Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Физика -> Окатов М.А. -> "Справочник технолога-оптика" -> 193

Справочник технолога-оптика - Окатов М.А.

Окатов М.А. Справочник технолога-оптика — Спб.: Политехника, 2004. — 679 c.
ISBN 5-7325-0236-Х
Скачать (прямая ссылка): spravochniktehnologaoptika2004.djvu
Предыдущая << 1 .. 187 188 189 190 191 192 < 193 > 194 195 196 197 198 199 .. 270 >> Следующая

материала, конденсирующегося за пределами рабочей площади камеры вакуумной установки, и отходы материала, остающиеся в испарителе. За норму расхода пленкообразующего материала (ПОМ) принимают количество материала в граммах, необходимое для нанесения слоя четвертьволновой оптической толщины от рабочего
Lp
диапазона для диэлектрических и полупроводниковых материалов и слоя необходимой геометрической толщины для металла.
Нормы расхода т0 наиболее употребляемых материалов регламентируются соответствующими документами (обычно для диаметра камеры DK = 600 * 700 мм при высоте держателя подложек Л0 = 0,5 DK. При изменении высоты держателя и диаметра камеры нормы расхода материала определяются соотношением т. = т0 где Yi = (Л/Л0)2. При увеличении числа слоев (nd = kX/4) и переходе к другим областям спектра для диэлектриков используется соотношение ль = Й7П0у2, где Y2 = ^АСр-
При изменении геометрической толщины слоя металла нормы расхода соответственно определяют по формуле т. = т0у3, где Y3 = d/dQ. Нормы расхода материалов различного состава могут существенно различаться. Например, для слоя оптической толщины 0,175 мкм норма расхода для ТЮ2 составляет 0,65 г, a MgF2 и Zr02 — 0,85 г и 1,3 г соответственно.
8.6. СВОЙСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ
Свойства оптических покрытий определяются конструкцией интерференционных систем (числом слоев, их последовательностью, толщинами, показателями преломления и др.), методом нанесения слоев, их природой и материалом оптической детали (подложки) [8.14-8.16]. Контроль и стабилизация технологических параметров и режимов нанесения слоев в процессе формирования покрытий обеспечивает высокую воспроизводимость свойств покрытий.
Теория интерференционных покрытий к настоящему моменту достаточно развита. У нас в стране и за рубежом разработаны современные методы синтеза покрытий (нахождение конструкции покрытия, обеспечивающей необходимые оптические и эксплуатационные параметры), которые в сочетании с современными ЭВМ позволяют решать сложнейшие задачи с достаточно хорошим приближением к оптимальному решению. Например, сверхширокопо-лосные просветляющие покрытия высокой оптической эффективности, различные многоспектральные просветляющие и спектроделительные покрытия со сложным распределением интенсивности отраженного и пропущенного излучений по спектру, выполняющие одновременно определенные функции в различных участках оптического спектра (например, в видимой и ИК-областях).
Виды покрытий и их оптические свойства. Современный каталог оптических покрытий включает в себя широкий ассортимент
494
покрытий, различных по назначению, конструкции, составу и свойствам для ультрафиолетовой, видимой и инфракрасной областей спектра.
Просветляющие покрытия уменьшают отражение падающего излучения от поверхности оптической детали. Коэффициент отражения от непросветленной непоглощающей поверхности определяется ее показателем преломления и может достигать высоких значений (4-10 % для оптических сред с показателем преломления 1,5-1,9; 32-40 % — для кремния и германия). В результате потерь излучения на отражение имеет место значительное снижение интенсивности проходящего потока, особенно в многокомпонентных системах и системах, содержащих высокопреломляющие элементы (табл. 8.8). Кроме того, в результате многократных отражений возникает фон рассеянного света, образующий блики, ложные изображения и другие дефекты качества изображения. Современные просветляющие покрытия позволяют существенно повышать светопропускание оптических систем (табл. 8.9).
Для просветления высокопреломляющих материалов широко используют однослойные покрытия. Они позволяют выполнить условия полного гашения отражения (р = 0) для длины волны Х0 при соотношении показателей преломления ппокр = yjnn01in и оптической толщины nh = Ag/4. В ряде случаев недостающий материал с необходимым показателем преломления заменяют эквивалентной системой слоев чередующегося показателя преломления [8.8]. Наиболее широкое применение однослойные просветляющие покрытия нашли в ИК-области спектра.
Для просветления низкопреломляющих материалов широко применяют двухслойные покрытия из слоев неравной оптической толщины с соотношением толщин, не равным целому числу. С помощью таких покрытий можно полностью погасить отражение от поверхности подложки для заданной длины волны независимо от ее показателя преломления. Для других длин волн коэффициент отражения отличается от нуля и может достигать достаточно боль-
Таблица 8.8 Таблица 8.9
СВЕТОПРОПУСКАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВЕТОПРОПУСКАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ
СИСТЕМ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ЧИСЛА СИСТЕМ РАЗЛИЧНОЙ СЛОЖНОСТИ
И ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ КОЭФФИЦИЕНТА
СОСТАВЛЯЮЩИХ КОМПОНЕНТОВ, % ОТРАЖЕНИЯ ПРОСВЕТЛЕННОЙ
ПОВЕРХНОСТИ, %
Показатель преломления Коэффи- циент Френеля, % Число компонентов Коэффициент отражения просветленной поверхности, % Число компонентов
1 2 4 10 20 1 2 4 10 20
1,5 4 92,0 85 72 44 19,0 2,0 96,0 92 85 66 44
1,8 8 84,5 72 52 19 4,0 1,5 97,0 94 88 74 54
3,4 30 49,0 24 6 0 — 1,0 98,0 96 92 82 67
Предыдущая << 1 .. 187 188 189 190 191 192 < 193 > 194 195 196 197 198 199 .. 270 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed