Оптический производстенный контроль - Малакара Д.
Скачать (прямая ссылка):
11.1.5. Влияние малых аберраций ..................................283
11.2. Практические аспекты контроля малых аберраций................285
М,.2.1. Ожидаемые эффекты.....................285
1 Ь.2.2. Источник смета для контроля по звезде......................287
П.2.3. Устройство для контроля по звезде..........................289
11.2.4. Микрообъективы............................................291
M .2.5. Может ли метод контроля по звезде быть количественным? . 292
11.3. Контроль по звезде при больших аберрациях......................293
11.3.1. Сферическая аберрация......................................293
11.3.2. Продольная хроматическая аберрация........................294
1.1.3.3. Осевая симметрия..........................................294
11.3.4. Астигматизм................................................295
М.3.5. Дисторсия..................................................295
Г1.3.6. Ненулевые методы контроля..................................296
Г л а в а 12. Голографические и муаровые методы контроля (Г. С. Вайант,
перевод Е. В. Мазуровой)............................298
12.1. Введение ......................................................298
12.2. Интерферометры с реальными голограммами......................298
12.2.1. Хранение волнового фронта................................299
12.2.2. Пераэрушающин контроль .................................300
12.2.3. Голографическая эталонная пластника........................303
12.3. Интерферометры с синтетическими голограммами..............304
12.3.1. Основная методика ........................................304
12.3.2. Источники ошибок..........................................306
1,2.3.3. Результаты, получаемые при использовании синтезированной
голограммы..................................................308
12.3.4. Сочетание голограмм с традиционными оптическими компенсаторами ......................................................309
12.3.5. Перспективы контроля с помощью синтезированных голограмм 310
12.4. Интерферометрия двух длин воли................................311
12.4.1,. Основная методика..........................................311
12.4.2. Контроль шлифованных поверхностей........................313
12.4.3. Техника электронного детектирования........................314 12.5. Муаровая интерферометрия......................................315
12.5.1. Основные принципы ........................................3J6
12.5.2. Экспериментальные установки................................316
12.5.3. Результаты экспериментов ..................................318
Глава 13. Интерферометры со сканированием интерференционных полос
(Дж. X. Врунпнгл перевод Т. В. Ушакосой)................321
13.1. Сканирование полос............................................321
13.2. Синхронное детектирование шперферепциоппых полос............322
13.3. Сканирующий пи іерфсроче ір Тпаимапа— Грипп . . . ...........330
13.3.1. Общие сведения............................................330
13.3.2. Погрешности CiiCtCMu........................................332
і 3.3.3. Получение волнового фронта................................33]
13.3.4. Обработка во'іпоного фронта................................ЗЗо
13.3 5, Абсолютная калибровка ....................................336
13.3.'б. Измерение радиуса ..........................................333
13.3 7. Контроль линз '..............................................33'J
13.4. Сканирующие интерферометры бокового сдвига..................340
13.5. ІІчтерфсрометричсскнс измерения линейных расстоянии . .... 311 13.fi. Сканирование муаровой карпшы................................314
Глава 14. Компенсационные методы контроля (А. Оффнср, переем)
II. К. CoiHodoii)..........................................34(і
14.1. Введение ......................................................346
14.2. Компенсатор Доила..........................................318
14.3. Компенсатор Оффпера ..........................................350
14.3.1. Преломляющий компенсатор Оффпера........................350
14.3.2. Отражающие компенсаторы Оффпера ........................352
14.4. Другие компенсационные методы контроля вогнутых асферических зеркал ........................................................357
14.5. Метод контроля Хпндла ........................................3()0
Глава 15. Измерение некоторых параметров оптических деталей
(P. X. Ноубл, перевод Т. В. Ушаковой)....................363
15.1. Измерение длин ................................................363
15.1.1. Радиус кривизны............................................364
15.1.2. Фокусные расстояния........................................367
16.1.3. Толщина оптических деталей................................368
15.2. Угловые измерения..............................................368
15.2.1. Градуированные круги ......................................369
