Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Физика -> Могорян Н.В. -> "Электрические методы обработки материалов " -> 32

Электрические методы обработки материалов - Могорян Н.В.

Могорян Н.В. Электрические методы обработки материалов — Киш.: Штиинца, 1982. — 219 c.
Скачать (прямая ссылка): elektricheskiemetodiobrabotki1982.djvu
Предыдущая << 1 .. 26 27 28 29 30 31 < 32 > 33 34 35 36 37 38 .. 70 >> Следующая

изготовляются прямоугольные микроферриты.
Огромные перспективы открыты перед электроннолучевой обработкой в области
технологии микроэлектроники. Электронный луч уже сейчас успешно
применяется при изготовлении интегральных схем. Применение электронно-
лучевой технологии для получения р-n-переходов, резисторов, туннельных
диодов, некоторых типов транзисторов, для изготовления микроотверстий в
тонких пленках, для соединения компонентов и т. д. все более расширяется.
Наиболее типичный пример, достаточно убедительно и ярко иллюстрирующий
технологические возможности электронного луча,- фрезерование с его
помощью пазов в металлических пленках при производстве
микросопротивлений. Этот процесс имеет много преимуществ: высокая
производительность, возмож-
ность изготовления различного типа сопротивлений, нанесения рисунков
разной конфигурации, высокая точность изготрвления сопротивлений.
10t
Технология изготовления микросопротивлений заключается в следующем. На
керамическую подложку методом напыления в вакууме наносится хрОмоникеле-
вая пленка толщиной в несколько тысяч ангстрем. Затем с помощью
электронного луча в пленке фрезеруются пазы необходимой ширины (рис. 63).
Получаемые таким методом микросопротивления имеют низкое сопротивление-
от 100 до 300 Ом/см2 [3].
Аналогичным образом изготовляются другие радиотехнические элементы
микроэлектронных схем.
Электронный луч как источник сварочного нагрева по своей удельной
энергетической мощности и прецизионности превосходит все известные
источники. Электронно-лучевая сварка, производимая в вакууме, позволяет
сохранить исходную чистоту свариваемого металла. Эти особенности сварки
электронным лучом обеспечили ей определенные преимущества перед иными
методами сварки плавлением.
Большие возможности в локализации сварочного нагрева способствовали
применению электронно-лучевой сварки для соединения микродеталей в
радиоэлектронике и приборостроении. Высокая надежность сварных
соединений, возможность автоматизации и программирования процесса при его
высокой производительности, минимальное тепловыделение - основные
преимущества, определившие применение данного способа сварки в
производстве микросхем.
Действие луча практически мгновенно, поэтому при электронно-лучевой
сварке не происходит нагрева всей схемы, как это наблюдается в случае
пайки. Это тем более важно, что припои, используемые для герметизации
некоторых схем, плавятся при температуре, которая лишь на несколько
градусов ниже точки плавления материалов, применяемых для напыления или
напайки твердых схем на плату.
Первоначально предполагали, что с помощью электронно-лучевой сварки можно
соединять только детали небольших размеров, однако с развитием
электроннолучевой технологии и техники эти ограничения удалось
преодолеть. В настоящее время на промышленных электронно-лучевых
установках сваривают детали из нержавеющих сталей толщиной до 50 мм и
алюминиевые листы толщиной до 150 мм без разделки кромок.
102
DiMMf ?
Рис. 63
Рис 64
Никакими известными способами сварки невозможно выполнять такие
технологические операции.
Электронно-лучевая сварка оказалась и менее энергоемкой по сравнению,
например, с дуговой. Затраты энергии при дуговой сварке плавящимся
электродом в инертной среде составляют 3,76 кДж на 1 м шва, в то время
как при электронно-лучевой сварке - 0,36 кДж на 1 м шва, что равняется
лишь 10%.
Электронный луч успешно применяется в машиностроении для сварки готовых
изделий, например колеса статора турбины из титана или зубчатых колес
ответственных механизмов из стали, причем в сварном соединении
отсутствуют усадочные раковины и трещины, не требуется последующая
механическая и термическая обработка.
В связи с развитием .новой техники, в частности атомной, авиационной и
ракетной, резко возрос интерес к тугоплавким металлам, особенно к
молибдену, ниобию, вольфраму, танталу, а также титану. При сварке этих
металлов возникают определенные трудности вследствие высокой температуры
их плавления и большой активности в расплавленном или нагретом состоянии
по отношению к кислороду, азоту и водороду. Применение электронного луча
позволяет достаточно эффективно решить проблему сварки перечисленных
металлов.
Успешно используется электронный луч для соединения разнородных металлов
при изготовлении электро-
103
вакуумных приборов, высокотемпературных реакторов,/ термоэлектронных
преобразователей, энергии, а также для сварки некоторых типов керамики,
специальных стекол, керамики с металлами и в качестве источника нагрева
для сварки в труднодоступных местах.
Основной недостаток электронно-лучевой сварки - необходимость помещения
изделия в вакуумную камеру. В последнее время проводятся исследования и
достигнуты успехи в разработке методов сварки электронным лучом в среде
инертного газа или воздуха при атмосферном давлении. Формирование
электронного Луча осуществляется, как обычно, в глубоком вакууме с
Предыдущая << 1 .. 26 27 28 29 30 31 < 32 > 33 34 35 36 37 38 .. 70 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed