Справочник работника механического цеха - Каценеленбоген М.Е.
Скачать (прямая ссылка):
Молибден 2 622 2 533 Из-за высокой точки плавления его используют в качестве собственно нагревательного элемента Массивный W, спираль
Никель 1 455 1 510
Платина 1 774 2 090 W проволока, скрученная с Pt проволокой —
Родий [Л. 10] Селен 1 967 2 149 W стержень —
217 234 Хромель, Fe, Мо, Nb, коническая спираль Мо, Та
Серебро 961 1 047 Та, Мо, Nb, Fe, Ni, хромель, спиральная катушка или W, коническая спираль Мо, Та [Л. 9]
Торий 1 827 2 196 W, Мо, Та, коническая спираль, хромель, спиральная катушка Мо, Та
Титан 1 727 1 546 W, Та, коническая спираль или спиральная катушка; W проволока, скрученная с титановой проволокой
мается примерно до 1 G00°C, алюминий испаряется и осаждается на всех ближайших более холодных поверхностях (если они незаэкранирО'ваны). Для экранировки поверхности перед рабочей деталью помещают экраны, на которые и осаждается металл. Осажденный слой формируется на детали за несколько секунд. Хотя его толщина составляет десятые доли микрона, он обеспечивает полное покрытие поверхности, а в случае стекла и других гладких поверхностей образует зеркально гладкую поверхность.
ЛИТЕРАТУРА
1. Holland L., The Vacuum Deposition of thin Films, W. Edwards and Co., John Wiley and Sons, New York, 1956.
2. К a f i g E., Reproduction of Printed Patterns by Vacuum Evaporation, Rev. Sci. Instr., 1952, № 23, p. 54.
3. S p e n d 1 о v e M. J., S t С 1 a i r H. W., Vacuum Destination of Zinc, Rev. Sci. Instr., 1952, № 23, p. 471.
4. Q u i n n W. E., Per у A., Baker J. М., Lewis H. R., Ramsey N. F.t LaTourette Т., Detection of Molecular Beams, Rev. Sci. Instr., 1958, № 29, p. 935.
162
5. Krause J. Т., High Temperature Evaporation of iMetals and Oxides, Rev. Sci. Instr., 1950, No 31, p. 907.
6. D a S i 1 v a E. М., Evaporation Source, Rev. Sci. Instr., I960, № 31, p. 959.
7. Дэшман С., Научные основы вакуумной техники, изд. 2-е, пер. с англ., под ред М. И. Меньшикова, М., «Мир», 1965.
8. В 1 о d g е 11 К-, Phys. Rev., -1939, № 55, p. 391.
9. Tabata S. and Iwata М., Vacuum Evaporation of Copper, Silver, Tin, Iron and Chromium from Titatium Carbide Heater, Vacuum (Br), 1961, № 11, p. 36
10. Panish М. B. and Reif L., Vaporization of Iridium and Rhodium, J. Chem Phys, 1901, No 34, p. 1915.
Испарительно-ионные насосы (см. также Титановые насосы, стр. 73). Сравнительно недавно разработанный вид высоковакуумных насосов, позволяющих удалять пары органических и летучих веществ из вакуумных систем без применения охлаждаемых ловушек. В конструкции насосов использованы эффекты ионной откачки и геттерирующего действия непрерывно распыляемого титана. Скорость откачки таких насосов может составлять 7 ООО—8 000 л/сек при 3* 10~6 мм рт. ст. (4- 10~4 н/м2) по водороду, 6 500—7 500 л/сек при 1,5-Ч0~6 мм рт. ст. (2«10~4 н/м2) по ¦азоту и кислороду, примерно 9 л/сек при 4 • 10-6 мм рт. ст. '(5,3 • 10~кн\м2) по аргону и около 4 л/сек при 3- 10~5 мм рт. ст. (4- 10~3 н/м2) по гелию. Минимальное достижимое давление достигает 2-10г~7 мм рт. ст. (2,7 X ХЮ~5 н/м2). В (Л. 1] приводятся данные о зависимости быстроты действия насосов от температуры геттерирующей поверхности, давления и скорости испарения титана.
ЛИТЕРАТУРА
•1. Davis R. Н., D i v a t i a A. S., Rev. Sci. Instr., 1954, № 25, p. 1193.
2. D a v a t i a A. S., Davis R. A., Herb R. G., Phys. Rev., 1953, № 93, p. 926.
3. Herg R. G., Davis R. H., Divatia A. S., Saxon, Phys. Rev., 1953, № 89,
p. 897.
4. Plucked, Pogg. Ann., 1858, № 105, p. 84.
5. Schwarz H. Rev. Sci. Instr., 1953, № 24, p. 371.
6. L u m p e W., S e e 1 i g e r R., 2. Phys., 1943, № 121, p. 546.
7. Penning F. М., Physica, 1937, № 4, p. 71.
8. F i n k e 1 s t e i n A. Т., tRev. Sci. Instr., 1940, № <11, p. 94.
9. A 1 p e r t D., J. Appl. Phys., 1953, № 24, p. 860.
'10. Foster J. S., Laurence E. O., Lofgren E. J., Rev. Sci. Instr., 1953. No. 24, p. 388.
11. Schwarz H., Rev. Sci. Instr., 1953, № 24, p. 47.
Кадмий. Этот металл является компонентом некоторых припоев с умеренно высокой температурой плавления. Кадмий отличается высоким давленйем пара (см. табл. 15), в связи с чем применение таких припоев в электровакуумных приборах решительно не рекомендуется. Кадмий используется также в качестве антикоррозионного покрытия для стали. В производстве электровакуумных приборов следует тщательно избегать возможности случайного применения кадмированных крепежных деталей (болтов и гаек), которые иногда могут оказаться в узлах и деталях, изготовленных из нержавеющей стали. Для удаления кадмиевых покрытий можно использовать процесс, описанный на стр. 28.
Камера сухая. Герметичная камера из стекла, пластмассы или металла (с вакуумноплотными окошками), где могут производиться различные операции с узлами и деталями, которые должны быть изолированы от соприкосновения с воздухом или защищены от возможных загрязнений. Обычно такие камеры имеют отверстия с перчатками для рук оператора. Внутри камеры создается избыточное давление сухого и очищенного от пыли инертного газа (азота, аргона и т. п.).
Камеры более сложной конструкции наряду с уплотняемыми перчатками для рук оператора оборудованы микроскопами и осветителями для работы с мелкими деталями, а также устройствами для нагрева и охлаждения. В некоторых моделях предусмотрена возможность эвакуи-11* 163
