Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Физика -> Малакара Д. -> "Оптический производстенный контроль" -> 71

Оптический производстенный контроль - Малакара Д.

Малакара Д. Оптический производстенный контроль — М.: Машиностроение, 1985. — 400 c.
Скачать (прямая ссылка): opticheskiyproizvod1985.djvu
Предыдущая << 1 .. 65 66 67 68 69 70 < 71 > 72 73 74 75 76 77 .. 155 >> Следующая


Интерферометрия с многократным прохождением лучей весьма полезна для высокоточных измерений однородности стеклянных пластин, ошибок углов 90 и 45° у призм с крышей и призм-кубов [!3]. Она достаточно перспективна и при реализации интерферометрии скользящего падения [12], обеспечивающей за счет некоторого снижения чувствительности контроля, возможность измерения больших поверхностей с помощью систем с малой апертурой (рис. 7.12). При угле падения лучей а отклонение интерференционных

? Это ограничение не используют в некоторых случаях, например при измерении толщин однородных тонких пленок, для которых существуют описаииые з [3J специальные оптические системы с узкими световыми пучками, обеспечивающие до 50 прохождений лучеіі через прибор. полос от прямолинейности в картине, образуемой отраженными лучами п-го порядка,составляет

An At cos а

к

(7.8)

а потеря в чувствительности может быть компенсирована правильным выбором луча с подходящим, более высоким порядком.

1. Bubis I. Ya. Multipass Interferometer for Surface Shape Inspection, Sov. J. Opt. Techno!, 39, 411 (1972) (оригинал на русском языке: Оптико-механическая промышленность, 1972, № 7, с. 36).

2. Cagnet М. Methodes Interferometriques Utilisant Ies Franges de Superposition (voir Erratum, p. 552), Rev. Opt, 33, 1, 113 (1954).

3. Dupoisot H., Lostis P. Interferometrie a Passages Multiple et Mesure des Tres Faibles Epaisseurs, Nouv. Rev. Opt, 4, 227 (1973).

4. Hariharan P, Sen D. Double-Passed Two-Beam Interferometers, J. Opt. Soc. Am, 50, 357 (1960a).

5. Hariharan P, Sen D. The Double-Passed Fizeau interferometer, J. Opt. Soc. Am, 50, 999 (1960b).

6. Hariharan P., Sen D. Double-Passed Fizeau Interferometer. II: Fringe Svs-tems formed by the Reflected Beams, J. Opt. Soc. Am., 51, 400 (1961a).

7. Hariharan P, Sen D. Fringes of Equal Inclination in the Double-Passed Michelson Interferometer, J. Opt. Soc. Am, 51. 617 (1961b).

8. Hariharan P., Sen D. Double-Passed Two-Beam Interferometers. II: Effects ot Specimen Absorotion and Finite Path Difference, J. Opt. Soc. Am, 51, 1212 (1961c).

9. Hariharan P, Sen D. The Separation oi Symmetrical and Asymmetrical Wave-Front Aberrations in the Twyman Interferometer, Proc. Phys. Soc, 77, 328 <1961d).

10. Hopkins H. H. Wave Theorv of Aberration, Clarendon Press, Oxford, 1950, p. 48.

11. Langenbeck P. Multipass Twyman-Green Interferometer, Appl. Opt, 6, 1425 (1967).

12. Langenbeck P. Multipass Interferometry, Appl. Opt, 8, 543 (1969a).

13. Langenbeck P. — In: Optical Instruments and Techniques, J. Home Dickson, Ed, Oriel Press, Newcastle-upon-Tyne, 1969b.

14. Puntambekar P. N., Sen D. A Simple Inverting Interferometer, Opt. Acta, 18, 719 (1971).

15. Sen D, Puntambekar P. N. An Inverting Fizeau Interferometer, Opt. Acta, 12, 137 (1965).

16. Sen D. Puntambekar P. N. Shearing Interferometers for Testing Corner Cubes and Right Angle Prisms. Appl. Opt., 5, 1009 (1966).

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ГЛАВА 8

Методы контроля Фуко, нити и фазовой модуляции

Дж. Охеда-Кастаньеда

8.1. ВВЕДЕНИЕ

Метод HOHta Фуко [М, 12] и вообще все шлирен-методы [19, 3;4, 40, 48, 52] !годностью доказали свою исключительную полезность для контроля оптических поверхностей. Оптические аберрации, дифракция света и деформации не полностью обработанных поверхностей вызывают отклонения лучей от теоретических траектории и искажения волнового фронта. Основная идея шлиреп-методов как раз и состоит в обнаружении боковых смещений таких лучей за счет их задерживания или модификации. Это осуществляется путем помещения специальных экранов в плоскость схождения света, прошедшего через контролируемую оптическую поверхность или отраженного от него.

Основными достоинствами шлирен-методов являются их высокая чувствительность и простота схемной реализации и интерпретации результатов (по крайней мере, с геометрической точки зрения). Разумеется, для оценки преимуществ одного метода перед другим того же класса необходимо исследовать его возможности при обнаружении присутствия аберрации, больших, чем длина волны излучения (а), — геометрические принципы формирования изображения — и меньших длины волны (б)—физические принципы формирования изображения. И, наконец, совершенно естественно, что выбор того пли нного способа контроля зависит от конкретных обстоятельств.

8.2. МЕТОД НОЖА ФУКО 8.2.1. Описание

Этот метод весьма удобен для обнаружения поперечных аберрации системы. В процессе контроля непрозрачным экраном, помещенным в плоскость теоретического схождения лучей, пересекают часть отраженного или дифрагированного света, в результате чего возникает теневая картина, указывающая на наличие погрешностей у контролируемой детали (рис. 8.1). По простоте устройства и реализации метод Фуко является уникальным по сравнению с другими оптическими методами и может рассматриваться как первый по-настоящему производственный способ, на основе которого были разработаны другие многочисленные варианты оптического контроля.

Предыдущая << 1 .. 65 66 67 68 69 70 < 71 > 72 73 74 75 76 77 .. 155 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed