Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
При непрерывном технологическом процессе или при больших объемах производства более удобным является метод непрерывной транспортировки изделий из изолятора. Это возможно в том случае, когда изолятор используется как последнее звено в технологическом процессе, либо при внедрении одного
92
Технология чистых помещений
из описанных выше вариантов. Можно использовать спроектированную с учетом аэродинамики «мышиную нору» или сквозной туннель (рис. 6.14), поток воздуха в которых должен быть направлен наружу.
В большинстве видов изоляторов технологический процесс связан с выполнением в них ручных операций с продуктом. Для этого используются нарукавные перчатки или полускафандры. Оба варианта представлены на рис. 6.14. На рис. 6.17 приведена фотография внутреннего пространства изолятора и двух операторов, работающих в полускафандрах.
Этап 1
Контейнер (или транспортировочный изолятор) приближается к закрытому порту (входу) изолятора.
Этап 2
Контейнер стыкуется с портом и приводится во вращение (для фиксации); при этом загрязненные поверхности изолируются. Одновременно снимается блокировка с люка изолятора.
Проектирование чистых помещений с однонаправленным воздушным потоком
93
Этап 3
Люк изолятора открывается для обеспечения свободного сообщения между двумя изолированными объемами.
Рис. 6.15. Принцип работы передаточного порта
Рис. 6.16. Изолятор с транспортировочными камерами
94
Технология чистых помещений
Рис. 6.17. Персонал в полускафандрах внутри изолятора
Благодарности
Рисунки 6.5 и 6.9 воспроизводится с разрешения Gordon King. Рисунок 6.6 воспроизводятся с разрешения фирмы M+W Pearce. Рисунок 6.8 воспроизводятся с разрешения Roger Diener из фирмы Analog Device. Рисунки 6.12 и 6.13 воспроизводится с разрешения фирмы Asyst Technologies. Рисунки 6.14, 6.15 и 6.17 воспроизводится с разрешения фирмы La Calhene. Рисунок 6.16 воспроизводятся с разрешения фирмы Envair. Табл. 6.1 воспроизводится с разрешения Института исследования окружающей среды и технологии (Institute of Environmental Sciences and Technology).
7
Конструкционные материалы и отделка поверхностей
7.1 Общие требования
Строительство чистых помещений отличается более высокими требованиями к качеству по сравнению со строительством других помещений. Различие в подходе к выбору материалов для строительства чистых помещений и помещений другого типа обусловлено несколькими причинами:
• построенное чистое помещение должно быть герметичным;
• отделка внутренних поверхностей должна обеспечивать их гладкость и легкую очистку;
• отделочные материалы для внутренних поверхностей должны быть достаточно прочными, чтобы противостоять износу и выдерживать механические нагрузки без разрушения и генерации пыли;
• некоторые технологические среды, чистящие агенты, дезинфицирующие средства и вода могут разрушать покрытия, используемые в обычных помещениях;
• в некоторых чистых помещениях необходимо применять антистатические или диссипативные материалы, рассеивающие заряды статического электричества;
• в некоторых чистых помещениях требуется применение конструкционных материалов с минимальной эмиссией летучих веществ.
В чистых помещениях создается избыточное давление относительно смежных помещений. Если ограждающие конструкции плохие, а швы в них не герметичны, возможна очень большая потеря чистого воздуха. Это может повлечь за собой необходимость подачи излишнего количества воздуха для возмещения потерь. Экономически нецелесообразно терять воздух, фильтрация и кондицио-
96
Технология чистых помещений
нирование которого требует больших затрат. Попытка герметизации чистого помещения на этапе проведения отделочных работ не столь эффективна, как в процессе строительства. Помещения, в которых необходимо создать отрицательный перепад давления, также должны быть герметизированы, поскольку загрязненный наружный воздух может проникнуть в помещение через неплотности, трещины и места ввода сервисных коммуникаций.
Материалы, используемые в строительстве чистых помещений, должны иметь гладкую поверхность со стороны, которая будет лицевой внутри чистого помещения. Они не должны иметь пор или шероховатостей, которые могут стать местом скопления загрязнений. Внутренние поверхности, по возможности, не должны иметь выступов и легко подвергаться очистке, чтобы никакие загрязнения на них не задерживались. На стыках и швах внутри чистого помещения не должно быть никаких отверстий и углублений, в которых могут скапливаться загрязнения, которые в дальнейшем будут распространяться в чистой среде и загрязнять ее.
Отделочные покрытия внутренних поверхностей чистого помещения не должны отслаиваться и быть источником генерации частиц. Традиционно в качестве материалов для строительства жилых зданий и офисов используют гипсокартоные листы или листы сухой штукатурки, которые крепят к каркасу, а затем окрашивают. Если такой материал подвергается значительному силовому воздействию, происходит выделение пыли строительного гипса. Это недопустимо в чистых помещениях, где отделка поверхностей должна быть достаточно прочной, чтобы противостоять ударным нагрузкам.
