Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
LEST-RP-CC006: Испытания чистых помещений (Testing cleanrooms) Описывается процедура испытаний, проводимых с целью оценки и определения основных рабочих параметров системы чистых помещений и чистых зон.
LEST-RP-CC007: Испытания ULPA-фильтров (Testing ULPA filters). Описывается процедура рабочих испытаний ULPA-фильтров на проницаемость и падение давления.
LEST-RP-CC008: Ячейки адсорберов газов (Gas-phase adsorber cells). Рассматриваются конструкция и испытания модульных ячеек адсорберов газов для применения их в помещениях, где необходима высокая эффективность удаления газообразных загрязнений.
IEST-RP-CC009: Справочник по стандартам, практическим рекомендациям и другим аналогичным документам по контролю загрязнений (Compendium of standards, practices, methods, and similar documents relating to contamination control).
Перечень стандартов, практических указаний, методов, технических условий, спецификаций и аналогичных документов, разработанных правительственными, промышленными и техническими организациями в США и других странах.
4'
52
Технология чистых помещений
IEST-RP-CCOll: Словарь терминов и определений по контролю загрязнений: (A glossary of terms and definitions relating to contamination control)
Приводится терминология в области контроля загрязнений, а также перечень наиболее часто встречающихся аббревиатур и акронимов.
IEST-RP-CC012: Вопросы проектирования чистых помещений (Considerations in cleanroom design).
Содержит рекомендации относительно факторов, которые следует учитывать при проектировании чистых помещений и их элементов.
IEST-RP-CCO13: Процедуры калибровки и аттестации оборудования (Equipment calibration or validation procedures).
Приводятся определения и процедуры калибровки средств измерений, применяемых при испытаниях чистых помещений, с указанием интервалов калибровки.
IEST-RP-CC015: Технологическое и вспомогательное оборудование чистых помещений (Cleanroom production and support equipment).
Приводятся рекомендации по проектированию, монтажу и эксплуатации технологического и вспомогательного оборудования, используемого в чистых помещениях, с целью свести к минимуму вклад оборудования в загрязнение изделий.
IEST-RP-CC016: Скорость осаждения нелетучих осадков в чистом помещении (The rate of deposition of nonvolatile residue in cleanrooms).
Описывается метод определения скорости осаждения нелетучих осадков на поверхностях в чистых помещениях.
IEST-RP-CC018: Уборка чистых помещений - методы выполнения и контроля (Cleanroom housekeeping — operating and monitoring procedures).
Даются рекомендации по методикам поддержания чистоты поверхностей в чистых помещениях и их периодической проверке.
IEST-RP-CC020: Бланки и формы для ведения документации в чистых помещениях (Substrates and forms for documentation in cleanrooms).
Дается перечень рекомендуемых бланков и форм, применяемых в чистых помещениях для ведения документации.
IEST-RP-CC021: Испытания фильтрующих материалов HEPA и ULPA-фильтров (Testing HEPA and ULPA filter media).
Рассматриваются методы измерений фильтрующих и физических свойств материалов, применяемых для высокоэффективной фильтрации содержащихся частиц.
IEST-RP-CC022: Электростатический заряд в чистых помещениях и других контролируемых средах (Electrostatic charge in cleanrooms and other controlled environments).
Источники информации
53
Рассматриваются методы оценки эффективности способов контроля электростатического заряда.
IEST-RP-CC023: Микроорганизмы в чистых помещениях (Microorganisms in cleanrooms)
Даются рекомендации по контролю и количественным измерениям загрязнений микроорганизмами воздушной среды и поверхностей в чистых помещениях.
IEST-RP-CC024: Измерение и регистрация вибрации на предприятиях электронной промышленности (Measuring and reporting vibration in microelectronic facilities)
Рассматривается оборудование, применяемое в производстве, при измерениях и контроле интегральных схем, чувствительных к вибрации и шумам на предприятиях микроэлектроники.
IEST-RP-СС026: Эксплуатация чистых помещений (Cleanroom operations) Даются рекомендации по сохранению характеристик чистого помещения при доставке в него комплектующих и материалов, при подключении систем питания, при перепланировке, а также при монтаже и замене оборудования.
IEST-RP-СС027: Практика и методики подготовки персонала в чистых помещениях и контролируемых средах (Personnel practices and procedures in cleanroom and controlled environments)
Даются рекомендации по обучению персонала и разработке программ обучения для работы в чистых помещениях.
IEST-RP-CC029: Применение автоматизированного распыления красителей (Automotive paint spray applications)
Даются рекомендации по методам контроля загрязнений при проведении операций с распылением красителей.
IEST-RP-CC031: Справочник строительных кодов: сборник рекомендаций по согласованию альтернативных кодов, применяемых в электронной промышленности (Building code reference handbook: a guide to alternative code compliance issues in the semiconductor industry).
