Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
— ГО •—1 ГО
о
о
о
о
о
о
о
о
о
о
о
о
о
о
о
о о о о о о
о о
О UO О го
Tf O4 Tf о О Tf
UO UO
CN г- CN 1> CN
O О о о О О
757 IO г-~ »о г-
40 CN UO 1> 40 CN IO г-
aI О. — о
UO^ Os UO OS
аГ го Os го Os
О О о о О О
Tf О Tf О
35С CN UO CO CN UO го
|/>
<—*" гч
I/V
гГ
о
о
ІЛ
гъ ГЪ
о
о
о
ІЛ
«г. »/Г
о
о
о
о
о
1Л
чо SO
3—2705
M 7 — — — — — — 10 ООО ООО 283 ООО 61 800 1 750
34
Технология чистых помещений
3.4 Стандарт ISO 14644-1
Международная организация стандартизации (ISO) разрабатывает серию стандартов для чистых помещений. Они охватывают широкий спектр важных вопросов, таких как проектирование, испытания, эксплуатация и биозагряз-ненность чистых помещений. Первым документом этой серии стал стандарт ISO 14644-1 «Классификация чистоты воздуха», опубликованный в 1999 г. и содержащий правила классификации чистых помещений. Остальные стандарты этой серии рассматриваются в главе 4. Там же приведена информация о том, где можно приобрести стандарт ISO 14644-1.
Классификация ISO основана на следующем уравнении:
Cn = IOn X [0,1/D]2-08 (3.1)
где
Cn - максимальная допустимая концентрация частиц (в I Mi воздуха), размер которых равен или больше указанного в классификации;
значение Cn округляется до ближайшего целого числа, используя не более трех значимых цифр;
N - класс по ISO, не превышающий 9. Допускаются промежуточные классы с минимальным интервалом 0,1 N;
D - рассматриваемый размер частиц в мкм;
0,1 -постоянная величина, с размерностью мкм.
При помощи уравнения (3.1) можно рассчитать максимально допустимую концентрацию аэрозольных частиц, т.е. предельные значения концентраций частиц любого заданного размера для каждого класса. В таблице 3.3 приводятся установленные ISO 14644-1 классы и значения предельных концентраций частиц аэрозолей в чистом помещении.
Следует отметить, что эта классификация гармонизирована с классификацией по FS 209. Если концентрацию частиц в I м3 из стандарта ISO разделить на 35,2, то получится концентрация в 1 кубическом футе. Соответствующий класс по FS 209 находится в таблице 3.3 в колонке 0,5 мкм. Так, класс 5 по ISO эквивалентен классу 100 или M 3.5 по FS 209.
Стандарты классификации чистых помещений
35
Таблица 3.3. Классификация чистых помещений и чистых зон по ISO 14644-1
Класс Предельно допустимая концентрация частиц (частиц/м3 воздуха),
по ISO размер которых равен или превышает указанный в таблице
> 0,1 мкм > 0,2 мкм > 0,3 мкм > 0,5 мкм > I MKM > 5,0 мкм
ISO 1 10 2
ISO 2 100 24 10 4
ISO 3 1 ООО 237 102 35 8
ISO 4 10 000 2 370 1 020 352 83
ISO 5 100 ООО 23 700 10 200 3 520 832 29
ISO 6 1 ООО ООО 237 ООО 102 ООО 35 200 8 320 2 93
ISO 7 352 ООО 83 200 29 30
ISO 8 3 520 ООО 832 ООО 29 300
ISO 9 35 200 ООО 8 320 ООО 293 ООО
Таблица 3.4. Соответствие классов по FS 209 и ISO 14644-1
класс по класс 3 класс 4 класс5 класс 6 класс 7 класс 8 ISO 14644-1
класс по класс класс класс класс класс класс
FS 209 I 10 100 1 ООО 10 ООО 100 ООО
Ta же информация дается в стандарте ISO 14644-1 и в графическом виде, (рис. 3.2).
36
Технология чистых помещений
m S 2> -° S
I P=
м. CJ
О Cd
3 *
о .
со с SU 55 ET И ^
Is
P- 3-
H
I
(D
Я
Я
i§
Размер частиц D, мкм
Рис. 3.2. Графическое представление взаимосвязи классов чистоты помещений по ISO 14644-1, концентрации аэрозольных частиц и их размеров
В пустом помещении можно достичь очень низкой концентрации аэрозольных частиц, которая практически соответствует качеству подаваемого в него воздуха. Если в помещении находится работающее оборудование, то концентрация частиц, естественно, становится выше, однако наибольшая концентрация достигается в помещениях, где проходит технологический процесс. Поэтому класс помещения изменяется в зависимости от состояния, в котором находится чистое помещение.
Стандарт ISO 14644-1 дает следующее определение состояний помещений1:
• построенное (as built): condition where the installation is complete with all services connected and functioning, but with no production equipment, materials, or personnel present.
1 Понимая особую важность этих терминов, а также в связи с тем, что уже существует несколько вариантов их перевода, мы сочли необходимым привести определения состояний чистого помещения по тексту ISO 14644-1 на английском языке (Прим. ред.).
Стандарты классификации чистых помещений
37
состояние, в котором чистое помещение со всей инфраструктурой полностью смонтировано, все инженерные системы подключены и функционируют, но отсутствует технологическое оборудование, материалы и персонал.
• оснащённое (at rest):
condition where the installation is complete with equipment installed and operating in a manner agreed upon by the customer and supplier, but with no personnel present.
состояние, в котором чистое помещение полностью укомплектовано технологическим оборудованием, работающим в соответствии с соглашением между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует.
