Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
Другой тип маски - «вуаль» или «чадра». Форма одного из видов такой маски показана на рисунке 20.4. Обычно их носят так, как показано на рис. 20.5.
Маски и перчатки для чистых помещений
267
Маски типа «вуаль» можно пристегивать к шлему или вшивать в него при изготовлении. Требует внимания выбор материала и типа маски, т.к. это позволяет не только ограничить распространение загрязнений, но и сделать маску более удобной для персонала.
Рис. 20.4. Маска типа «вуаль» или «чадра», не заправленная в капюшон
Рис. 20.5. Маска типа «вуаль» или «чадра» одетая так, как её обычно носят
268
Технология чистых помещений
Обычные либо защитные очки могут обеспечить дополнительный барьер для кожных чешуек, волосков бровей и ресниц, т.к. не позволяют им падать на критические поверхности (см. рис. 17.3 в главе 17).
20.1.3 Головные уборы с принудительным отсосом
Возможно несколько конструкций головных уборов с принудительным отсосом. Они создают барьер для загрязнений, отделяемых от головы, в том числе изо рта, а также удаляют загрязнения, выталкиваемые воздухом через отверстия между одеждой и телом возле шеи. Отсос из шлема и лицевой экран снабжены фильтрующей системой; это предотвращает попадание загрязнений в чистую комнату. Пример такого шлема приведен на рис. 20.6.
Рис. 20.6. Шлем с принудительным отсосом
Маски и перчатки для чистых помещений
269
20.2 Перчатки для чистых помещений
20.2.1 Загрязнения рук и перчатки
На руках операторов находятся миллионы частичек кожи и бактерий, а также жиры и соли, выделяемые поверхностью кожи. Чтобы предупредить их перенос на чувствительные к загрязнениям поверхности, необходимо надевать перчатки.
Для чистых помещений рекомендуются два типа перчаток. В помещениях невысокого класса чистоты, например, ISO класс 7 (класс 10 ООО) или ниже, рекомендуются вязаные или тканые перчатки. Они используются также как нижние перчатки. Вязаные или тканые перчатки должны быть плотными, и количество свободных концов нитей должно быть минимальным. Этот тип перчаток более в этой книге не рассматривается. В большинстве чистых помещений используются барьерные перчатки, у которых тонкая непрерывная мембрана покрывает всю кисть руки.
С перчатками для чистых помещений связано много проблем. На их поверхности могут быть загрязнения, т.к. эти перчатки обычно производят не в чистых помещениях. Следовательно, они требуют очистки перед применением. Таким образом, перчатки надо выбирать с учетом степени загрязнения их поверхности. В зависимости от того, где они используются, на их поверхности не должно быть частиц, масел, химикатов или микроорганизмов. В процессе работы на перчатках возможно появление проколов, через которые могут проникать загрязнения. Например, было показано, что количество бактерий, проходящих через прокол перчатки размером в 1 мм, составляет около 7000 с немытой руки и 2000 с вымытой руки.
В некоторых случаях применение перчаток в чистых помещениях может вызываться необходимостью предотвратить опасность попадания химикатов (обычно кислот или растворителей) на руки операторов. Такая проблема может возникнуть, например, при использовании кислот для травления в производстве полупроводников. В этом случае необходимо выбирать перчатки толще и прочнее.
У некоторых операторов возникает аллергия на те материалы, из которых делают перчатки. Катализаторы в латексных, нитриловых и неопреновых перчатках и протеин в латексных перчатках могут вызывать раздражение кожи. Применение гипоаллергенных перчаток или внутренних тканых подкладок может уменьшить этот эффект.
270
Технология чистых помещений
Другие свойства перчаток, которые нужно учитывать при их выборе - это химическая стойкость и совместимость; свойство рассеивать электростатический заряд; наличие поверхностных ионов при смачивании; передача загрязнений при контакте; надежность барьера; проницаемость для жидкостей; устойчивость к нагреву; выделение газообразных веществ.
20.2.2 Процесс производства перчаток
Как правило, перчатки изготавливают погружением «формы» руки в расплавленный или жидкий материал, из которого делают перчатки. Формы обычно изготавливают из фарфора или нержавеющей стали. Форму вынимают из расплавленного или жидкого материала, и слой материала застывает, образуя перчатку. Затем перчатку снимают с формы. Для того чтобы перчатка не порвалась, на поверхность формы обычно наносят вещество, предотвращающее прилипание. После снятия перчатки с формы это вещество загрязняет наружную поверхность перчатки. Применение таких веществ является проблемой для чистых помещений, и поэтому перчатки для чистых помещений отличаются от бытовых тем, что количество вспомогательных веществ на них должно быть минимально. Перчатки также промывают, чтобы удалить любые вспомогательные вещества, наносимые на поверхность формы или добавляемые в материал для перчаток. Как пример можно привести использование силиката магния в качестве вещества, облегчающего снятие перчаток бытового назначения. Если силикат магния заменить карбонатом кальция, то этот порошок можно удалять с поверхности, промывая её слабой кислотой. Другой метод решения проблемы можно использовать в процессе снятия перчатки с формы. Когда перчатки снимаются с формы, их внутренняя сторона становится наружной. Затем перчатки можно вывернуть, сделав наружную сторону внутренней, и таким образом исключить проблему вспомогательных веществ.
