Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Химия -> Уайт В. -> "Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации" -> 29

Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.

Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации — М.: Клинрум, 2002. — 304 c.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка): tehnologiyachistihpomesheniy2002.djvu
Предыдущая << 1 .. 23 24 25 26 27 28 < 29 > 30 31 32 33 34 35 .. 98 >> Следующая


— коридор класс ISO 6 (0,15 м/сек)

сервисный

Рис. 6.12. Пример чистого помещения с однонаправленным потоком, конструкция которого предусматривает сервисный коридор
Проектирование чистых помещений с однонаправленным воздушным потоком

89

чистого помещения, где операторы перемещают кремниевые пластины с установки на установку. Сервисные коридоры, через которые обслуживается встроенное в перегородку оборудование, требуют меньшего количества воздуха (класс ISO 6, выделенный на рис. 6.12 тёмным цветом).

Рис. 6.13 представляет схему подачи воздуха в чистое помещение с минизоной. В этом случае внутри минизоны (обозначенной на рисунке белым цветом и имеющей класс ISO 3) обеспечивается наиболее высокое качество воздуха, в то время как на производственном участке и в сервисной зоне воздушная среда более низкого качества (класс ISO 6 или ниже). При конструкции чистого помещения с использованием минизоны общий расход подаваемого воздуха значительно меньше (см. также рис. 6.6).

Как видно из рис. 6.13, скорость воздуха в минизоне выбрана равной 0,4 м/сек (80 футов/мин). Такая скорость обычно обеспечивает низкую концентрацию частиц в функционирующем чистом помещении. Однако в минизоне отсутствует персонал, создающий турбулентные потоки, поэтому, если оборудование не является источником возмущающих тепловых потоков, может быть достаточной и более низкая скорость воздуха. Величина минимально допустимой в таких случаях скорости должна определяться методами визуализации потока, описанными в разделе 11.2.

коридор, класс ISO 6 (0,15 м/сек)

а - SMIF-контейнер b - SMIF-консоль

Рис. 6.13. Чистое помещение для полупроводникового производства с системой изоляции SMIF
90

Технология чистых помещений

Кроме применения минизон для изоляции участка обработки кремниевых пластин, последние можно также транспортировать между обрабатывающими их установками в кассетах специальной конструкции (SMIF Pods), которые исключают возможность загрязнения пластин наружным воздухом. Эти кассеты загружают в установку через специальное механическое устройство сопряжения (интерфейс) стандартной конструкции (Standard Mechanical Interface Format -SMIF). Пластины обрабатывают, а затем снова загружают в кассету, которая вынимается, переносится на другую установку и загружается уже в её интерфейс. Перемещение кассеты обычно выполняет оператор, но для этих целей используются и автоматизированные системы транспортировки.

Существует несколько типов минизон, отличающихся друг от друга способами загрузки пластин в технологические установки. Если такие минизоны хорошо спроектированы (в особенности это относится к контейнерам для кассет с пластинами и загрузочным портам), то их работа не будет вызывать нареканий.

6.2.2.2 Другие области применения изоляторов

Изоляторы и барьерная технология с успехом применяются в фармацевтической и других отраслях промышленного производства. Они могут использоваться для защиты продукта от загрязнений, для защиты персонала от токсичных соединений, либо, в некоторых случаях, для того и другого. Изоляторы можно заказывать в различном конструктивном исполнении и с различными элементами. Некоторые из них представлены на рис. 6.14.

Варианты конструкции изоляторов зависят от следующих факторов:

• Знака перепада давления (положительного или отрицательного), под которым находится рабочая зона самого изолятора относительно основного помещения;

• Типа системы для загрузки и выгрузки материалов;

• Методов, с помощью которых производят операции внутри самого изолятора.

Чистота продукта или процесса внутри изолятора должна поддерживаться за счет избыточного давления внутри него. Как правило, величина положительного перепада давления выбирается в диапазоне от 20 до 70 Па относительно окружающей среды. Там, где работают с загрязнениями, представляющими опасность для здоровья людей, применяют изоляторы с отрицательным перепадом давления.

На эффективность работы изолятора существенное влияние оказывает выбор вида транспортировки изделий в изолятор и из него. На рис. 6.14 представлены два элемента - сквозной стерилизующий туннель и устройство для загрузки-выгрузки изделий.
Проектирование чистых помещений с однонаправленным воздушным потоком

91

вытяжка

вентиляция методы транспортировки методы работы с продуктом

фильтр-вентиляционная установка

стерили-

зующий

туннель

полускафандр

Рис. 6.14. Изолятор с различными компонентами

Наиболее эффективным для обеспечения загрузки материалов в изолятор без загрязнения является устройство типа «стыковочного шлюза» (docking devices). Такие устройства могут также применяться для соединения или разделения отдельных изоляторов. Схема последовательных операций, представленная на рис. 6.15, иллюстрирует принцип работы типового передаточного порта. Такой способ стыковки наиболее безопасен, но не является самым простым решением для транспортировки материалов в изолятор и из него. Существуют и другие, более простые методы.

Транспортировочный шлюз или передаточные устройства можно использовать там, где производство и испытания изделий ведутся целыми партиями. На рис. 6.16 показан изолятор с передаточными камерами, установленными с каждой стороны изолятора. Эти устройства могут дополнительно обеспечиваться блокирующимися дверцами и системой вентиляции.
Предыдущая << 1 .. 23 24 25 26 27 28 < 29 > 30 31 32 33 34 35 .. 98 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed