Оптический производстенный контроль - Малакара Д.
Скачать (прямая ссылка):
Для измерения ОПФ этим методом были разработаны различные типы интерферометров сдвига. В системе Цуруты [31] применен полярископ Савара для смещения выходного зрачка (рис. 3.20). Перед фокальной плоскостью исследуемой линзы L располагают узкую зцель. Модифицированный полярископ Q с переменной толщиной дает переменный сдвиг выходного зрачка лпнзи L. Дополнительный полярископ Савара Q', повернутый на 180е относительно полярископа Q, позволяет получить нулевой сдвиг выходного зрачка при .измерении ОПФ на нулевой частоте. Если полярископ Q' ориентирован параллельно полярископу Q, их сдвиги суммируют. Для изменения ф используют компенсатор Солейля С. Афокальная система линз L1 и L2 сужает параллельный пучок, выходящий из исследуемой линзы L; се выходной зрачок совпадает с матовой пластн-r.-fi Л/, на которой образована интерферограмма. Линза L3 собирает свет на фотоумножителе PM. Для измерений при больших пространственных частотах (т. е. при больших сдвигах выходного зрачка) используют узкую шель, ширина которой должна быть та-к"й, чтобы две точки выходного зрачка, находящиеся на расстоянии, равном сдвигу, имели высокую степень когерентности. В эксперименте Цуруты сна равнялась 2 мкм. Поскольку разность пути, образованная полярископом Сазара, равна нулю для нормального падения пучка, использование света с высокой временной когерентностью не требуется. Цурута, в частности, применял вольфрамовые лампы с интерференционными фильтрами, имеющими ширину полосы 10 им (100 Л).
Устройство, изображенное на рис. 3.20, подобно интерферометру, показанному иа рис. 3.7, и может использоваться для измерения аберраций линзы L. Распределение интенсивности на матовой пластине представляет собой иитерферограмму бокового сдвига волнового фронта, выходящего из линзы L.
64 Автокорреляционный метод может рассматриваться как аналог метода сканирования. В экспериментальной установке (см. рис. 3.20) изображение светящейся щели, образованное исследуемой .линзой, и интерференционные полосы полярископа Савара лежат в одной плоскости на бесконечности. Изменение if- с помощью компенсатора дает эффект смещения системы интерференционных полос относительно изображения щелп. Следовательно, если поток ,измеряется в фокальной плоскости хорошо скорректированной линзы, расположенной после компенсатора, как показано на рис. 3.20, получаем методом сканирования ОПФ линзы I, п, таким образом, эти два метода эквивалентны. Различие заключается лишь в том, что автокорреляционный метод предполагает измерение потока в плоскости, сопряженной с выходным зрачком исследуемой линзы, sx сканирования — в плоскости, сопряженной со светящейся щелью.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Burch J. М. Scatter Fringes of Equal Thickness.— Nature, 171, 889 (1953).
2. Burch J. M. Scatter-Fringe Interlerometrv.— J. Opt. Soc. Am., 52, 6UU,
(1962).
3. Burch J. M. Interierometry with Scattered Light,— In: Optical Instruments ¦and Techniques, J. Home Dickson, Ed., Oriel Press, England. 1969, p. 213.
4. Dyson J. Common-Path Interferometer tor Testing Purposes. — J. Opt Soc. Am... 47, 386 (1957a).
5. Dyson J. Interferometers.— In: Concepts of Classical Optics by John 'Streng, \V. H. Freeman, San Francisco, 1957b, Appendix B, p. 377.
6. Dyson J. Very Stable Common-Path Interferometers and Applications.— J Opt. Soc. Am., 53. 690 (1963).
7. Dyson J. Interferometers as a Measuring Tool, Machinery Publishing Co., Bngiuon (1970).
8. Fraticon M., Jordery M. Application des Interferences par Double Refracti--:n a !'Etude'des Aberrations — Rev. Opt. 32, 601 (1953).
9. Franjon M., Mallick S. Polarization Interferometers, John Wilev, New Ycrk (1971)
10. Hopkins H. H. Interierometric Methods for the Studv of Diffraction Image-.—Opt. Acta. 2, 23 (1955).
11. Houston J. B., Jr. How to Make and Use a Scatterplate Interferometer.— 'Opt. Spectra, 4 (6), 32 (1970).
12. Linnik W. Simple Interferometer to Test Optica! Svstems, Comptes Red-it:? de I'Academie des Sciences d' I'U. R. S. S. 1, 208 (1933). Abstract in Z. In-s' T.mentenkd 54, 463, 1934. (оригинал на русском языке: Доклады АН СССР,
1933.1,208).
13. Lohrnann А. Zur Messung des Optischen Ubertragungsfaktors.— Optik,
510 (1957).
14. Mallick S. Measurement of Ontical Transfer Function with Polarization Interferometer — Opt. Acta, ІЗ, 247 (1966).
15. Murata К. Instruments for the Measuring of Optical Transfer Functions.— In- Progress in Optics, Vol. 5, E. Wolf, Ed., North-Holland, Amsterdam, 1966,
p. 201.
io. Murty M. V. R. K- Common Path Interferometer Using Fresnel Zone Pla-:j3 —J. Opt. Soc. Am., 53, 568 (1963).
17. Philbert M. Applications Metrologiques de Ia Strioscopie InterferentielIes.--Rev. Opt., 37, 598 (1958).
18. Philbert M., Caryson M. Realisation et Controle par Strioscopie Interfe-rentielle de Miroirs Plans, Spheriques et Paraboliques.— In: Optical Instruments and Techniques, K. J. Habell, Ed., Chapman and Hall, London, 1961, p. 352.
85 19. Prat R. Spectromelrie des Frequences Spatiales et Coherence.— Opt. Acta, 13, 73 (1966).
