Оптический производстенный контроль - Малакара Д.
Скачать (прямая ссылка):
13. Hansler R. L. Application of Holographic Interferometry to the Comparison of Highly Polishea Rerleeting Surfaces, Appl. Opt, 7, 711 (1968a).
14. Hansler R. L. A Holographic FoucauU Knife-Edge Test for Optical Elements of Arbitrary Design, Appl. Opt, 7, 1863 (1968b).
15. Hildebrand В. P, Haines К. A. Interferomctric Measurements Using the Wavefront Reconstruction Techniques, Appl. Opt, 5, 172 (1966).
16. Hildebrand В. P, Haines K. A. Multiple Wavelength and Multiple Source FlolographyApplied to Contour Gcneration1J. Opt. Soc. Am, 57. 155 (1967).
17. Mildebrand В. P, Haines К. A, Larkin R. Holography as a Tool in the Testing of Large Apertures, Appl. Opt, 6, 1267 (1967).
18. Ichioka Y, Lohmann A. W. Interferometric Testing of Large Optical Components with Circular Computer Holograms, Appl. Opt, 11, 2597 (1972).
19. Kurtz R. L, Owen R. B. Holographic Recording .Materials.— A Review. Opt, Eng.. 14, 393 (1975).
20. Larionov N. P, Lukin A. V, Mustafin K. S. Holographic Inspection of Shapes of Unpolished Surfaces, Sov. J. Opt. Technol, 39, 154, 1972 (оригинал на русском языке: Оптико-механическая промышленность, 1972, ,Ns 3, е. 35).
21. MaeGovern A. J. Projected Fringes and Holography Appl. Opt. il, 2972 (1972).
22. MacGovern A. J, Wyant J. C. Computer Generated Holograms for Testing Optical Elements, Appl. Opt, 10, 619 (1971).
23. Moreau B. G., Hopkins R. E. Application of Wax to Fine Ground Surfaces to Simulate Polish, Appl. Opt, 8, 2)50 (1969),
24. Munnerlyn C. R, Latta M. Rough Surface Interferometry Using a CO9 Laser Source, Appl. Opt., 7, 1858 (1968).
25. Pastor J. Hologram Interferometry and Optical Technology, Appl. Opt, 8. 525 (1969).
26. Pastor J, Evans G. E., Harris J. S. Holograrn-Intericrometrv: A Geometrical Approach, Opt. Acta 17, 81 (1970).
27. Polheinus C. Two-Wavelength Interferometry, Appl. Opt.. 12, 2071 (1973).
3 IS 28. Schmidt VV., Vogel A,, PreubIer D. Hoiographic Contour Mapping Using a Du: Laser, Appl. Phys.. 1, 10,3 (1973).
29. Smith H. M. Principles of Holography, Joiin Wiley, New York, 1975c.
30. Snow K., Vandewarker R. On Using Holograms for Test Glasses, Appl. Opt., 9, S22 (1970).
31. Takahashi T., Konno K., Kawai M. Some Improvements in Compnfer Hologram for Tcsiing Aspheric Surface, Proceedings of the ICO Conference on Optical Mt'hods in Scieniific and Industrial Measurements, Tokyo. 1974, Jap. J. Appl. Pliys., 14, Suppl. 1, 247 (1975).
32. Takasaki H. Moire Topography, App!. Opt.. 9. 1467 (1970).
33. Takasaki H. Moire Topography, Appl. Opt., 12, 845 (1973).
34. Van Deelen W., Nisenson P. Mirror Blank Testing by Real-Time Holographic lnterferometry, Appl. Opt., 8, 951 (1969).
35. Wyant J. C. Testing Aspherics Using Two-Wavelength Holography, Appl. Opt., 10, 2113 (1971).
36. Wyant J. C., Bennett V. P. Using Computei' Generated Holograms to Test Aspheric Wavefronts, Appl. Opt., 11, 2833 (1972).
•37. Wyant J. C., O'Neill P. K. Computer Generated Hologram; Null Leris Test of Aspheric Wavefronts, Appl. Opt., 13, 2762 (1974).
38. Wyant J. C., O'Neill P. K., MacGovern A. J. Interferometric Method of Measuring Plotter Distortion, Appl. Opt., 13. 1549 (1974}.
39. ZeIenka J. S., Varner J. R. A New Method for Generating Depth Contours Holographically, Appl. Opt., 7, 2107 (1978).
40. ZeIenka J. S., Varner J. R. .Multiple- Index Holographic Contouring, Appl. Opt., 8. 1431 (1969). ГЛАВА 13
Интерферометры со сканированием интерференционных полос
Дж. X. Брунинг
13.1. СКАНИРОВАНИЕ ПОЛОС
Чувствительность стационарной интерференционной картины в интерферометрах с двойным прохождением лучей ограничивается величиной К/2, где К— длина волны излучения. Ее можно увеличить за счет использования многолучевых устройств [20], а с помощью метода многоволновой многолучевой интерферометрии несложно интерпретировать возникающие полосы [9]. Следует помнить, однако, что увеличение резкости у многолучевых полос позволяет лишь точнее определить местоположение их максимальных значений, но не повышает чувствительность измерений. Для ее повышения требуется уменьшать длину волны используемого света или применять способы интерполяции полос. Сканирование полос с одновременным контролем интенсивности в точках позволяет установить их профиль, т. е. получить спектроскопическую информацию в случае использования интерферометра Фабри — Перо, а также определять данные об измеряемых расстояниях при подсчете полос и характеристики формы контролируемой поверхности или волнового фронта (с помощью, например, интерферометра Тваймана— Грина). В последнем случае измерение интенсивности по массиву точек обеспечивает точное определение формы двухмерной интерференционной картины.
Различают пассивное и активное сканирование полос. Рассмотрим их вначале на примере двухмерной картины. Пассивное сканирование, подробно описанное в [11], подразумевает оптическое сканирование интерферограмм и обработку денситометрических данных для получения необходимой информации. При этом из-за нелинейности фотопроцесса максимальная точность имеет место в вершинах полос, минимальная — в промежуках между ними. Поэтому обычно интерферометр настраивают ,так, чтобы в поле зрения попало максимальное количество полос. Это, к сожалению, уже само по себе вносит искажения в форму волнового фронта, особенно если у фотообъектива имеется собственная дисторсия. Фотография фиксирует все ошибки из-за атмосферной турбулентности, дрейфа и других погрешностей интерферометра. Интерферограмма по своей сущности наиболее точно характеризует контролируемый объект, если полосы разведены друг от друга на максимально возможное расстояние. Если полосы смещены на определенную величину и затем прослежены, их экстремальное положение можно ис-
