Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
Контроль дефектов установленных фильтров
153
12.4.2 Проверка фильтров в чистом помещении с однонаправленным воздушным потоком
Проблема проверки системы фильтров, размещенных на потолке чистого помещения с однонаправленным воздушным потоком, заключается в том, что площадь потолка может быть настолько велика, что эта операция потребует значительного времени. Так, испытания фильтров в одном чистом помещении крупного предприятия по производству полупроводников могут занять несколько дней. В подобных случаях лучше применять методы, требующие меньших затрат времени. Например, можно рекомендовать использовать систему из нескольких датчиков типа показанных на рис. 13.6 в главе 13. Если разместить их на тележках с электроприводом, установив пробоотборные устройства на оптимальной высоте от поверхности фильтров (т.е. от потолка) и на соответствующем расстоянии друг от друга, то сканирование можно будет выполнять в процессе перемещения тележки по комнате. Это может дать большую экономию времени.
Возможно также просканировать каждый фильтр и его корпус на испытательном стенде в чистом помещении, а затем аккуратно и бережно установить его в потолочную арматуру. Затем, после того как все потолочные фильтры установлены и включена система вентиляции, достаточно будет только проверить периферию фильтров для того, чтобы обнаружить возможные дефекты и течи между корпусом фильтра и системой крепления.
12.4.3 Проверка фильтров в турбулентно вентилируемом помещении
Турбулентно вентилируемые чистые помещения обычно соответствуют классу ISO 4 (класс 1000) или ниже. Маловероятно, что производимые в них изделия окажутся восприимчивы к микрозагрязнениям из-за аэрозолей, осевших внутри фильтров при испытаниях, и поэтому при их проверке можно использовать тестовые аэрозоли типа масляного тумана. В этих случая обычно применяются фотометры. Для того, чтобы обеспечить хорошее перемешивание, тестовый аэрозоль должен инжектироваться в систему вентиляции на достаточном расстоянии от проверяемого фильтра. Аналогичного эффекта можно достичь при инжекции тестового аэрозоля в систему воздухоподготовки перед вентилятором. При возникновении каких-либо сомнений в качестве перемешивания следует проверить его равномерность непосредственно перед фильтром. Если за фильтром установлен диффузор, при проверке фильтра его надо удалить, чтобы обеспечить доступ к поверхности фильтра. Только после этого выполняется сканирование фильтра.
154
Технология чистых помещений
12.4.4 Устранение течей
Если обнаружено, что причиной течи является фильтрующая среда, то чаще всего дефект находится на сгибе фильтровальной бумаги. Эту течь можно устранить, нанеся на место дефекта силиконовую мастику. Обычно считается, что в ремонте нуждается только небольшая площадь поверхности фильтра. Если ремонт невозможен, то дефектные фильтры следует заменить, однако надо иметь ввиду, что возможность замены фильтров следует согласовывать с подрядчиком еще на стадии заключения контракта, так как контракты с правом демонтажа и замены фильтров обычно гораздо дороже.
Благодарности
Рисунки 12.5 и 12.6 приводятся с разрешения фирмы Steptech Instrument Services.
13
Определение концентрации аэрозольных частиц
Самым важным тестом, результат которого свидетельствует о том, что чистое помещение функционирует нормально, является определение количества взвешенных в воздухе частиц. Прежде чем приступить к измерению количества частиц, нужно провести тесты, описанные в главах 9-12, в такой последовательности: определение величины расхода воздуха, определение величины перепада давления, определение направления движения воздушных потоков внутри и между чистыми помещениями, контроль целостности фильтров. Все эти испытания должны дать удовлетворительные результаты. Только после этого следует проводить заключительные измерения, чтобы убедиться в том, что концентрация аэрозольных частиц не превышает предельно допустимого значения для соответствующего состояния чистого помещения.
13.1 Счетчики аэрозольных частиц
Для определения размеров и количества частиц в воздухе чистых помещений используются приборы, называемые счетчиками аэрозольных частиц. Довольно часто в литературе применяется термин «счетчик отдельных частиц», чтобы указать на его отличие от фотометра, который используется для обнаружения дефектов воздушных фильтров. Счетчик частиц определяет количество и размер взвешенных в воздухе частиц, тогда как показания фотометра пропорциональны массе частиц. Для простоты в данной главе будем называть этот измерительный прибор «счетчик частиц».
Счетчик частиц - основной прибор, необходимый для контроля и эксплуатации чистого помещения. Этот прибор должен быть в каждом чистом помещении, поскольку даже при экономии средств можно позволить себе приобрести по доступным ценам бывшие в употреблении модели. На рис. 13.1 приведена фотография типичного счетчика частиц. Приборы данного типа измеряют
156
Технология чистых помещений
размер1 частиц в диапазоне 0,3^-10 мкм. Счетчики аэрозольных частиц обычно рассчитаны на скорость пробоотбора 28 л/мин (1 куб.фут/мин) и могут иметь несколько модификаций - для измерения частиц размером более 0,3 мкм или более 0,5 мкм. Некоторые модели с высокой чувствительностью могут измерять частицы размером более 0,1 мкм, но чаще всего такие приборы имеют меньшую скорость пробоотбора.
