Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
> 368 К; падении давления в реакторе < 1,1 • IOs Н/м2; падении давления азота в трубопроводе < 1,4 • IOs Н/м2; прекращении подачи электропитания (электроэнергии); прекращении подачи управляющего воздуха на приборы автоматики и контроля.
Емкости снабжены сигнализаторами верхнего уровня, позволяющими своевременно предотвратить их переполнение.
К аппаратам и емкостям, связанным с переработкой или хранением хлорсиланов, а также взрывоопасных паров и газов подведен азот.
Передел дробления и измельчения кремния снабжен местной и общеобменной приточно-вытяжной вентиляцией. Предусмотрен аспира-ционный отсос от неплотностей пылящего технологического оборудования через всасывающий рукавный фильтр типа СМУ-1.66А. Вентиляционные установки сблокированы с двигателями дробилки и шаровой мельницы. Установку включают за 3 мин до включеция оборудования и выключают через 3 мин после остановки оборудования.
Электрическая схема мельницы предусматривает невозможность ее включения в случаях остановки вентилятора, отсасывающего пыль из кожуха мельницы; открытого положения люка кожуха; заполнения приемной камеры измельченным кремнием.
Схема автоматического контроля и управления предусматривает блокировку электродвигателя мельницы с электроприводом заслонки
395
на воздуховоде и с электродвигателем питателя шаровой мельницы; световую сигнализацию об аварийной остановке мельницы; сигнал включенного состояния.
Автоматическая схема управления процессом синтеза хлористого водорода предусматривает регулирование расходов хлора и водорода и их соотношений; сигнализацию и блокировку процесса синтеза по падению давления хлора и водорода; сигнализацию и блокировку по погасанию факела, падению давления сжатого воздуха системы автоматического контроля и управления потреблением электроэнергии.
При возникновении одной или нескольких из перечисленных аварийных ситуаций автоматически с помощью отсечных клапанов прекращается подача хлора и водорода в печь синтеза. Одновременно открывается подача азота для продувки печи на санитарную колонну. На щите безопасности КИП центрального пункта управления срабатывают звуковая и световая сигнализации, включается пневматическая сирена, расположенная на рабочем месте аппаратчика.
Технологическое оборудование, используемое в технологии полупроводникового кремния, во многих случаях имеет электрические приводы и нагревательные устройства. Обслуживание электрооборудования связано с опасностью поражения электрическим током. Электрический ток, протекающий через организм человека, воздействует на него термически, электролитически и биологически.
Термическое действие характеризуется нагревом тканей вплоть до ожогов, электролитическое - разложением органических жидкостей, в том числе разложение крови, биологическое действие электрического тока проявляется в нарушении биоэлектрических процессов и сопровождается раздражением, возбуждением и параличом нервных тканей и сокращением мышц.
Степень воздействия электрического тока на' организм человека зависит от состояния нервной системы и всего организма. Так, в состоянии возбуждения нервной системы, депрессии, болезни (особенно болезни кожи, сердечно-сосудистой системы, нервной системы И т.д.) и опьянения люди более чувствительным к воздействию протекающего через организм человека тока.
Значительную роль играет и фактор внимания. Если человек подготовлен морально к возможности поражения электрическим током, то степень опасности снижается, в то время как неожиданное воздействие электрического тока приводит к более тяжелым последствиям.
Ток через тело человека протекает по пути наименьшего сопротивления, который не всегда совпадает с кратчайшим геометрическим путем. Это объясняется различием УЭС разных тканей тела человека.
Так, УЭС при токе частотой 50 Гц составляет до, Ом • см: сухой кожи
2-Ю6; костей I • IO6-2 • 10е; жировой ткани (3-6)106; мышечной ткани 150-300; крови 100- 200.
Воздействие электрического тока начинает проявляться в зависимости от напряжения, под которое попал человек. Безопасным для человека считается напряжение до 36 В'[296].
При обслуживании высокочастотных установок (например, установок бестигельной зонной плавки) появляется опасность воздействия на человека высокочастотного электрического поля. Это поле, возникающее при работе генератора установки бестигельной зонной плавки, при воздействии на организм человека вызывает нарушение нормальной работы нервной, сердечно-сосудистой и кроветворной систем, возможно также повреждение хрусталика глаза. Главный симптом такого воздействия: быстрая утомляемость, головные боли, изменение частоты пульса [297].
Санитарными нормами предусмотрены предельно допустимые значе-/ ния напряженности электрического поля на рабочих местах [297] в диапазоне частот 60 кГц-3 МГц 50 В/м и 3-30 МГц 20 В/м.
Напряженность электромагнитного поля измеряют периодически не реже одного раза в год, а также после любого изменения в конструкции генератора или индукционной системы.
Аппаратчики, обслуживающие установки выращивания монокристаллов кремния, должны иметь квалификационную группу электробезопасности. Она предусматривает [298] элементарное техническое знакомство с электроустановками, отчетливое представление об опасности электрического тока и приближения к токоведущим частям, знание основных мер предосторожности при работах с электроустановками, а также практические навыки оказания первой помощи пострадавшим от электрического тока.
