Справочник технолога-оптика - Окатов М.А.
ISBN 5-7325-0236-Х
Скачать (прямая ссылка):
спектра. Для изготовления интерференционных поляризаторов для УФ-видимой и близкой инфракрасной областей спектра используют слои оксидов, сульфидов и фторидов металлов [8.75, 8.88]. В ИК-области спектра преимущественно используются слои селе-| нидов, сульфидов, фторидов металлов и полупроводниковых материалов [8.75].
Электропроводящие покрытия используют для обогрева оптических деталей и смотровых стекол с целью устранения их запотевания и обледенения, в качестве прозрачных электродов в электро-1 оптических, фотоэлектрических и жидкокристаллических устрой-1
ствах, для снятия зарядов! с поверхности оптических де-[ талей, в качестве теплоотра-1 жающих покрытий (твид = 85 %; I рик = 85 %) и др. Электропро-1 водящими свойствами обладают! слои диоксида олова и оксида! индия (чистые или легирован-[ ные), получаемые вакуумными и| химическими методами [8.31,1 8.32]. Легирующими добавками j являются для Sn02 фтор и сурьма, а для 1п203 — олово. Для
Рис. 8.23. Характеристики поляризующего действия интерференционного поляризатора пластинчатого типа
514
Таблица 8.23. ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ
ПОКРЫТИЙ
Состав покрытия Метод получения Удельное поверхностное сопротивление, (10~6) Ом м Прозрачность в видимой области спектра
Диоксид олова (SnOg^) Термическое испарение Sn02 с прогревом на воздухе 102-105 Прозрачно
Оксид индия (1П203_Д;) Термическое испарение в вакууме In203 - Sn03 с прогревом на воздухе Реактивное испарение в вакууме In203 - Sn02 10-105 10-104 Прозрачно То же
Прим ечание. Для всех покрытий пропускание в области 400-1500 нм составляет примерно 90 %. Для 1п203_.г рвактивн01,0 испарения отражение составляет 75-85% при р < 25 Ом, X »3,0 мкм.
повышения прозрачности (уменьшения отражения) на электропроводящие слои наносятся просветляющие слои [например, Si02 или (2-3)-слойные просветляющие покрытия]. Основные характеристики электропроводящих покрытий приведены в табл. 8.23. Покрытия относятся к I группе механической прочности и влаго-прочности.
Светопоглощающие покрытия применяют для изготовления безбликовых высокоточных оптических элементов (шкал, сеток, растров), светозащитных бленд, приемников радиации, преобразователей солнечной энергии и др.
Светопоглощающие покрытия состоят из собственно поглощающего слоя (обычно металлодиэлектрика, например хром — диоксид кремния, алюминий — фторид магния и др.) и антиотражающего покрытия — однослойного или интерференционной системы, состоящей из нескольких слоев, обеспечивающих уменьшение отражения [8.33, 8.34]. Характеристики поглощающих и антиотражающих покрытий приведены в табл. 8.24 и 8.25. Покрытия обладают высокими эксплуатационными параметрами.
Эксплуатационные характеристики покрытий. Эксплуатационные характеристики определяют способность покрытий противостоять воздействиям окружающей среды в процессе эксплуатации. К ним относятся механическая прочность, влагопрочность, химическая и термическая прочность, а также устойчивость к целому ряду других специальных воздействий. Под механической прочностью покрытия понимают способность выдерживать механические воздействия (протирку, воздействие пыли и др.). Отечественные стандарты различают несколько групп прочности (0-IV группы). Наибольшей механической прочностью (0-1 группы) характеризуются слои оксидов металлов. Механическая прочность слоев фторидов, сульфидов, селенидов и целого ряда других соеди-
515
Таблица 8.24.
ОСНОВНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СВЕТОПОГЛОЩАЮЩИХ ПОКРЫТИЙ
Номер слоя Оптические Значения оптических постоянных при длинах волн, мкм
Состав покрытия коэффициенты отражения, % 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1,0 1,2 1,4 1,5
n 2,45 2,30 2,29 2,27 2,28 2,27 2,27 2,27 2,27 2,27
1 0,7Cr-0,3Si02 k 0,20 0,18 0,12 0,11 0,11 0,11 0,10 0,08 0,05 0,03
P,% 17,0 16,0 16,0 16,0 16,0 16,0 16,0 16,0 16,0 16,0
1 0,7Cr-0,3Si02
2 Sn02 P,% 4 1,0 1,2 2,0 0,8 0,4 0,2 0,4 1,4 3,5
3 Si02
1 0,7Cr-0,3Si02
2 Zr02 P.% 4,5 1,8 1,0 0,4 0,2 0,4 1,2 1,4 2,8 4,6
3 Si02
Tl 3,5 3,45 3,46 3,45
1 0,5Cr-0,5Cr203 k — _ 0,3 _ 0,30 _ 0,29 — 0,27 —
p,% — — 31,0 — 30,0 — 30,0 — 30,0 —
1 0,5Cr-0,5Cr203
2 0,76Cr-0,24Si02 p,% _ — 3,0 — 9,0 — 27,0 — 6,0 —
3 Si02
1 0,5Cr-0,5Cr203
2 3 0,76Cr-0,24Si02 Sn02 p,% — — 3,0 — 0,2 - 1,0 — 4,0 —
4 Si02
Таблица 8.25. КОНСТРУКЦИЯ И ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
СВЕТОПОГЛОЩАЮЩИХ ПОКРЫТИЙ
Область просвет- ления, мкм Поглощающий слой Антиотражающий слой
Состав Толщина, мкм Отражение, % Состав Толщина, мкм Отражение, %
0,2-0,4 0,4Cr-0,6Si02 0,5 15 sio2 0,03-0,04 1,5
0,4-1,5 0,7Cr-0,3Si02 1,2 16 Zr02 и Si02 — 4
нений относится к I—III группам в зависимости от состава и технологии нанесения. Под влагопрочностью покрытия понимают его способность выдерживать без разрушения и изменения оптических свойств воздействие повышенной влажности (условия тропиков или умеренного климата), воды, атмосферных осадков. Наибольшей влагопрочностью обладают слои оксидов. Наименьшей влагопрочностью характеризуются слои ряда фторидов (например, CaF2, криолит) и других гигроскопических материалов.
