Справочник технолога-оптика - Окатов М.А.
ISBN 5-7325-0236-Х
Скачать (прямая ссылка):
Твердые кристаллы полируют на шлифовально-полировальных или полировально-доводочных станках типов ШП, ПД, СД свободным абразивом, как правило, алмазом при давлении не менее 100 кПа. Для полирования плоских поверхностей боль-
291
292
Таблица 5.11.
РЕЖИМЫ ОБРАБОТКИ ПРИ ШЛИФОВАНИИ МОНОКОРУНДА СВОБОДНЫМ АБРАЗИВОМ
Абразив, зернистость Условия шлифования Скорость съема, см3 • с 1 Расход абразива, кг/м3 Ra, мкм
Карбид бора: Станок модели 6ЩП200;
№ Ю давление 100 кПа; часто- 1,7 Ю~4 — 2,30
№ 6 та вращения, с"1, инстру- 1,3 10'4 — 1,20
№ 5 мента — 1,0; число двой- (44+1,0)10 4 105 1,00
№ 40 ных ходов каретки 0,6; (14+1,0)10~4 105-107 0,65
инструмент — чугун, сталь;
СОЖ — вода
М20 Модель станка и режи- (1,5+0,4)10“4 2 ¦ 105-2 • 107 0,48-0,10
М10 мы обработки те же; инст- (0,4+0,1)10“4 2¦105-2• 107 0,32-0,01
М5 румент — сталь, латунь, — 2 • 107 0,03-0,01
М3 стекло КИ; СОЖ — вода — 2 • 107 0,02
Ml — 2 • 107 0,01
Алмаз: Модель станка и режи-
АСМ60/40 мы обработки те же, что и — — 0,86-0,60
АСМ40/28 для карбида бора; инстру- — — 0,68-0,48
АСМ28/20 мент — чугун; СОЖ — — — 0,57-0,42
АСМ14/10 вода — — 0,24-0,22
АСМ10/7 — — 0,18-0,16
Эльбор, пасты: Модель станка и режи-
ЛМ40 мы обработки те же, что и 0,37 ¦ 10"4 4,0 ¦ 104 —
ЛМ28 для карбида бора; давле- 0,33 10 4 6,0 104 —
ЛМ14 ние 50 кПа; инструмент — 0,17 ¦ 10'4 1,5- Ю4 —
ЛМ10 латунь; СОЖ — вода 0,13 10'4 2,5 • 104 —
ЛМ5 0,05 • 10-4 6,0 104 —
щих размеров необходимо использовать узел дополнительного давления [а. с. СССР N 1284794], который устанавливается на шпиндель каретки станка и включается либо совместно с системой давления станка, либо раздельно. Он обеспечивает широкий диапазон давлений (до 2000 кПа).
Процесс полирования делится на две стадии: 1) снятие нарушенного шлифованием слоя и получение необходимой точности формы (плоскости, сферы); 2) окончательная доводка по чистоте и шероховатости.
Предварительное полирование монокорунда осуществляют алмазными микропорошками или пастами (с добавлением микропорошков) АСМ5/3, АСМЗ/2 на полировальниках из сплавов алюминия Д16, В95 и меди МО. Рабочая поверхность полировальника имеет кольцевые или спиральные канавки прямоугольной или трапецеидальной формы с шагом 1,0—1,5 мм.
Предварительное полирование граната осуществляют алмазом не крупнее АСМ2/1 на тех же полировальниках. При изменении зернистости необходимо тщательно протереть полировальник ватой, смоченной бензином, и промыть щеткой с мылом в теплой проточной воде. Только на чистый полировальник наносят скальпелем порцию алмаза и смазочно-охлаждающую жидкость равномерно по поверхности. Снимаемый припуск составляет 1,0-1,5 размера зерна предыдущего перехода, или 4-5-кратное значение Rz обрабатываемой поверхности. Режимы обработки приведены в табл. 5.12. Полирование твердых кристаллов диаметром менее 0,05 м можно вести на станках СД вручную на инструменте из стекла, агата, дерева, сукна, смолы микропорошками алмаза, кубонита (эльбора), карбида бора, уменьшая зернистость переходов от 7,0 до 0,5 мкм с водой и другими жидкостями.
Предварительное полирование фианита и кварца ведут алмазом АСМ1/0 или кубонитом КБ 1/0 на полировальниках из смолы СП-7, СП-8 с наполнителями или на ткани, наклеенной на шлифовальник.
Предварительное полирование твердых кристаллов выполняют инструментом на эпоксидной или бакелитовых связках с наполнителями и алмазом или эльбором зернистостей от АСМ20/14 до АСМ5/3 и АМ20/14 — АМ5/3 на станках типа ШП и ША при давлениях не менее 300 кПа. При этом снимается слой не более (1 + 5) 10~6 м и равномерность съема зависит от согласованности формы инструмента и заготовки (по стрелке Aft < 1 • 10~6 м).
Технологические параметры окончательного полирования определяют: размеры ОД, требования к точности формы, чистоте, шероховатости, глубине нарушенного слоя, спектральному пропусканию. В процессе обработки ОД происходит проникновение в поверхностный слой молекул продуктов срабатывания как механическим, так и химическим путем. При повышенных требованиях по пропусканию в УФ [ВУФ]- и ИК-областях спектра и на границах пропус-
293
Таблица 5.12. РЕЖИМЫ ОБРАБОТКИ ПРИ ПОЛИРОВАНИИ ТВЕРДЫХ
КРИСТАЛЛОВ (РТМ 3-1268-80 И РТМ 3-1450-81)
Марка порошка Параметры режимов обработки Параметры обрабатываемой поверхности Скорость съема, см3 ¦ с-1
R2 мкм N/&N а-А]203
АСМ5/3 АСМЗ/2 АСМ1/0 АСМО, 5/0Д АСМО,3/0 *d — диаметр п Станки типа ПД; частота вращения нижнего шпинделя, с-1, менее 0,8; давление более 100 кПа; частота двойных ходов каретки, с'1, — 0,51-0,75; длина штриха — (0,4+0,45)d*; смещение — (0,016+0,022) d*; СОЖ — растительное масло, спирт (этиловый, про-пиловый) олировальника. 0,200-0,060 0,100-0,050 0,020-0,010 0,015-0,050 0,010-0,005 5,0/2,0 1,0/1,0 0,1/0,1 0,1/0,1 0,1/0,1 11,4 • 10“2 5,4 • 10“2 1,8 ¦ 10'2 3 • 10'2 1,8 • 10'2 0,9 10'2 0,3 10'2
кания поверхности полируют с применением абразивных и вспомогательных материалов, не снижающих спектральное пропускание кристаллического материала ОД, а также используют дополнительные процессы, снижающие это влияние — ионную полировку, выжигание примесей, травление, промывки в растворителях, покрытия.
