Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Химия -> Уайт В. -> "Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации" -> 47

Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.

Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации — М.: Клинрум, 2002. — 304 c.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка): tehnologiyachistihpomesheniy2002.djvu
Предыдущая << 1 .. 41 42 43 44 45 46 < 47 > 48 49 50 51 52 53 .. 98 >> Следующая


Вопрос о том, применять или не применять специальные тестовые аэрозоли при проверке фильтров на наличие дефектов, следует решать, исходя из требования соответствия чистого помещения стандарту. Это означает, что, как правило, специальные тестовые аэрозоли потребуется использовать.

12.2 Некоторые виды аэрозолей для проверки фильтров

Ниже дается описание специальных тестовых аэрозолей, применяемых при проверке фильтров, установленных в чистом помещении, на наличие дефектов.

12.2.1 Масляный туман, получаемый при распылении

Диоктилфталат (DOP) - маслянистая жидкость, которая раньше применялась для испытания фильтров. В силу обнаруженной у DOP потенциальной токсичности, это вещество во многих странах больше не рекомендуется к применению. В настоящее время используются такие вещества, как диоктилсебацинат (DOS), минеральное масло Shell Ondina, полиальфаолефин (РАО) и диэтилгек-силсебацинат (DEHS).

Для получения тестового аэрозоля методом распыления воздух под высоким давлением пропускают через форсунку специальной конструкции (сопло Ласкина). Воздух выходит из сопла с высокой скоростью и разбрызгивает
148

Технология чистых помещений

масло, которое поступает из резервуара. На выходе генератора получается тонкодисперсный аэрозоль со средним медианным диаметром 0,5 мкм под небольшим избыточным давлением. Эти тестовые частицы должны вводиться в систему подачи воздуха в точке, отстоящей от фильтра на расстоянии, достаточном для того чтобы обеспечить нормальное перемешивание воздуха и, следовательно, равномерную концентрацию частиц на входе в фильтр.

Производительность одного сопла Ласкина сравнительно невелика (около

0,4 г/мин) и достаточна для испытания только систем воздухоподготовки с малым расходом воздуха. Расход воздуха при проверке фильтра на наличие дефектов зависит от требующейся концентрации частиц тестового аэрозоля. Если проверка фильтров производится с помощью фотометра, то может использоваться система воздухоподготовки с производительностью около

0,5 куб.м/сек (1000 куб.футов/мин) воздуха. Однако в этом случае необходим генератор аэрозолей с несколькими соплами.

Другой вариант измерений - это применение счетчика отдельных частиц аэрозолей вместо фотометра. Согласно данным IEST-RP-CC006, для тестового аэрозоля, полученного с помощью сопла Ласкина, массовой концентрации 10 мг/л соответствует счетная концентрация частиц порядка 3x1010 частиц/м3 (IO9 частиц/куб.фут), и, таким образом, в большинстве чистых помещений применение счетчиков частиц вполне возможно. Альтернативой счетчику является применение фотометра с генератором аэрозолей более высокой производительности, например, основанном на конденсационном методе.

12.2.2 Масляный туман, получаемый конденсационным методом

Из-за трудности получения тестовых аэрозолей с большой концентрацией частиц с помощью сопел Ласкина при проверке фильтров часто используют масляный туман, генерируемый конденсационным методом1. Дополнительным преимуществом этого метода является то, что в этом случае не нужны воздуходувки, так как сопла Ласкина, особенно в генераторах с несколькими распылителями, требуют слишком большого расхода воздуха, что непрактично, в особенности для портативных конструкций. В генераторах конденсационного масляного тумана для впрыскивания используемого вещества в испарительную камеру используется инертный газ, например, CO,. На выходе из генератора испарившееся масло конденсируется, образуя тонкодисперсный аэрозоль с массовым медианным диаметром около 0,3 мкм.

1 В англоязычной технической литературе используется термин «hot generated smoke», т.е. дым, получаемый «горячим» методом (в отличие от описанного в предыдущем разделе «cold generated oil», получаемого распылением). Мы в соответствующих случаях употребляем термины, принятые в русскоязычной технической литературе, которые непосредственно указывают на механизм образования частиц аэрозолей (Прим. ред.).
Контроль дефектов установленных фильтров

149

Генераторы аэрозолей такого типа (внешний вид одного из них представлен на рис. 12.5) имеют производительность по аэрозолям от 10 до 50 г/мин, и этого количества вполне достаточно для испытания (с применением фотометра) системы вентиляции с расходом воздуха до 40 куб.м/сек (85 ООО куб.футов/мин).

Рис. 12.5. Генератор конденсационного масляного тумана

12.2.3 Аэрозоли полистиролъного глобулированного латекса

В некоторых случаях, например, в чистых помещениях для производства полупроводников, рекомендуется использовать инертные тестовые частицы. Это делается для того, чтобы не допустить возможность выделения из тестовых аэрозолей, осевших внутри фильтра при проведении его испытаний, химических веществ, представляющих опасность для технологического процесса. Обычно в таких случаях в качестве тестового аэрозоля используют наружный атмосферный воздух, однако в настоящее время существует и альтернативный вариант - сферические (глобулированные) частицы полистирольного латекса (Polystyrene Latex Spheres - PLS). Выпускаются суспензии, содержащие моно-дисперсные латексные частицы широкого диапазона диаметров - от 0,1 до 1 мкм, что обеспечивает свободный выбор нужных размеров. Эти суспензии переводят в аэрозольную форму распылением, а измерения проводят с помощью счетчика частиц.
Предыдущая << 1 .. 41 42 43 44 45 46 < 47 > 48 49 50 51 52 53 .. 98 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed