Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
Двери, как правило, изготавливают с минимальными зазорами, чтобы уменьшить утечку воздуха. Это особенно полезно в чистых помещениях с отрицательным перепадом давления воздуха, поскольку очень важно свести к минимуму количество загрязнений, проникающих в чистое помещение из внешней среды. Однако в чистых помещениях с положительным перепадом давления в этом может не быть необходимости, особенно если по проекту воздух должен проходить через открытую дверь (см. раздел 5.1.4).
Двери могут быть застекленными, что особенно удобно для визуального наблюдения при транспортировке материалов. Если застекление необходимо, то способ установки стекол должен быть таким (с точки зрения уплотнения), чтобы ничто не препятствовало легкой очистке. Возможно также применение дверей, полностью выполненных из стекла.
В чистых помещениях предусматриваются окна. Именно их наличие помогает отговорить посетителей от прохода внутрь чистого помещения. Окна необходимы и для того, чтобы руководящий персонал мог наблюдать за происходящим в помещении, не беспокоясь о переодевании в специальную одежду. Однако количество окон должно быть минимальным. При остеклении окон должны использоваться уплотнители, легко поддающиеся очистке.
Конструкционные материалы и отделка поверхностей
103
7.5 Полы
Почти во всех чистых помещениях основанием для пола служит бетон. На бетонное основание настилается пол с ровной, непроницаемой и твердой поверхностью. Такой пол не должен быть скользким, но должен обладать стойкостью по отношению к химическим реагентам, которые могут попасть на его поверхность. В некоторых случаях могут потребоваться материалы, обладающие хорошими электростатическими свойствами и минимальной способностью к эмиссии летучих веществ.
Как правило, в качестве напольных покрытий применяют свариваемые рулонные или плиточные материалы на основе винила. Гораздо реже используется покрытие из плитки терраццо, которое в некоторых ситуациях себя оправдывает благодаря очень высокой прочности и долговечности.
Там, где необходимо, должны использоваться виниловые материалы, обладающие электропроводностью. В чистых помещениях с однонаправленным потоком, где воздух должен проходить через пол, он обычно выполняется из перфорированных плит, установленных на стойках. Если помещение предназначено для производства полупроводниковых приборов, напольный материал на основе винила может быть неприемлем, поскольку он может выделять летучие вещества.
Места примыкания пола к стенам обычно закрываются специальным угловым профилем. Исключение из этого правила представляют чистые помещения, где применяется машинная уборка пола.
7.6 Потолки
Очень редко в чистом помещении применяется что-либо иное, чем подвесной потолок. Необходимость обеспечения доступа к воздуховодам системы кондиционирования воздуха, трубопроводам подачи газов и электрическим разводкам, а также необходимость применения встроенных в потолок финишных фильтров и светильников, в свою очередь, диктует и необходимость использования подвесных потолков.
В традиционно вентилируемых чистых помещениях подвесной потолок может быть двух типов - легким или несущим. В пространстве между элементами несущего потолка размещают осветительные приборы и системы крепления воздушных фильтров, а оставшееся пространство заполняют глухими панелями. На рис. 7.4 приводится фотография несущего подвесного потолка, по которому можно ходить, с различными элементами чистого помещения.
Все осветительные приборы, фильтровальные ячейки и панели должны быть хорошо пригнаны, чтобы гарантировать минимальную утечку воздуха.
104
Технология чистых помещений
Если при строительстве используются компоненты не наилучшего качества, то при их стыковке должна применяться мастика или другие аналогичные средства герметизации.
В чистых помещениях с однонаправленным потоком воздуха большую часть потолка составляют фильтры. В таком случае каркас потолка монтируется из штампованного алюминиевого профиля, образующего ячейки, в которые вставляются фильтры. Эти вопросы обсуждаются в разделах 6.1.3 и 8.6 настоящей книги.
воздуховод
фильтровальные
ячейки
осветительный
прибор
элемент
крепления
подвесного
потолка
потолочная панель
Рис. 7.4. Несущий подвесной потолок
7.7 Эмиссия летучих веществ и электростатические свойства
При производстве полупроводников и подобной им продукции использование конструкционных материалов, которые способны выделять химические вещества в газообразном виде, может создавать проблемы с загрязнениями. Полы
Конструкционные материалы и отделка поверхностей
105
в чистых помещениях часто выполняются из рулонного или листового пластика. Виниловые полы, изготовленные их ПВХ (поливинилхлорида), представляют собой композицию, включающую различные добавки, одна из которых, являясь пластификатором, способствует приданию материалу гибкости и пластичности. Такие пластификаторы способны выделяться в виде летучих веществ и поэтому содержащие их материалы не являются правильным выбором для чистых помещений полупроводниковой отрасли, особенно при большой площади пола. Стеновые и потолочные панели некоторых типов также могут рассматриваться как фактор риска. Еще одним критическим материалом является силиконовый герметик, применяемый для герметизации различных неплотностей и мест соединений. В подобных случаях следует закупать более подходящие герметики. Источником проблем могут стать и разнообразные клеи.
