Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
150
Технология чистых помещений
12.3 Приборы для измерения проскока аэрозолей
12.3.1 Фотометр
Типичный аэрозольный фотометр имеет скорость пробоотбора анализируемой среды 28 л/мин (1 куб.фут/мин). Частицы аэрозоля проходят через пробоотборное устройство и измерительный объём, в который направляется свет от источника излучения. Свет, рассеянный частицами, собирается системой линз и направляется на фотоумножитель, который преобразует световой сигнал в электрический.
Фотометры обычно измеряют концентрацию частиц в диапазоне от
0,0001 мкг/л до 100 мкг/л. Показания таких приборов зависят не только от количества частиц, но и от их размера, т.е. от их массы. Внешний вид типичного фотометра показан на рис. 12.6.
Рис. 12.6. Типичный фотометр
Преимуществом фотометра перед счетчиком отдельных аэрозольных частиц является удобная форма представления результатов измерений. Абсолютное значение концентрации, измеренное фотометром, можно с помощью простого щелчка переключателя принять за 100%. После этого прибор переключается на относительную шкалу, и при проведении измерений утечек через дефекты в фильтре звуковой предупредительный сигнал будет включаться каждый раз, когда концентрация превысит заданную относительную величину, например, 0,01%.
Контроль дефектов установленных фильтров
151
12.3.2 Счетчики отдельных частиц
Счетчики отдельных частиц, которые обычно используются для подсчета количества частиц в чистом помещении и для определения их размера, можно применять и для проверки фильтров на наличие дефектов. Однако для этого счетчик частиц должен обладать способностью работать в режиме непрерывных измерений. Как правило, счетчики частиц используются в режиме отбора заданного объёма воздуха (что требует фиксированного времени работы насоса),
и, следовательно, некоторые модели счетчиков могут не иметь возможности работать в постоянном режиме. При использовании счетчика частиц для проверки фильтров на наличие дефектов концентрация аэрозолей до фильтра может превысить верхнюю границу рабочего диапазона прибора, что может привести к попаданию загрязнений внутрь прибора. В таких случаях необходимо оснастить счетчик устройством для разбавления анализируемой пробы воздуха.
12.4 Методы проверки фильтров и системы их крепления
12.4.1 Методы сканирования
Прежде чем приступать к проверке целостности фильтров, необходимо подумать о противопожарной сигнализации. Дело в том, что тестовый аэрозоль, полученный с помощью генератора частиц, способен вызвать срабатывание датчиков противопожарной сигнализации, реагирующих на дым, особенно если испытания проводятся внутри чистого помещения (например, проверяются ламинарные шкафы или другие герметичные устройства). Поэтому следует проанализировать возможность и порядок отключения датчиков противопожарной сигнализации. Лучше отключить их на период проведения испытаний фильтров, чем пребывать в состоянии тревожного ожидания прибытия пожарной бригады или принимать душ в струях спринклерных распылителей.
Обычный метод сканирования основан на использовании пробоотборного устройства, подключенного к фотометру или счетчику одиночных частиц и перемещаемого над всей выходной поверхностью фильтра. Затем фильтр сканируется по периметру для того, чтобы обнаружить возможные течи между фильтрующей средой и корпусом фильтра, а также между корпусом и его креплением. Обычно пробоотборное устройство держат на расстоянии приблизительно 2,5 см (1 дюйм) от поверхности фильтра, а перемещают его таким образом, чтобы соседние площади сканирования перекрывались (рис. 12.7).
Важное значение имеет скорость сканирования. Если пробоотборное устройство движется над отверстием медленно, в него попадёт больше частиц и будет обнаружено больше дефектов. При быстром перемещении над поверхностью фильтра некоторые дефекты не удастся найти, а именно этого надо
152
Технология чистых помещений
¦ ¦¦ ¦ ¦¦¦' /М
более всего опасаться. Обычно достаточной является скорость сканирования не более 5 см/сек. Для случаев, когда требуется более точное определение значения скорости сканирования, в практических рекомендациях IEST-RP-CC006 приведен научно обоснованный метод её расчета.
В случае использования фотометра первоначально измеряют концентрацию тестового аэрозоля перед фильтром и регулируют её до получения требуемого значения. Эта величина зависит от допустимого значения течи через дефект. Так, если допустима течь в 0,01% от концентрации аэрозоля перед фильтром, то требуемое значение концентрации составит 10 мг/л. Затем шкалу фотометра устанавливают так, чтобы концентрация аэрозоля до фильтра соответствовала 100%, а величина проскока (проницаемости фильтра), выраженная в процентах, считывалась прямо со шкалы фотометра. Если это значение превышает величину 0,01% от концентрации частиц до фильтра, то на данном участке поверхности фильтра расположен дефект.
Большинство течей обычно возникает на периферии фильтра. Дефект может быть вызван прокладкой между корпусом и системой крепления или возникнуть на стыках элементов корпуса фильтра, если он устанавливается со стороны чистого помещения (см. рис.12.2 и 12.3). В первом случае фильтр, скорее всего, следует снять и тщательно установить повторно. В случае монтажа фильтра со стороны чистого помещения бывает трудно отличить течь через корпус от течи между корпусом и системой крепления. В таком случае может возникнуть необходимость проверки герметичности корпуса фильтра на испытательном стенде и устранения недостатков, а также проверки наличия течей из-за системы крепления.
