Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
• температуре,
• относительной влажности,
• возможности нагрева и охлаждения чистого помещения,
• уровням шумов,
• уровням освещения,
• уровням вибрации.
122
Технология чистых помещений
В этой книги указанные дополнительные требования подробно не рассматриваются, так как необходимость в проведении измерений этих величин скорее может возникнуть в помещениях с кондиционированием воздуха, а не в чистых помещениях. Информация об этих видах испытаний имеется в различных справочниках по строительству и в руководствах, издаваемых в США Американским обществом инженеров в области отопления, охлаждения и кондиционирования воздуха - American Society Heating, Refrigeration and Airconditioning Engineers (ASHRAE), а в Великобритании - Институтом инженеров обслуживания зданий - the Chartered Institute of Building Services Engineers (CIBSE).
9.3 Зависимость измерений от типа чистого помещения и его состояния
Выбор испытаний, проводимых в чистом помещении, зависит от вида примененного в нем воздушного потока: однонаправленного, турбулентного или смешанного (в последнем случае подразумевается турбулентно вентилируемое чистое помещение, в котором имеются ламинарные шкафы, рабочие места или изоляторы с однонаправленным воздушным потоком). Виды измерений, которые необходимы в различных типах чистых помещений, будут описаны в последующих главах.
Измерения могут проводиться в различных функциональных состояниях чистого помещения: (а) в «построенном» состоянии, т.е. в еще пустом помещении; (Ь) в «оснащенном» состоянии, когда технологическое оборудование смонтировано, но персонал отсутствует, и (с) в «функционирующем» состоянии. Более подробно эти состояния чистого помещения рассмотрены в разделе
3.4 этой книги. При передаче чистого помещения заказчику, как правило, сначала проводят испытания в «построенном» состоянии. При периодическом контроле чистого помещения в течение всего срока его эксплуатации с целью подтверждения соответствия его параметров стандарту ISO 14644-1, измерения обычно проводят в «оснащенном» состоянии. Их результаты должны продемонстрировать, что чистое помещение работает нормально. Ho если целью измерений является подтверждение того, что параметры чистого помещения соответствуют требованиям производства, то испытания должны проводиться в «функционирующем» состоянии чистого помещения. Методики измерений в каждом из трех перечисленных состояний чистого помещения в основном совпадают; в тех случаях, когда имеются какие-либо отличия, они описываются в нескольких последующих главах.
Испытания и мониторинг чистых помещений
123
9.4 Периодичность измерений и демонстрация соответствия классу чистоты
На протяжении всего периода эксплуатации чистого помещения его рабочие параметры необходимо поддерживать на заданном уровне и контролировать соответствие помещения его классу чистоты. Из этого следует, что испытания чистого помещения надо проводить регулярно, причем в чистых помещениях более высокого класса измерения должны проводиться чаще.
Таблица 9.2. Периодичность испытаний чистого помещения на соответствие его классу
Контролируемый параметр Класс чистоты Максимальный период времени
Соответствие по концентрации частиц < ISO 5 6 месяцев
> ISO 5 12 месяцев
Дополнительные испытания
Скорость воздуха или объемный расход все классы 12 месяцев
Перепад давления воздуха все классы 12 месяцев
Необязательные испытания:
Контроль течей установленных фильтров все классы 24 месяца *'
Контроль движения воздуха внутри чистого помещения все классы 24 месяца *’
Восстановление характеристик после кратковременного загрязнения все классы 24 месяца *>
Контроль течей через ограждающие конструкции все классы 24 месяца *'
1 рекомендуемый период времени
124
Технология чистых помещений
Стандарт ISO 14644-2 задает максимальный период времени, в течение которого разрешена эксплуатация чистого помещения до проведения следующих испытаний на соответствие его классу чистоты по стандарту ISO 14644-1. Величины этих максимальных интервалов приводятся в таблице 9.2 вместе с соответствующими типами испытаний. Единственным обязательным измерением, которое надо проводить с целью подтверждения соответствия чистого помещения стандарту ISO 14644-1, является контроль концентрации частиц. Максимальный период времени между такими измерениями составляет 6 месяцев для чистых помещений пятого и более высоких классов чистоты по стандарту ISO и 12 месяцев для чистых помещений более низких классов. Измерения концентрации частиц обычно проводятся в «оснащенном» состоянии чистого помещения, но могут быть проведены и в «функционирующем» состоянии. Если в чистом помещении установлена система постоянного или периодического мониторинга концентрации частиц и перепада давления воздуха, то стандарт ISO 14644-2 допускает увеличение интервалов между испытаниями.
В случае необходимости, определяемой спецификой проводимых в чистом помещении операций, для подтверждения соответствия классу чистоты возможно проведение так называемых «дополнительных» испытаний. Это измерения объемного расхода или линейной скорости воздуха, а также перепада давления. Максимально допустимый интервал между измерениями в этом случае составляет 12 месяцев, хотя при использовании постоянного или периодического мониторинга он может быть увеличен.
