Справочник технолога-оптика - Окатов М.А.
ISBN 5-7325-0236-Х
Скачать (прямая ссылка):
Число электронно-лучевых испарителей ................... 2
Максимальная мощность ЭЛИ, кВт ......................... 15
Система фотометрического контроля..................... OMS 2000
593
Спектральный диапазон измерений фотометрического контроля, мкм ................................................ 0,2-3,2
Внутренние габаритные размеры камеры, мм .................0 1100x1100
Расход холодной воды при давлении(2,3 + 3,0) 105 Па и температуре 5-20 °С, л/с .................................... 0,12
Расход горячей воды при давлении (3 + 5) 105 Па и температуре 80-90 С, л/с ...................................... 0,06
Средний расход жидкого азота, м3/с ....................... (10 + 25) 10-7
Сжатый воздух давлением, Па............................... (4 + 7) 105
Максимальная потребляемая мощность, кВт................... 46
Общая площадь, занимаемая установкой, м2 ............. 12
Масса, кг ................................................ 5500
9.15.3. ОТКАЧНЫЕ СРЕДСТВА И ВАКУУММЕТРЫ
Агрегаты вакуумные ротационные применяются в качестве агрегатов предварительного разрежения для высоковакуумных насосов. Технические характеристики агрегатов моделей АВР-50 и АВР-150
АВР-50 АВР-150
Быстрота действия в диапазоне входных давлений:
от 1,1 ¦ 105 до 1,3 ¦ 102 Па (от 800 до 1 мм рт. ст.),
л/с, не менее............. 5 20
от 1,3 • 10“2 до 6,6 Па (от 1 до 5 ¦ 10~2 мм рт. ст.), л/с,
не менее.................. 40 75
Предельное остаточное давление, Па (мм рт. ст.), не более: с учетом паров рабочей
жидкости..................1,3 ¦ 10-1 (1 ¦ 10_3) 6,6 ¦ 10"1 (5 ¦ 10_3)
парциальное по воздуху . . 1,3 ¦ 10-1 (1 • 10~3) 6,6 ¦ 10-2 (5 • 10~4)
Мощность электродвигателей
насосов, кВт .................... 1,5 3,3
Тип насоса:
двухроторного............. ДВН-50 ДВН-150
форвакуумного ............ 2НВР-50 НВЗ-20
Габаритные размеры, мм .... 658x447x875 896x447x1165
Масса, кг..................... 115 295
Насосы диффузионные паромасляные применяются для создания и поддержания вакуума в вакуумных технологических системах. Технические характеристики насосов моделей Н400/7000 и Н630/18000
Н400/7000 Н630/18000
Быстрота действия в диапазоне рабочих давлений от 6,6 ¦ 10“4 до 6,6 ¦ 10~2 Па (от 5 ¦ 10_б до 5 х
х 10-4 мм рт. ст.), л/с .......................... 7000 18 000
Предельное остаточное давление при температуре окружающей среды от 10 до 25 °С, Па
(мм рт. ст.) ..................................... 6,6 ¦ 10-5 (5 ¦ 10~7)
594
Расход охлаждающей воды, л/ч .......... 200 600
Потребляемая мощность, Вт.............. 4000 9000
Масса, кг.............................. 80 280
Насосы вакуумные криогенные предназначены для создания в вакуумной камере остаточной атмосферы без углеводородов. Широко используются там, где технологический процесс требует без-масляной откачки.
Технические характеристики насосов моделей НВК-3,0; НВК-5,0; НВК-10,0 и НВК-20,0
НВК-3,0 НВК-5,0 НВК-10,0 НВК-20,0
Быстрота действия по воз-
духу в диапазоне давления от
5 ¦ 10~4 до 10-1 Па, л/с 3000 5000 10 000 20 000
Наибольшее давление за-
пуска, Па 13 13 13 13
Предельное остаточное дав-
ление, Па 5 • 10-7 5 • 10-7 5 ¦ 10-7 5 • 10-7
Время выхода на рабочий
режим, мин 15 90 110 110
Диаметр условного прохо-
да, мм 250 400 500 630
Потребляемая мощность, кВт 3,5 3,5 6,0 12,0
Габаритные размеры, мм:
компрессорной установ-
ки 495 х 495 х 664 х 1328 х
х 420 х х 420 х х 841 х х 841 х
х 700 х 700 х 1080 х 1088
блока откачки 290 х 330 х 670 х 670 х
х 304 х х 490 х х 670 х х 670 х
х 725 х 885 х 930 х 840
Масса, кг:
компрессорной установ-
ки 95 95 247 434
блока откачки 25 30 69 95
Вакуумметры предназначены для управления устройствами автоматики в вакуумных системах и измерения давлений.
Технические характеристики вакуумметров ВТ-1-4 и ВМБ-1-2
ВТ-1-4 ВМБ-1-2
Диапазон измерения давления, Па (1,3 + 3,9) 10~3 От 13,3 • 10-1
до 66,5 -10-8
Индицирование наличия давления
в диапазоне, Па................... От 1,3 10'1 От 13,3 • 10-1
до 1 - 10~5 до 66,5 • 10~8
Время установления рабочего режима, мин ........................ 15 30
Мощность, потребляемая вакуумметром, Вт ....................... 40 40
Габаритные размеры вакуумметра,
мм................................ 320x200x150 150x200x300
Масса, кг..................... 7,3 7,1
595
9.15.4. СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ
Для контроля толщины слоев в процессе их нанесения используют фотометрический и частотный методы. Описание, а также технические характеристики приборов, работающих на принципе частотного метода, приведены в п. 8.4 и табл. 8.6.
Системы фотометрического контроля толщины пленки СФКТ-751В и СФКТ-751И предназначены для контроля оптических толщин пленок, образующих покрытия в процессе их нанесения на вакуумных установках типа ВУ-1А, ВУ-2М. Контроль может производиться в режимах пропускания и отражения.
Технические характеристики систем контроля СФКТ-751В и СФКТ-751И
СФКТ-751В СФКТ-751И
Спектральный диапазон, мкм . . . Относительное отверстие монохро- 0,20-1,10 0,8-2,6
