым должно удовлетворять чистое помещение определенного класса чистоты, установлены в ISO 14644-1. Вторая цель подобных испытаний заключается в том, чтобы определить первоначальные значения характеристик чистого помещения, которые могут быть приняты за «реперные точки». При будущих проверках чистого помещения - как текущих, так и при возникновении каких-либо проблем с загрязнениями - могут быть обнаружены отклонения от реперных значений характеристик, что поможет установить вероятные причины загрязнений. Последней (хотя и косвенной) причиной проведения первичных испытаний чистого помещения является возможность практической подготовки и обучения персонала, который будет заниматься контролем и эксплуатацией чистого помещения. Для них это основная, а вероятно, и единственная, возможность изучить принципы работы своего чистого помещения и освоить методы контроля, которые позволяют удостовериться в том, что чистое помещение функционирует надлежащим образом.
После того, как установлено, что чистое помещение соответствует заложенному на этапе проектирования классу чистоты по стандарту ISO 14644-1, возникает необходимость периодического (через интервалы времени, установленные стандартом ISO 14644-2) контроля его параметров, чтобы подтвердить, что чистое помещение продолжает соответствовать стандарту. Многие чистые помещения строятся и сдаются заказчику, но при этом практически ничего не делается (или делается слишком мало) для того, чтобы гарантировать сохранение достигнутого класса чистоты в течение всей многолетней эксплуатации помещения. Следовательно, испытания надо проводить таким образом, чтобы
