Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка):
Полихлорсиланы - полимерные соединения кремния с хлором и водородом SinHmCl2n + 2-т- При обычных условиях полихлорсиланы могут быть как твердыми, так и жидкими продуктами. Температуры плавления и кипения изменяются в широких пределах. Все полихлорсиланы при контакте с водой или влагой воздуха разлагаются с образованием геля кремниевой кислоты, хлористого водорода и водорода.
Полихлорсиланы и продукты их неполного гидролиза огнеопасны, воспламеняются на воздухе при ударах и трении. Особенно опасны сухие продукты неполного гидролиза. Полихлорсиланы являются сильнодействующими ядовитыми веществами. Если они разлиты на воздухе, то выделяют хлористый водород. ПДК паров в воздухе 1 иг/и3.
Смеси тетрахлорсилана с полисиланхлоридами образуются в технологии синтеза трихлорсилана и концентрируются при очистке в кубах ректификационных колонн (кубовые остатки). Возможно наличие небольшой концентрации трихлорсилана.
Свойства кубовых остатков определяются их составом. При содержании полисиланхлоридов 8 % в тетрахлорсилане кубовые остатки, полученные при разделении продуктов после водородного восстановления трихлорсилана, имеют температуру самовоспламенения 443 К. При содержании полисиланхлоридов 15 % в тетрахлорсилане кубовые остатки, полученные из продуктов синтеза трихлорсилана, имеют температуру самовоспламенения 443 К.
Действие их на организм и меры защиты такие же, как и при работе с трихлорсиланом.
393
Кубовые остатки, содержащие полисиланхлориды, - взрывоопасный продукт.
Действие азота и аргона на организм человека проявляется при резком снижении концентрации кислорода во вдыхаемом воздухе. При содержании кислорода < 15 % (объемн.) может наступить удушье.
При работе внутри аппаратов, в подвалах, закрытых помещениях, в которых концентрация кислорода может быть понижена за счет выделения азота или аргона ниже обычной нормы 18 % (объемн.), необходимо пользоваться изолирующими шланговыми противогазами.
Азот - негорючий газ, используется для объемного тушения пожаров, для продувки аппаратов и технологических линий. Аргон -негорючий газ, используется преимущественно в качестве защитной (инертной) среды в металлургии кремния. При больших концентрациях в воздухе вызывает удушье.
Хладон 30 (фреон ЗО, дихлорметан, метиленхлорид) является наркотиком, вызывающим поражение внутренних органов. Технический продукт токсичнее чистого.
При остром отравлении дихлорметаном наблюдаются головокружение, временное затемнение сознания, повторяющаяся рвота, раздражение верхних дыхательных путей, конъюнктивит. При хронических отравлениях (концентрации порядка нескольких десятых, а иногда и единиц мг/л) головная боль, сонливость, тошнота, рвота, раздражение верхних дыхательных путей и конъюнктивы. Очень легко раздражает кожу человека, вызывает ее охлаждение. Вероятность поглощения кожей токсичных доз невелика [288]. ПДК в воздухе рабочей зоны 50 мг/м3, класс опасности 3.
Для индивидуальной защиты работающих применяют фильтрующий противогаз марки А или БКФ, при высоких концентрациях шланговые изолирующие противогазы. Добавка сильно пахнущего вещества помогает сразу заметить утечку дихлорметана. Необходимо тщательно следить за герметичностью оборудования и трубопроводов.
Дихлорметан - трудногорючее вещество, горит только при действии источника зажигания или нагрева выше температуры самовоспламенения (853 К).
При концентрациях 12-22 % возможно местное горение вблизи от источников зажигания с образованием фосгена. Температура вспышки 259 К. Нижний предел взрываемости в кислороде 15,5, верхний 66,0 % (объемн.).
Для обеспечения безопасных условий работы при производстве трихлорсилана предусмотрена автоматическая схема контроля, управления и блокировки: регулирование температуры в реакторе синтеза трихлорсилана в пределах 563-623 К с подачей воды в рубашку охлаждения; регулирование температуры азота в подогревателях в пределах 394
648-698 К; блокировка работы нагревателей азота и реактора синтеза по давлению защитного азота в клеммных коробках и оболочках электронагревателей.
При измерении давления азота в клеммных коробках и оболочках нагревателей < 1,4 • IO4 и > 5,3 • IOs Н/м2 отключается электрообогрев. Отключение электрообогрева сопровождается звуковой и световой сигнализацией.
Осуществляется предпусковая продувка азотом клеммных коробок и оболочек нагревателей: азотоподогревателя (расход 30 м3/ч в течение 40 мин); реактора (расход 5-12 м3/ч в течение 30 мин).
Автоматическая схема контроля, управления и утилизации предусматривает сигнализацию и блокировку по давлению паров хлорсиланов в кубах ректификационных колонн; по давлению азота в клеммных коробках кубов ректификационных колонн с электроподогревом; по уровню жидкого продукта в кубах ректификационных колонн установок.
Все кубы-испарители ректификационных колонн оборудованы системой предохранительных клапанов и защитных разрывных мембран для предотвращения разрушения колонн в аварийных ситуациях.
Автоматическая схема сигнализации и блокировки работы установки обезвреживания кубовых остатков предусматривает отсечку подачи в реактор кубовых остатков при повышении температуры в реакторе
