Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Физика -> Бабичев А.Н. -> "Физические величины" -> 324

Физические величины - Бабичев А.Н.

Бабичев А.Н., Бабушкина Н.А. Физические величины — M.: Энергоатомиздат, 1991. — 1232 c.
ISBN 5-283-04013-5
Скачать (прямая ссылка): fizicheskievelechini1991.djvu
Предыдущая << 1 .. 318 319 320 321 322 323 < 324 > 325 326 327 328 329 330 .. 561 >> Следующая


Основные характеристики ионной эмиссии: jt — плотность ионного тока; S — коэффициент распыления — отношение общего числа распыленных частин (нейтральных и ионизованных) к числу первичных ионов; К— коэффициент вторичной ионной эмиссии—отношение числа вторичных ионов с определенным отношением заряда к массе к числу первичных ионов (для неэлементарных мишеней под коэффициентом вторичной ионной эмиссии понимают величину yf = = K+IC,-, где Ci — относительная концентрация атомов 1-го сорта в мишени); ?+= A+/S — коэффициент ионизации (табл. 25.30—25.32). Вторичная ионная эмиссия широко используется в масс-спектроскопии вторичных ионов для анализа состава приповерхностных слоев твердых тел [34].

Таблица 25.28. Коэффициенты ионно-электроиной эмиссии металлов у, электрон/ион [35] (данные получены графической интерполяцией между экспериментально измеренными значениями)

Энергия первичных ионов, кэВ
Первич-
Мишень ный ион 2 3 4 7 10 15 20 30 40 50
H+ 0,475 0,560 0,650 0,830 0,965 1,12 1,23 1,36 1,46 1,55
Li H2- 0,260 0,320 0,365 0,465 0,550 0,680 0,775 0,945 1,07 1,16
He+ 0,465 0,525 0,590 0,740 0,880 1,10 1,27 1,54 1,77 1,95
H+ 0,225 0,310 0,380 0,560 0,700 0,875 1,01 1,23 1,34 1,38
AI Н2+ 0,087 0,132 0,156 0,230 0,310 0,450 0,555 0,745 0,885 0,955
He+ 0,280 0,330 0,380 0,510 0,620 0,765 0,885 1,10 1,31 —
H+ 0,280 0,360 0,430 0,580 0,710 0,880 1,04 1,26 1,36 1,42
Cr н2+ 0,240 0,270 0,305 0,375 0,450 0,540 0,635 0,810 0,940 1,01
He+ 0,310 0,420 0,485 0,650 0,780 0,960 1,10 1,42 1,69 1,94
H+ — 0,420 0,480 0,650 0,780 0,960 1,08 1,29 1,45 1,57
Cu н2+ 0,162 0,210 0,265 0,380 0,470 0,580 0,670 0,830 0,960 1,08
He+ _ 0,390 0,455 0,620 0,800 1,04 1,18 1,44 1,70 —
H+ _ 0,650 0,810 1,15 1,42 1,70 1,89 2,17 2,33 —
Ag н2+ 0,225 0,295 0,375 0,610 0,800 1,03 1,20 1,50 1,67 1,78
He+ 0,360 0,450 0,570 0,910 1,21 1,65 2,00 2,50 2,89 —
H+ 0,360 0,540 0,680 0,980 1,22 1,46 1,64 1,77 2,03 2,15
Au H2- 0,138 0,240 0,325 0,550 0,720 0,930 1,09 1,38 1,59 1,70
He+ 0,315 0,410 0,510 0,810 1,09 1,52 1,83 2,34 2,68 —

Энергия первичных ионов, кэВ
Мишень Первичный иои 50 75 100 125 150 175 200 225
W H+ 1,54 j 1,62 I 1 '64 J 1,65 і ^64 і і ^61 і 1,56 j j 1,53 [36]

590

Рис 25.51. Расход массы медных острий M при многократных включениях тока взрывной полевой эмиссии [30]:

/V —число включений, U=30 кВ; расстояние катод-анод 3 мм; угол раствора конуса катода а=6°; 1,3 — M(N)\ /', 3' ¦— dMldN. Длительности импульсов: /, /'-S-IO-8 с: 2. 2'—2-Ю-8 с; 3, 3' — 5-Ю-9 с

25.7. ИОННАЯ И ИОННО-ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ

Ионная эмиссия — испускание телом ионов химических элементов, входящих в состав тела, при его нагревании (термоионная эмиссия) или при бомбардировке его поверхности другими частицами: электронами Таблица 25.29. Термоионные свойства цеолитов и алюмосиликатов щелочных металлов [33]

Материал Г. °С Эмитируемые ионы Плотность ионного тока, мА/см2
Цеолит 1100 Cs+ 12
Алюмосиликат Li UOO Li+ 0,6
(Li2O-Al2O3-2Si02)
Алюмосиликат Rb 1160 Rb+ 0,4
(Rb2O-Al2O3-2Si02)
Алюмосиликат Rb + 1160 Rb+ 2-5
+ Mo (10%)
Алюмосиликат Na 1200 Na+ 2
(Na2O-Al2O3-2Si02)
Алюмосиликат Na + 1200 Na+ 20
+ W (10%)

Рис. 25.53. Вольт-амперные характеристики источника ионов цезия из алюмосиликата цезия (Cs2-Al2O3-2Si02) в импульсном режиме при различных температурах катода [32]. Расстояние катод—анод 2 мм, длительность импульсов тока 10 мкс, частота повторения 25 с-1

О

Рис. 25.52. Зависимость коэффициента ионно-электрон-ной эмиссии V при бомбардировке мишеней ионами аргона 40Ar+ от энергии первячных Ep [23]: крестики — поликристаллический молибден; светлые кружки — поверхности (III) монокристалла германия; темные кружки — монокристалл хлористого натрия. Измерения проведены при давлении Pj5; IO-» Па. Поверхности мишеией подвергнуты ионному травлению в вакууме (р— IO-7 Па) при Г-350°С (Ge и NaCl), молибденовая мишень предварительно отожжена при таком же давлении при T-1700 К

J3',MА/CM2 T= 7750 °С.

760

80

D - ________________

800 то гт згоо woo и,в

Рис. 25.54. Вольт-амперные характеристики источника ионов K+ на основе алюмосиликата калня с присадкой вольфрама (K2O-Al2O3-2Si02+ 10%W) в импульсном режиме при разных температурах источника [33]. Значения ионного тока усреднены по импульсу. Длительность импульсов 700 мкс, частота повторения 10 с-1

K2O -Al2O3-ZSiO^W % W

T=WSO

Таблица 25.30. Основные параметры вторичной ионной эмиссии пленок чистых металлов [34]

Металл
Первичный ион Параметр Al Ti Mn Ni Cu Sn Та Au
Art ?+, Ю-4 ион/атом S, атом/ион K+, Ю-4 ион/ион 110 3,7 410 92 2,3 212 22 3,5 77 6,4 6,1 39 1,9 8,5 16 0,66 8,3 565 6,9 2,9 20 0,056 12 0,71
He+ КГ4 ион/атом S, атом/ион К*, Ю-4 ион/нон 337 0,8 270 26,8 1,1 29,8 9,8 1,5 14,7 4,73 1,9 9 4,15 2,8 11,6 50 0,68 34 0,185 3,2 0,59
о2+ ?+, Ю-4 ион/атом S, атом/ион К*, Ю-4 ион/нон 9600 1,6 15300 5900 1,1 5900 265 2,3 610 63,5 3,3 210 14 4,3 60 9,3 5,1 47,5 250 275' 0,32 6,5 2,08
Предыдущая << 1 .. 318 319 320 321 322 323 < 324 > 325 326 327 328 329 330 .. 561 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed