Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
Вообще же, разработка стандартов должна проводиться исходя из потребностей развивающейся индустрии чистых помещений. Ho об этом ниже.
3.2 Основы стандартизации чистых помещений
Есть смысл начать этот раздел книги со сравнительной демонстрации размеров частиц, в том числе и фигурирующих в стандартах на чистые помещения. Единицей измерения размера частиц является микрометр (микрон); один микрометр (1 мкм) - это одна миллионная часть метра. На рис. 3.1 представлены в сравнении некоторые частицы. Человеческий волос, размер которого легко измерить, имеет диаметр примерно 70-100 мкм. Следующий в этом сравнительном ряду размер - это диаметр частицы, которую глаз может различить на поверхности. Он равен приблизительно 50 мкм, хотя эта цифра может значительно меняться в зависимости от остроты зрения человека, цвета частицы и окраски фона.
Чистые помещения классифицируют в зависимости от чистоты воздуха. Наиболее легко и просто воспринимается классификация чистых помещений, которая легла в основу ранних версий (от А до D) федерального стандарта США
! 90 футов/мин соответствует 0,45 м/сек (Прим. ред.).
2 Напомним, что в упоминаемом чистом помещении ламинарный воздушный поток был горизонтальным - см. рис. 2.8 (Прим. ред.).
Стандарты классификации чистых помещений
3)
209. Позже их заменил последний вариант 209Е, на смену которому пришел международный стандарт ISO 14644-1. Несмотря на это, старой классификацией все еще довольно широко пользуются. В старых федеральных стандартах (от А до D) количество частиц размером равным и более 0,5 мкм измерялось в одном кубическом футе воздуха, и это значение использовали для классификации помещений. Последний федеральный стандарт 209 E перешел на метрическую систему, но в 1999 году был опубликован стандарт ISO 14644-1. Этот стандарт был принят всеми странами Европейского Сообщества, а теперь на него переходят и остальные страны.
В этой книге классификация чистых помещений приводится по стандарту ISO 14644-1, но параллельно (в скобках) указывается и класс по федеральному стандарту США 209, например, ISO 5 (100).
• частица диаметром
50 мкм, видимая невооруженным глазом
частица
размером
, 0,5 мкм
Рис. 3.1. Сравнение диаметров частиц
32
Технология чистых помещений
3.3 Федеральный стандарт США 209
3.3.1 Ранние редакции федерального стандарта 209 (от А до D)
Первый федеральный стандарт (FS) 209 был опубликован в США в 1963 г. и назывался «Требования к чистым помещениям и рабочим местам с контролируемой средой». Он пересматривался в 1966 (209А), 1973 (209В), 1987 (209С), 1988 (209D) и 1992 (209Е) годах. Параметры чистых помещений, классифицируемых по ранним версиям FS 209 с А по D, приведены в таблице 3.1. Класс чистого помещения определяется путем измерения числа частиц диаметром 0,5 мкм и более в одном кубическом футе1 воздуха в помещении и его сопоставления с верхним пределом для соответствующего класса.
Таблица 3.1. Классификация чистых помещений по федеральному стандарту 209D
Класс Число частиц в 1 куб.футе
>0,1 мкм > 0,2 мкм > 0,3 мкм > 0,5 мкм > 5,0 мкм
1 35 7,5 3 1 HO
10 350 75 30 10 HO
100 HO 750 300 100 HO
1 000 HO HO HO 1 000 7
10 000 HO HO HO 10 000 70
100 000 HO HO HO 100 000 700
но - не определяется
3.3.2 Федеральный стандарт США 209 E
В федеральном стандарте 209Е концентрация частиц в воздухе выражена в метрических единицах, т.е. в числе частиц в 1 кубическом метре, а класс определяется как логарифм концентрации частиц размером > 0,5 мкм в кубическом метре воздуха. Например, для помещения класса М3 предельная концентрация частиц размером > 0,5 мкм составляет 1000/м3. Логарифм 1000 равен 3, что и соответствует значению присваиваемого класса. Эта классификация представлена в таблице 3.2. Полный текст действующего варианта стандарта можно заказать в Институте исследования окружающей среды и технологии -IEST (США). Информация для контактов представлена в главе 4.
1 1 куб.фут соответствует 28,3 литра (Прим. ред.).
Таблица 3.2. Классификация чистых помещений по федеральному стандарту США 209Е
Стандарты классификации чистых помещений
33
я
и
а
н
о
Ui
:5
О
R
S
Я
а>
T
Я
SE
a)
2
S
S
H
W
S3
е
d
о
S
-Q
а
С
OS 2 - * S Ю *: О
s з
uo SJ Al § S Щ
S
Al
H
-9-
cd
S
S
S 2 ГО 3 --г
° S
Al * S
Ct
W
й S ч> S ^ *vS s 2
CnI 3 <= s Л| § W
й ^ S ° — 3
<= S Al S S
п
ш
К
S
г
9 Я
5 g о »
H
•е
н
-е
н
S
и
О UO О UO О
К о" Г" О
к Г-* г-
о
о О о
г- OO г-
г-- 00 Tf
Tf Tf
CN 40 CN 40 CN
ГО О о о о
00 о го O1 CO го OO о го о CO
CN O^ OO1 o' OO О о о OO о 00
o' — CN CN — CN —1 CN -- CN
о
o'
0V
о"
Tf
CN
О
О
40
О
О
UO
1>
Os
о
о
о о о
о го о
CO о ¦О
UO о
CO го
о UO о UO
O4 1> о Г-*
го 00 го 00
о о
о о о о
1O Os 40 Os
О О о о
