Оптический производстенный контроль - Малакара Д.
Скачать (прямая ссылка):
6.9. Сдвоенные и сериес-иитерферометры..............................161
6.9.1. Сдвоенный интерферометр....................................162
6.9.2. Сериес-интерферометр........................................163
6.10. Голографические многолучевые интерферометры..................164
Глава 7. Интерферометры с многократным прохождением лучей (П. Xa-
рихаран, перевод Е. В. Мазуровой)......................169
7.11. Интерферометры с двойным прохождением лучей..................169
7.1.1. Разделение аберраций........................................169
7.1.2. Снижение требований к когерентности........................172
7.1.3. Повышение точности измерений благодаря двойному прохождению лучей ..................................................174
7.2. Интерферометрия с многократным прохождением лучей..........175
Глава 8. Методы контроля Фуко, нити и фазовой модуляции (Дж. Oxe-
да-Кастаньеда, перевод Т. В. Ушаковой)....................181
8.1. Введение........................................................181
8.2. Метод ножа Фуко..............................................181
8.2.1,. Описание....................................................181
8.2.2. Геометрическая теория......................................185
8.2.3. Физическая теория..........................................192
8.3. Контроль методом нити........................................197
8.3.1,. Геометрическая теория....................200
8.3..2.. Физическая теория............................................202
8.4. Метод Плацека — Гавиолы......................................203
8.4.1. Геометрическая теория........................................204
8.5. Метод фазовой модуляции......................................206
8.5.1. Метод Цернике и его связь с интерферометром Смарта . . . 206
8.5.2. Метод Лио..................................................211
8.5.3. Метод Вольтера............................................212
8.6. Метод Ричи — Коммоиа ........................................215
Заключение ........................................................218
Глава 9. Метод Ронки (А. Корнехо-Родригес, перевод Н. К. Сосновой) 221
9.1. Введение........................................................221
9.1.1. Историческая справка........................................221
9.2. Геометрическая теория..........................................221
9.2.1. Картины Роики для аберраций первого порядка................223
9.2.2. Ронкиграммы для асферических поверхностей................228
9.2.3. Нулевые решетки Роики......................................230
9.3. Определение формы волнового фронта..........................231
9.3.1. Общий случай................................................234
9.3.2. Поверхности вращения......................................235
9.4. Физическая теория..............................................237
9.4.1. .Математическое описание....................................237
9.4.2. Сравнение физической и геометрической теорий................242
9.5. Практические аспекты метода Ронкн..............................243
9.6. Некоторые аналогичные методы контроля..........................246
9.6.1. Концентрическая круговая решетка..........................2169.6.2. Сканирующий метод Ронкп ................. 247
9.6.3. Мето і Мала кары п Корисхо................. 247
9.6.4. Me і од Л оііера........................ 218
Глава 10. Методы Гартманна, Майкельсона и Гарднера — Беннетта с использованием экрана (И. Гозейль, перевод Т. В. Ушаковой ) ......................................................253
10.1. Введение . ...................................................253
10.2. Теоретические основы..........................................254
10.3. Типы экранов..................................................258
10.3.1. Экран Гартманна с радиальным распределением отверстии . . 258 !'0.3.2. Контроль с использованием экрана со спиральным расположением отверстий..............................................261
10.3.3. Контроль с использованием экрана с квадратным расположением отверстии................................................262
10.4. Реализация метола Гартманна ..................................264
10.5. Обработка данных..............................................266
10.6. Методы Майкельсона п Гарднера — Беннетта....................272
Заключение ........................................................273
Глава 11. Методы контроля по звезде (В. Т. Велфорд, перевод
Е. В. Мазуровой) ........................................275
11.1. Принципы контроля по звезде для случая малых аберраций . . . 276 11.1.1. Безаберрационная картина Энрп .............................276
1.1.1.2. Расфокусированная картина Энри ..........................279
11.1.3. Белый свет..................................................282
11.1.4. Системы с центральным экранированием......................283