Оптический производстенный контроль - Малакара Д.
Скачать (прямая ссылка):
3.1. Введение . . . ................................................67 3.2. Интерферометр Берча с двумя согласованными рассеивающими пластинами ........................................................67
3.3. Двулученреломляющин светоделитель............................69
3.3.1,. Полярископ Савара..........................................69
3.3.2. Призма Волластона..........................................71
3.3.3. Двухфокусные системы......................................72
3.4. Интерферометры бокового сдвига................................73
3.4.1. Применение полярископа Савара ..............................73
3.4..2. Применение призмы Волластона..............................75
3.5. Двухфокусные интерферометры..................................76
3.6. Интерферометр с призмой Соидерса..............................78
3.7. Интерферометр с дифракцией на точке............................79
3.8. Измерение оптической передаточной функции ....................80
3.8.1,. Метод сканирования..........................................80
3.8.2. Автокорреляционный метод ..................................83
Глава 4. Интерферометры бокового сдвига (М. В. Р. К. Мерти, перевод Н. К. Сосновой)......................................87
4.1. Введение........................................................87
4.2. Вопросы, связанные со свойствами когерентности источников света 87
4.3. Основы теории интерферометрии бокового сдвига ................89
4.3.1. Боковой сдвиг и аберрации первого порядка..................91
4.4. Определение формы неизвестного волнового фронта................95
4.5. Интерферометры бокового сдвига с параллельным ходом лучей (с компенсацией белого света) ......................................98
4.5.1,. Системы, основанные на интерферометре Жамена..............98
4.5.2. Системы, основанные на интерферометре Майкельсона .... 99
4.5.3. Системы, основанные на циклическом интерферометре..........100
4.5.4. Системы, основанные на интерферометре Маха — Цендера . . 101
4.6. Интерферометры бокового сдвига в сходящихся пучках с компенсацией белого света ................................................102
4.6.1. Системы, основанные на интерферометре Майкельсона .... 102
4.6.2. Системы, основанные на интерферометре Маха — Цендера . . 104
4.7. Лазерные интерферометры бокового сдвига . .....................106
4.7.1. Применение интерферометра с плоскопараллельной пластиной . 109
4.8. Другие типы интерферометров бокового сдвига....................113
4.8.1. Интерферометры бокового сдвига, основанные на дифракции света........................................................113
4.8.2. Интерферометры бокового сдвига, основанные на поляризации света........................................................116
Глава 5. Интерферометры радиального, поворотного и реверсивного
сдвига (Д. Малакара, перевод Т. В. Ушаковой)..........119
5.1. Введение........................................................119
5.2. Интерферометры радиального сдвига..............................119
5.2.1,. Интерферометры радиального сдвига с однократным прохождением лучей..................................................121
5.2.2. Интерферометры радпалыгого сдвига с двойным прохождением лучей........................................................124
5.2.3. Лазерные интерферометры радиального сдвига................127
5.3. Интерферометры поворотного сдвига..............................130
5.3.1. Размеры источников иескомпепсированных интерферометров поворотного сдвига............................................132
5.3.2. Размер источника скомпенсированного интерферометра поворотного сдвига..................................................134
5.4. Интерферометры реверсивного сдвига............................135
5.4.1,,. Призменные интерферометры реверсивного сдвига..............136
Г л а в а 6. Многолучевые интерферометры (Ц. Ройчаудхури, перевод
Е. В. Мазуровой)....................................140
6.1. Введение........................................................140
6.2. Точность многолучевой интерферометрии..........................141
6 6.3. Многолучевой интерферометр Физо..............................144
6.3.1. Условия образования полос..................................144
6.3.2. Интерферометрия Физо . ...................................148
6.4. Полосы равного хроматического порядка........................150
6.5. Уменьшение интервала между полосами в многолучевой интерферометрии ..................................................1оЗ
6.6. Интерферометр Фабри — Перо....................................154
6.6.1. Измерения толщины тонких пленок............................154
6.6.2. Отклонение поверхности от плоскостности....................155
6.7. Полосы Толапского в интерферометре Фабри — Перо..............158
6.8. Многолучевой интерферометр для контроля криволинейных поверхностей ..........................................................160
