Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Физика -> Сокольский М.Н. -> "Допуски и качество оптического изображения" -> 57

Допуски и качество оптического изображения - Сокольский М.Н.

Сокольский М.Н. Допуски и качество оптического изображения — Л.: Машиностроение, 1989. — 221 c.
ISBN 5-217-00547-5
Скачать (прямая ссылка): dopuskiikachestvaoptizobrajeniya1989.djvu
Предыдущая << 1 .. 51 52 53 54 55 56 < 57 > 58 59 60 61 62 63 .. 80 >> Следующая

См Ceo сп Cf1 ГиО S\14 COO SO у —0,0611 0,0136 —0,0991 —0,0068 0,2483 0,2483 —0,0991 —0,0068 0,0246 0,0010 0,5215 —0,5215 —0,0246 —0,001
с00 тп cIz Чу с\х eIx 0I у
Ci о ^60 Cii СЦ Cfl COO °31 Sf1 SSO 0,0837 0,0091 —0,0319 —0,0017 —0,298 —0,298 —0,0319 —0,0017 0,0012 0,0001 0,0330 —0,0330 —0,0012 —0,0001

Таблица 3.6

Матрица коэффициентов C?f/A.

°У Cx 0* cI у с\х 6IУ 6Ix
cU 0,0373 — 0,0104 0,0123 — 0,0009
сх — 0,0373 -0,0104 — 0,0123 — 0,0009
0* 0,0014 — 0,0014 — 0,0024 —0,0010
0I/ — 0,0024 — 0,0001
cIy 0,0035 — 0,0002
Clr -0,0035 — 0,0002
0I у qIX 0 0

160 Таблица 2.12

Значения коэффициентов C40A, Св|Д,

С00 пт cU cX е* вУ cIy cIx 01* 0I у
С40 0,0046 0,0046 0,0001 0,0001 0,0003 0,0003 0 0
Ceo 0,0003 0,0003 0 0 0 0 0 0
C42 0,0044 0,0044 0,0001 0,0001 0,0003 0,0003 0 0

Например, примем с1х = с1у = 0,05 мм, 01ж = 01у = 5", Cx = Cy = 0,2 мм = Oy = 15". Тогда наибольшие значения комы V и VII порядков CgJ, Cffl астигматизма С® составляют:

Cg? = 0,099-0,2 + 0,024-0,5 + 0,0319-0,3 = 0.0430Х;

Cffl = 0,0068-0,2 + 0,0010-0,5 + 0,0017-0,3 = 0.0024Х;

Cf2 = 0,0373.(0,2)2 + 0,0104-(0,5)2 + 0,0123-(0,3)2 = 0.0053Х.

Таким образом, при компенсации комы Cffl наибольший вклад в некомпен-сируемую аберрацию вносит кома V порядка Cg?, постоянная по полю изображения, при этом кома CgJ наиболее чувствительна к смещениям корректора сх, су. При назначении допусков на корректор следует исходить из условия, что среднеквадратическое значение деформации волнового фронта, обусловленной погрешностями корректора, должно быть в несколько раз меньше допустимого средне-квадрэтического значения деформации поверхности.

Пример 2. Рассмотрим погрешности однолинзового корректора к гиперболическому зеркалу астрономического телескопа АЗТ-24 при R0 = 9106,3 мм, е2 = 1,6473. Схема контроля имеет следующие конструктивные параметры:

.R1 = со di — 37,0 стекло К8

R2 = —1330,5 d2 = 6255,0 R3 = 9106,3*

В табл. 3.8 приведены значения коэффициентов, которые рассчитаны при тех же ошибках установки корректора cz, сх, су, 0Ж, Qy, что и в примере 1 (см. табл. 3.5, 3.6).

Коэффициент С!$ принимает следующие значения при смещениях су, сх и наклонах Qy и 6Х: —0,0014; 0,0014; —0,0002; 0,0002 соответственно.

Таблица 3.8

Значения коэффициентов

^oo пт cZ cV е* 9V
C4 о Ceo C71 C5I Сзі ^31 Sa Sn —0,0456 —0,0003 0,0027 0,0000 0,3694 0,3694 0,0027 0,0000 0,0009 0,0000 0,1592 —0,1592 —0,0009 0,0000

11 М. Н. Сокольский

161 Таблица 3.9

Значения коэффициентов CnmA исходной системы

Пі
0 2 4
п т
2 0 0,0897 —0,0684
4 0 0,0219 0,0138
2 2 —0,0897 0,0775
4 2 0,0266

Таблица 3.10

Коэффициенты разложения волновой аберрации CJJj^ /Ї. децентрированной системы

Наклоны и смещения А У компонентов пт «і
0 2 4 2 4 6
г = ш — і J = /л + 1
0{/1 = 3' Cu Csi S11 —8,9671 —0,0408 —0,1606 —0,2877 0,2467 —0,0065
= =0,05 мм Cn Sn 28,1355 —0,1483 0,1408 0,0156 0,0100 —0,1236
0^2 = 3' Си с31 Su —3,4677 0,0321 0,6376 0,0256 0,8883 0,9019 0,0317 0,0314 0,0130
Дг/2 = = 0,05 мм Си Сзі S1I 6,5691 0,0059 —0,1770 —0,1611 —0,1901 —0,0050 —0,0067 —0,0285
Qys = з' Cu Su —20,3605 —0,0262 —0,0174 —0,2852 —0,1946 —0,0134 —0,0066 —0,0896
= = 0,05 мм Cu Su 21,5665 0,0288 0,0183 0,3019 0,2060 0,0144 0,0872 0,0950

162- Допуски центрировки оптических компонентов объектива для проекционной фотолитографии. Проекционный объектив для проекционной фотолитографии (рис. 3.8) работает с увеличением Iх и применяется в методе сканирования по одной координате. Объектив имеет следующие конструктивные параметры:

R1 = оо Стекло

d1 = 70 ТК2

R2 = 1153,5

d2 = 1,47

Яз = 2831,5

d3 = 19,5 ТК2

Ri = —162,93

d4 = 366,46

R6 - -467,7

db = 22,5 TK2

# = —478,6

Апертура объектива sin g'a = 0,12; поле изображения 2у' = = 10X65 мм; рабочая длина волны 0,434 мкм. Аберрации исходной центрированной системы приведены в табл. 3.9, а коэффициенты разложения волновой аберрации Cnm . наклоны Qf и смещения АУі компонентов,—в табл. 3.10.

Из табл. 3.10 видно, что наклоны и смещения всех компонентов вызывают появление дополнительных аберраций главным

- „ ^,20 у>22 /-42 /-.62 о22 о42

образом децентрированной дисторсии Сц, Сц, Си, Сц, оц, Sn-Наклоны I и II компонентов на Qy = 3' вносят также незначительную постоянную по полю изображения кому III порядка, равную Cf1 = —0,0408^ и С™ = 0,0321Л, соответственно. Наличие децентрированной дисторсии приводит к искажению формы изображения, и линейное смещение изображения А у' на краю поля связано с коэффициентом Си' соотношением А у' = C"f Vsin о'а-

В рассматриваемом примере Ay' — 8С"{1 и, например, при Си' = 1,0Х и Sy' = 3,5 мкм. Дисторсия C21I пропорциональна квадрату поля изображения и симметрична относительно оптической оси; дисторсия Си пропорциональна t2 cos 20, и значение ее по краю поля изображения зависит от cos 20. Принимая допустимую линейную дисторсию Ay' = 1 мкм, несложно из табл. 3.10 определить допустимые наклоны и смещения.
Предыдущая << 1 .. 51 52 53 54 55 56 < 57 > 58 59 60 61 62 63 .. 80 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed