Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
9,796 IO'5
3,616 io-4
1,196 10-3
3,596 IO'3
9,924 IO'3
2,537 ю-*
6,057 io-*
1,359 IO'1
2,887 IO'1
5,831 IO’1
1,125
2.082
Продолжение табл. 7
Г, К Давление • IO'5, Па Плотность, г/м3
178 0,0009 3,710
183 0,0015 6,385
188 0,0026 1,064 10
193 0,0042 1,723 10
198 0,0066 2,715 10
203 0,0102 4,174 10
208 0,0153 6,270 10
213 0,0225 9,219 10
218 0,0324 1,328 10
223 0,0459 1,880 10
228 0,0639 2,615 10
233 0,0875 3,580 10
238 0,1180 4,829 10
243 0,1569 6,421 10
248 0,2059 8,428 10
253 0,2670 1,092 IO3
258 0,3422 1,400 IO3
263 0,4338 1,775 IO3
268 0,5444 2,228 IO3
273 0,6767 2,769 IO3
278 0,8335 3,411 IO3
283 1,0179 4,165 IO3
288 1,2331 5,046 IO3
293 1,4824 6,066 IO3
298 1,7692 7,240 IO3
303 2,0971 8,582 IO3
308 2,4696 1,010 IO4
313 2,8905 1,182 IO4
318 3,3633 1,376 IO4
323 3,8917 1,592 IO4
328 4,4793 1,833 IO4
333 5,1297 2,099 IO4
338 5,8464 2,392 IO4
343, 6,6329 2,714 IO4
348 7,4923 3,066 IO4
353 8,4280 3,449 IO4
358 9,4429 3,864 IO4
363 10,5400 4,313 IO4
368 11,7218 4,796 IO4
373 12,9909 5,316 IO4
378 14,3497 5,872 IO4
383 15,8002 6,465 IO4
388 17,3444 7,097 IO4
393 18,9839 7,768 IO4
398 20,7203 «,479 IO4
403 22,5548 9,230 IO4
408 24,4884 1,002 IO5
151
T1K
413
418
423
428
433
113
118
123
128
133
138
143
148
153
158
163
168
173
178
183
188
193
198
203
208
213
218
223
228
233
238
243
248
253
258
263
268
27?
278
283
288
Продолжение табл. 7
Давление • IO"5, Па
Плотность, г/м3
26,5220 28,6561 30,8911 33,ПН 35,6647
Трихлорсилан
1,085
1,172
1,264
1,359
1,459
IO5
IO5
IO5
IO5
•105
_ 3,799 • IO'7
— 2,336 • IO'6
W 1,213 • IO’5
_ 5,433 • IO'5
- 2,135 • IO"4
— 7,480 • IO"4
— 2,365 • IO'3
— 6,828 • IO'3
— 1,815 • IO'2
— 4,492 • IO"2
— 1,039 • IO'1
— 2,268 • IO’1
— 4,687 • IO"1
0,0001 9,225 • IO'1
0,0003 1,736
0,0005 3,138
0,0009 5,466
0,0016 9,200
0,0027 1,501 • 10
0,0042 2,379 • 10
0,0066 3,674 • 10
0,0099 5,536 • 10
0,0147 8,156 • 10
0,0212 1,176 -IO2
0,0300 1,665 -IO2
0,0417 2,315 • IO2
0,0570 3,164-IO2
0,0768 4,260 • IO2
0,1019 5,652 • IO2
0,1334 7,398 • IO2
0,1724 9,563 • IO2
0,2203 1,221 • IO3
0,2784 1,543 • IO3
0,3482 1,930 • IO3
0,4313 2,391 • IO3
0,5294 2,935 • IO3
0,6444 3,573 • IO3
0,7781 4,314 • IO3
0,9325 5,170 • IO3
I
Продолжение табл. 7
Т, К Давление • IO'5, Па Плотность, г/м3
308 1,1097 6,153 • IO3
313 1,3119 7,274 • IO3
318 1,5412 8,546 • IO3
323 1,8001 9,981 • IO3
328 2,0907 1,159 • IO4
333 2,4155 1,339 • IO4
338 2,7770 1,539 • IO4
343 3,1777 1,762 • IO4
348 3,6201 2,007 • IO4
353 4,1070 2,277 • IO4
358 4,6410 2,573 • IO4
363 5,2247 2,897 • IO4
368 5,8610 3,250 • IO4
373 6,5527 3,633 • IO4
378 7,3029 4,049 • IO4
383 8,1144 4,499 • IO4
'388 8,9901 4,985 • IO4
393 9,9335 5,508 • IO4
398 10,9475 6,070 • IO4
403 12,0357 6,673 • IO4
408 13,2012 7,320 • IO4
413 14,4476 8,011 • IO4
418 15,7786 8,749 • IO4
423 17,1979 9,536 • IO4
428 18,7096 1,037 • IO5
433 20,3172 1,126 • IO5
438 22,0257 1,221 • IO5
Тетрахлорсилан
113 — 4,514 • IO"7
118 - 3,019 • IO’7
123 - 1,695 • IO'6
128 - 8,170 • IO'6
133 - 3,440 • IO'5
138 — 1,285 • IO’4
143 - 4,321 • IO"4
148 - 1,321 • IO'3
153 - 3,713 • IO'3
158 - 9,669 - 10"3
163 - 2,351 • IO'2
168 - 5,374 • IO'2
173 — 1,61 • io-1
178 - 2,385 -IO"1
183 — 4,676 -IO-1
188 0,0001 8,788 • IO’1
193 0,0002 1,588
198 0,0003 2,771
153
т
Продолжение табл. 7
Г, К Давление • IO"5, Па Плотность, г/м3
203 0,0006 4,680
208 0,0011 7,669
213 0,0017 1,222 • 10
218 0,0027 1,899 • 10
223 0,0041 2,881 • 10
228 0,0061 4,277 • 10
233 0,0089 6,221 • 10
238 0,0127 8,880 • 10
243 0,0179 1,245 • IO2
248 0,0274 1,718 • IO2
253 0,0335 2,335 • IO2
258 0,0449 3,128 • IO2
263 0,0594 4,136-IO2
268 0,0776 5,400 • IO2
273 0,1001 6,969 • IO2
278 0,1278 8,896 • IO2
283 0,1615 1,124-IO3
288 0,2022 1,406 - IO3
293 0,2507 1,744 • IO3
298 0,3083 2,145 • IO3
303 0,3761 2,617 • IO3
308 0,4554 3,168 • IO3
313 0,5475 3,809 • IO3
318 0,6538 4,548 • IO3
323 0,7758 5,397 • IO3
328 0,9151 6,366 • IO3
333 1,0734 7,467-IO3
338 1,2523 8,712 • IO3
343 1,4537 1,011 • IO4
348 1,6794 1,168 • IO4
353 1,9313 1,343 • IO4
358 2,2116 1,583 • IO4
363 2,5223 1,754 • IO4
368 2,8655 1,993 • IO4
373 3,2435 2,256 ¦ IO4
378 3,6586 2,545 • IO4
383 4,1133 2,861 • IO4
388 4,6100 3,207 • IO4
393 5,1513 3,583 • IO4
398 5,7398 3,993 • IO4
403 6,3784 4,437 • IO4
408 7,0699 4,918 • IO4
413 7,8171 5,438 ¦ IO4
418 8,6233 5,999 • IO4
423 9,4917 6,603 • IO4
428 10,4254 7,252 • IO4
433 11,4281 7,950 • IO4
438 12,5031 8,698 ¦ IO4
154
Известны методы получения трихлорсилана при взаимодействии хлористого водорода с ферросилицием, мовосилана и хлористого водорода в присутствии AlCl3, при взаимодействии водорода и паров тетрахлор-силана с гидридом кальция при температуре красного каления. Последние реакции протекают при ~ 673 К с образованием смеси, содержащей трихлорсилана 10 % и дихлорсилана 3-5 %.
