Изготовление и контроль оптических деталей - Ефремов А.А.
Скачать (прямая ссылка):
1. Загрузку испарителей, укрепление подложек и контрольных пластин. Юстировку и проверку работоспособности устройства контроля. Проверку движений технологической оснастки.
2. Откачивание воздуха из камеры и создание вакуума, максимально возможного на данной вакуумной установке, но не хуже 1,33-10_3 Па. Ориентировочное время откачки около 30 мин.
3. Удаление газов в испаряемых веществах при введенном экране 3 (см. рис. 15.4), предохраняющем подложки от оседания загрязнений, и температурах испарителей 4 на 50—100° С меньше температур испарения веществ. Ориентировочное время на операцию не менее 5 мин на каждый испаритель. При этой операции давление в камере увеличивается. Удаление газов прекращается после восстановления в камере исходного давления, о чем судят по данным контроля остаточного давления с помощью манометрических ламп 12.
4. Отводят экран 3 и проверяют работу прибора контроля тол-
230
щины, устанавливая начало отсчета — исходную величину свето-пропускания. Вводят экран.
5. Подают накал на испаритель с веществом первого слоя покрытия. Токи накала, соответствующие температурам испарения веществ, определяют в предварительных экспериментах. После начала испарения открывают экран 3.
6. Процесс напыления контролируют с помощью устройства контроля толщины слоя. При достижении заданной толщины напыление прекращают, введя экран 3 и сняв накал с испарителей. Время напыления зависит от свойств испаряемого вещества, оптимальной скорости испарения и заданной толщины слоя. Ориентировочно время напыления четвертьволнового слоя для покрытий видимой области составляет 3—10 мин.
7. Подают накал на испаритель с веществом второго слоя покрытия и все этапы (см. п. 5 и 6) повторяют.
8. Нанесение последующих слоев поочередно осуществляют аналогично (см. п. 5, 6 и 7).
9. После нанесения всех требуемых слоев вакуумную камеру отключают от вакуумной насосной системы.
10. Разгерметизируют колпак 13, выгружают подложки с покрытиями и осуществляют контрольные операции. Визуально контролируют качество по цвету в отраженном свете, чистоту и наличие видимых дефектов. Методом лаковой пленки на одной подложке из данной партии проверяют адгезию и прочность покрытия. На спектрофотометрах контролируют соответствие спектральных характеристик техническому заданию.
Годные лазерные зеркала поступают на приемо-сдаточный контроль. Годные подложки с покрытиями фильтров поступают на последующие операции. Подложка с покрытиями заклеивается цветным стеклом, которое срезает побочные максимумы пропускания, а также герметизирует покрытия, защищая их от механических и климатических воздействий. Если интерференционные системы, составляющие фильтр, нанесены на две или более подложки, то эти подложки склеивают друг с другом через бумажные кольцевые прокладки покрытиями внутрь. Склеивают фильтры оптическими клеями бальзамином-М, акриловым, а также эпоксидным клеем, состоящим из двух частей смолы ЭД5 и одной части полиэтилен-полиамина (отвердителя). Ответственные фильтры герметизируют по торцовой цилиндрической поверхности в герметичной камере, через которую пропускают сухой азот. Некоторые конструкции фильтров проходят временное и температурное старение. Их направляют потребителю через определенное время (до одного месяца) после изготовления и обработки в термошкафах по особым режимам. Прошедшие старение фильтры дополнительно контролируют, измеряя спектральные характеристики.
Приемо-сдаточный контроль осуществляют, измеряя спектральные характеристики фильтров на спектрофотометрах СФД-8, СФД-2, спектрометрах ИКС-14 или ИКС-21. Контролируют фильтры на воздействие внешних условий, оговоренных техниче-
231
скими условиями. На каждый фильтр составляют паспорт, в котором указывают заводской номер; требования технического задания; соответствие фильтра каждому пункту этих требований; гарантии изготовителя.
При приемо-сдаточном контроле зеркал измеряют спектральную характеристику на спектральных приборах, оценивают возможность работы зеркала в качестве резонатора лазера. Эта оценка предусматривает изучение суммарных потерь на поглощение, рассеяние и пропускание, вносимых в резонатор данным лазером.
Схема проверки показана на рис. 20.15, а. Схема использует
Рис. 20.15. Определение потерь, вносимых в резонатор лазера вновь изготовленным зеркалом
зависимость выходной мощности лазера от потерь в резонаторе. Лазер контрольной установки состоит из газоразрядной трубки 2 и образцовых зеркал резонатора 1 и 4. Внутрь резонатора введена плоскопараллельная пластина 3, имеющая возможность изменять свое угловое положение относительно оси лазера. Материал и качество изготовления пластины не имеют дефектов.
Для данного лазера измеряется и строится (рис. 20.15, б) зависимость изменения выходной мощности Р от потерь а в резонаторе. При этом потери в резонатор вносятся наклоном пластины 3 относительно оси лазера. Исходным положением пластины 3 служит расположение нормали к ее поверхности по отношению к оси лазера под углом Брюстера; в этом случае потери в резонатор не вносятся и лазер излучает максимальную выходную мощность, регистрируемую приемником лучистой энергии 5.
