Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Физика -> Окатов М.А. -> "Справочник технолога-оптика" -> 71

Справочник технолога-оптика - Окатов М.А.

Окатов М.А. Справочник технолога-оптика — Спб.: Политехника, 2004. — 679 c.
ISBN 5-7325-0236-Х
Скачать (прямая ссылка): spravochniktehnologaoptika2004.djvu
Предыдущая << 1 .. 65 66 67 68 69 70 < 71 > 72 73 74 75 76 77 .. 270 >> Следующая

Рис. 3.50. Схема сферометра для контроля асферической поверхности
187
При условии введения указанных выше поправок сферометр позволяет проверять поверхности с точностью до 1-2 мкм. При контроле асферических поверхностей с небольшим отступлением от плоскости настройка нуля сферометра производится по образцовой плоскости. Значительно большую информацию о форме контролируемой поверхности представляют полярные координатометры [3.14, 3.19] (рис. 3.51). Задача контроля сводится к определению приращения Др радиуса р при изменении угла (р (1 — измеряемая асферическая поверхность; 2 — щуп; 3 — лимб). Наиболее интересной из этой группы приборов является модель ИМ120. Ниже приводятся ее основные характеристики:
Диаметр контролируемого изделия, мм.............. 15-120
Время контроля, с................................ 30-600
Основная погрешность измерения, мкм.............. 0,3-0,5
Максимальная измеряемая асферичность, мм ........ 4
Для контроля полированных асферических поверхностей используют различные бесконтактные методы и устройства. В одних случаях это специализированные приборы, в других — приборы, основное назначение которых далеко не совпадает с задачей измерения формы асферических поверхностей.
Так, для контроля формы крутых выпуклых асферических поверхностей нередко применяют универсальные микроскопы, используя при этом явление дифракции (рис. 3.52) (1 — контролируемая деталь; 2 — конденсор микроскопа; 3 — наблюдательная система микроскопа).
Контролируемая деталь помещается на столик микроскопа, и ее измеряемый контур подводится к оси осветителя. В результате дифракции пучка на контуре проверяемой детали параллельно измеряемому контуру возникает интерференционная картина с тонкой структурой полос. Измерение формы поверхности сводится к измерению координат точек ближайшей к контуру наиболее яркой полосы. Погрешности измерения координат при небольшом размере детали не превышают 2-3 мкм.
Для контроля крупногабаритных шлифованных деталей разработаны высокоточные на-
Рис. 3.52. Схема контроля выпуклой асферической поверхности на приборе УИМ
Рис. 3.51. Схема полярного ко-ординатометра для контроля асферической поверхности
188
кладные сферометры.
Схема измерений с их помощью показана на рис. 3.53. Сферометр содержит три расположенных в одной плоскости контактных опоры. Одна (например, левая) является неподвижной, средняя снабжена измерительным винтом, правая представляет собой высокочувствительный (например, электроконтактный) щуп, с помощью которого определяется момент его касания с проверяемой поверхностью.
Контроль поверхности сводится к определению стрелки прогиба поверхности для выбранных зон и сравнению с расчетными значениями этих же зон. Для проверки профиля в каком-либо осевом сечении используют шаговый метод с последующим графоаналитическим способом обработки результатов. Он сводится к следующему. Сначала сферометр устанавливают в положение, при котором его средняя опора (измерительный винт) совпадает с вершиной поверхности. В этом положении измеряют стрелку h1 поверхности на зоне, заключенной между крайними опорными точками сферометра. Затем последовательно, как показано на рис. 3.53, а, перемещают прибор вдоль проверяемого сечения на расстояние, равное половине длины L его шага, а при каждой остановке измеряют соответствующую стрелку ht.
Для нахождения точек исследуемого профиля используют понятную из рисунка связь между h и I, которая в общем виде может быть представлена уравнением
h ~ 1т1\ + 2Z2(ть — 1) + 2Zg(л — 2) + ... + 21р{т1 — р) + ... + 2Zn,
где п — порядковый номер остановки сферометра, считая остановку в центре поверхности за нулевую.
При необходимости проверки положения большого числа точек поверхности применяют набор сферометров, длина которых
Рис. 3.53. Схема специального накладного сферометра для контроля асферической поверхности
189
составляет ряд!,, L/2, L/4 и т. д. Использование набора сферометров, а не одного из них, имеющего наименьшую длину, позволяет избежать накопления погрешности, суммарное значение которой пропорционально числу шагов.
Точность контроля с помощью накладных сферометров в значительной степени зависит от качества прибора и тщательности проверки. В лучшем случае она составляет 0,3-0,5 мкм, что позволяет формировать асферическую поверхность уже на стадии шлифования.
При контроле точных полированных поверхностей используют в основном интерференционные методы и различные приборные устройства. Так, асферические поверхности деталей малых и средних размеров, отступление которых от ближайшей сферы не превышает 5 мкм, могут контролироваться на интерферометрах типа ИТ-148 (см. п. 3.5). Методика контроля аналогична методике, применяемой при проверке сферических поверхностей. Проверяемую деталь устанавливают на приборе так, чтобы от нее была получена хорошо центрированная кольцевая интерференционная картина (рис. 3.54). Чтобы получить профиль поверхности по такой картине, необходимо в выбранном диаметральном сечении измерить диаметры колец и по результатам измерения осуществить графическое построение. Приборы типа ИТ-148 позволяют настраивать интерференционную картину на систему незамкнутых полос (рис. 3.55). Такая система полос непосредственно воспроизводит профиль поверхности.
Предыдущая << 1 .. 65 66 67 68 69 70 < 71 > 72 73 74 75 76 77 .. 270 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed