Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
Испытания и мониторинг чистых помещений
119
потребитель, покупающий продукцию, изготовленную в чистом помещении, приобретал то, что соответствует своему предназначению.
Кроме определения характеристик чистого помещения при вводе его в эксплуатацию и последующих регулярных проверок на соответствие стандарту ISO 14644-1, может возникнуть необходимость в регулярном мониторинге чистого помещения. В помещениях низких классов чистоты мониторинг может не понадобиться, но в чистых помещениях более высоких классов он может быть необходим с точки зрения обеспечения и поддержания необходимых условий производства. При этом контроль параметров чистого помещения может быть либо постоянным, либо периодическим, но с интервалами, которые гораздо короче заданных стандартом ISO 14644-2 для подтверждения текущего соответствия чистого помещения классу чистоты.
Хотя большинство измерений, проводимых для первоначального определения характеристик чистого помещения и при испытаниях для подтверждения соответствия классу чистоты, идентичны тестам, проводимым при мониторинге, следует отметить, что измерения при вводе чистого помещения в эксплуатацию более скрупулезные и полные.
9.1 Принципы испытания чистого помещения
Для подтверждения того, что чистое помещение работает в нормальном режиме, необходимо продемонстрировать соблюдение следующих принципов:
• Воздух подается в чистое помещение в количестве, достаточном для разбавления или удаления образующихся в нём загрязнений.
• Воздух внутри комплекса чистых помещений движется от чистых участков к менее чистым, в результате чего перемещение загрязнённого воздуха сводится к минимуму. Воздух должен двигаться через дверные проёмы и другие элементы чистого помещения в правильном направлении.
• Воздух, подаваемый в чистое помещение, такого качества, что он не увеличивает уровень загрязнения в чистом помещении.
• Движение воздуха внутри чистого помещения должно гарантировать, что в чистом помещении не образуется зон с высокими концентрациями загрязнений.
Если эти принципы соблюдаются, то следует измерить концентрацию частиц и - если это необходимо - частиц-носителей микроорганизмов для определения соответствия чистого помещения требуемому классу чистоты.
9.2 Испытания чистого помещения
Для того чтобы убедиться в выполнении требований, перечисленных в разделе 9.1, необходимо провести испытания, обозначенные на рисунке 9.1, предпочтительно в той последовательности, которая указана.
120
Технология чистых помещений
выполнено
выполнено
*
соответствие
Рис. 9.1. Последовательность испытаний чистого помещения
9.2.1 Объёмы подаваемого и удаляемого воздуха
В случае турбулентно вентилируемого чистого помещения следует измерить расход подаваемого в чистое помещение и удаляемого из него воздуха. В случае однонаправленного потока измеряется скорость воздушного потока.
9.2.2 Контроль движения воздуха между участками
Для подтверждения того, что воздушный поток между участками движется в правильном направлении, т. е. от чистого участка к менее чистому, необходимо убедиться в том, что:
• перепады давления между участками имеют правильную величину;
• воздух через дверные проёмы, люки и др. движется от чистого участка к менее чистому.
Испытания и мониторинг чистых помещений
121
9.2.3 Контроль течей установленных фильтров
В процессе проверки высокоэффективного воздушного фильтра и системы его крепления необходимо убедиться в том, что содержащиеся в воздухе загрязнения не просачиваются в чистое помещение: а) через повреждённый фильтр,
б) через уплотнения между корпусом фильтра и системой его крепления или
в) через любой другой элемент фильтра и системы его крепления.
9.2.4 Контроль течей через ограждающие конструкции
Испытания необходимы для демонстрации того, что содержащиеся в воздухе загрязнения не поступают в чистое помещение через течи в ограждающих конструкциях.
9.2.5 Контроль движения воздуха внутри чистого помещения
Выбор методов контроля движения воздуха зависит от вида чистого помещения - является ли оно турбулентно вентилируемым или использует однонаправленный воздушный поток. В турбулентно вентилируемом чистом помещении необходимо убедиться в отсутствии зон с неудовлетворительным движением воздуха (застойных зон). В чистом помещении с однонаправленным воздушным потоком следует проверить соответствие скорости воздуха и направления его движения заложенным в проекте параметрам.
9.2.6 Концентрация аэрозолей и микроорганизмов
Если указанные выше тесты дали удовлетворительные результаты, можно перейти к заключительной части испытаний - определению концентрации частиц (и микроорганизмов, если это требуется), с тем чтобы подтвердить соответствие этих параметров значениям, которые заложены в проекте чистого помещения.
9.2.7 Дополнительные тесты
Помимо проведения перечисленных выше испытаний может возникнуть необходимость в том, чтобы чистое помещение соответствовало требованиям, предъявляемым к одному или более из следующих параметров:
