Справочник технолога-оптика - Окатов М.А.
ISBN 5-7325-0236-Х
Скачать (прямая ссылка):
416
ния изображения промежуточного и окончательного фотошаблонов в этих процессах применяют генераторы изображения, микрофотонаборные установки и лазерные фотопостроители, которые по заданной программе экспонируют фотослой, создавая топологию фотошаблона.
Генераторы изображения основаны на принципе сканирования или фотонабора. В сканирующих генераторах развертка и запись изображения осуществляются перемещением стола с фотослоем или отклонением записывающего луча системой зеркал. Генераторы с системой зеркал обеспечивают более высокую производительность, но меньшую точность. При сканировании запись изображения происходит непрерывно, что требует достаточно высокочувствительных фотослоев, имеющих меньшую по сравнению с низкочувствительными слоями разрешающую способность. В связи с этим сканирующие системы применяют главным образом в двухступенчатом процессе изготовления фотошаблонов.
Генераторы изображения, работающие на принципе фотонабора — микрофотонаборные установки — основаны на построении фотоизображения из отдельных (обычно уменьшенных в 10 раз при проекции на фотослой) топологических элементов в виде прямоугольников размером от 30 х 30 мм до 0,03 х 0,03 мм и менее (диапазон апертур зависит от модели установки). Микрофотонаборные машины используют в одноступенчатом процессе изготовления фотошаблонов. Изображение записывают на высокоразрешающие
Таблица 7.17. ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
КООРДИНАТОГРАФОВ
Способ создания рисунка Параметр ЭМ-703 КПА-1200 C1218
Вырезание Размер рабочего поля, мм 1200x1300 1200x1300 1200x1300
Точность резания, мкм ±50 +50 +30
Точность повторения, мкм — — +10
Скорость дви- 100 65 (по прямой); До 250
жения резца, мм/с (по прямой) 20 (по окружности) (по прямой)
Фотозапись Размер рабочего поля, мм - 500x500 1200x1750
Наименьшая ширина линии в изображении, мм 0,2 0,1
Отклонение линии по ширине, мм 0,02 (по прямой); 0,05 (по окружности) ±10-15 мкм
Скорость перемещения фо-тоголовки, мм/с До 250
417
Таблица 7.18.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ РЕПРОДУКЦИОННЫХ ФОТОКАМЕР
Параметры ПП-12 ЭМ-503А ЭМ-513 «Клиш Микроника Э* (Германия)
Максимальные размеры экрана осветителя, мм 1000x1000 800x800 1300x1300 1200x1500
Максимальное рабочее поле оригинала, мм 900x900 750x650 1200x1200 -
Максимальные размеры фотопластинки, мм 120x120 90x120 90x120 600x600
Масштаб изображения Уменьшение (3 - 10)^ Уменьшение 10х, 20х, 30х Уменьшение 20", 40х, 50х 2:1; 1:2; 1:4; 1:10; 1:15; (10-100)*
Марка объектива ОБ-54; ОБ-56; ОП-16 «Орион-18», «Индустар-11» Эра 7; Эра 12-15 Тип «Апоронар» (/ = 24; 36; 60; 80 см); микроадаптеры МЕК с объективами «Оптон»
Освещение оригинала Проходящий, отраженный свет Проходящий свет Проходящий свет Проходящий, отраженный свет
Перемещение фотопластины в плоскости изображения (для мультиплицирования), мм 100x100 90x100 90x100
Точность перемещения, мм ±0,001 ±0,002 ±0,002 -
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм 1730x580x1640 1500x1260x1775 8600x1790x2165 5650x2500x2450
фотослои, в том числе фоторезисты. Описание генераторов изображения, их основные характеристики приведены в работах [7.49, 7.58-7.60].
Прецизионные лазерные фотопостроители позволяют синтезировать фотошаблоны с круговой симметрией рисунка [7.61] или с произвольной (не круговой) топологией [7.62]. В первом случае по радиусу вращающейся подложки с фотослоем дискретно перемещается луч света, во втором — наоборот, перемещается стол в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Применение в фотопостроителях сфокусированного лазерного луча позволяет использовать различные светочувствительные материалы: галоге-нидосеребряные, фоторезисты, тонкие (30-200 нм) пленки хрома. Минимальная достигаемая ширина штриха — около 1,0 мкм [7.61, 7.63].
Фотошаблоны, изготовленные по описанным технологическим схемам, являются, как правило, эталонными; рабочими фотошаблонами служат копии с эталонных. Их получают на галогенидосе-ребряных фотослоях (эмульсионных фотошаблонах), на непрозрачных хромовых или цветных транспарентных покрытиях. Хромовые и транспарентные фотошаблоны изготовляют по фотолитографической технологии.
В фототехнологических процессах применяют галогенидосереб-ряные и бессеребряные фотоматериалы. Галогенидосеребряные материалы используют главным образом для получения фотошаблонов, реже — для изготовления шкал и сеток. Бессеребряные фотослои — для получения износостойких рабочих фотошаблонов и большинства шкал и сеток на различных подложках и покрытиях.
Из галогенидосеребряных слоев преимущественное применение находят высокоразрешающие и высококонтрастные (у = 4 -г- 6) материалы на прозрачной подложке. Светочувствительность (S) при сенситометрических испытаниях дополнительно определяют по критерию, соответствующему оптической плотности почернения D = 2,0 (SD = 2 0)- Оденка применимости слоев с точки зрения воспроизведения мелких деталей (штрихов) производится не только по разрешающей способности (R), но и по значению разрешения /?ш, отвечающему четкой передаче размера штрихов миры в получаемом на фотослое изображении. При равенстве в изображении штрихов и промежутков между штрихами ширина неискаженного по размеру штрихаI = 1000/2Дш. Разрешение по штриху Дш, как и разрешающую способность R, можно определить контактным или проекционным способом. С увеличением апертуры объектива А проекционного резольвометра разрешение Дш возрастает в меньшей степени, чем разрешающая способность R [7.64].
