Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Электротехника -> Фалькевич Э.С. -> "Технология полупроводникового кремния" -> 148

Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.

Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червоный И.Ф. Технология полупроводникового кремния — М.: Металлургия, 1992. — 408 c.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка): tehpolkremniya1992.djvu
Предыдущая << 1 .. 142 143 144 145 146 147 < 148 > 149 150 151 152 153 154 .. 162 >> Следующая


Схема действия эжекторного сопла приведена на рис. 182, а. Выходящая из цилиндрической трубки 1 струя пара 2 на границе соприкосновения с газом образует завихрения, которые, перемещаясь с большой скоростью, увлекают за собой частицы газа. Эффективность действия такого сопла значительно возрастает, если ему придать форму, более
Рис. 181. Схема двухроторного насоса (Pytca):

1, 4 — выходной н входной патрубки соответственно; 2 — корпус; 3 — фигурный ротор

приспособленную для эжекторного действия. Эжекторный насос (рис. 182, б) состоит из питателя 2, из которого со скоростью, превышающей скорость звука, выходит направленная струя пара, смесительной камеры 1, куда непрерывно поступает откачиваемый газ, и диффузора 3, через который газ выводится вместе с паром за пределы рабочего пространства сопла.

Сопло, действие которого основано на диффузии газа в струю пара (рис. 183), является основой диффузионного насоса. Это сопло состоит из паропровода 1, зонта 3 и охлажденной цилиндрической стенки 4. Газ вследствие своего теплового движения достигает пространства, граничащего со струей пара 2, диффундирует в нее и перемещается в направлении движения струи пара.

Диффузионные сопла могут обеспечить получение высокого вакуума (до 1,33 • 10'5 Па) при высокой (до 10000 л/с) скорости откачки, но нуждаются в тщательном предварительном разрежении, гак как имеют низкое максимальное выпускное давление.

Для получения более высокого вакуума используют ионно-сорбцион-ные насосы, в которых используются два явления, приводящие к сни-

} » L
I * I Jr
\ ё) ) W
©/ а

Рис. 182. Схемы эжекторного сопла (в) и насоса (б)

381
Рис. 183. Схема действия диффузионного сопла

жению давления и известные уже много лет: сорбция газов испаряющимися металлами и поглощение их при электрическом разряде [282,284].

Кроме того, в вакуумной технике широко применяют криогенные конденсационные (основанные на конденсации при низких температурах газов) и криосорбционные насосы. Криосорбционные насосы путем охлаждения адсорбентов до сверхнизких температур поглощают из замкнутого объема остаточные газы. При полном насыщении адсорбента газом криосорбционный насос становится конденсационным. Криосорб-ционный насос при использовании жидкого гелия позволяет откачивать предварительно разреженный объем до 1 • IO'9 Па.

В конструкции вакуумной установки важное место занимают уплотнители. В зависимости от требований к разрежению могут использоваться как неметаллические (неоднократно), так и металлические уплотнители (как правило, разового использования). Неметаллические уплотнители (резины) просты в изготовлении и надежны в эксплуатации, но имеют ограниченную термическую стойкость и обычно повышенное газовыделение, поэтому чаще всего применяются в непрогреваемых вакуумных системах при давлениях 5= 5- IO'5 Па. Соединения с металлическими уплотнителями предназначены для прогреваемых вакуумных систем с давлением ^ 5 • 10"s Па и должны выдерживать многократные длительные прогревы до 600-800 К во время газоочистки. Типичны металлические уплотнители конические и с канавочно-кли-новым профилем. Для соединений с резиновыми уплотнителями чаще всего применяют канавочные профили.

Движение деталей (например, штоков) в откачиваемый сосуд в зависимости от конструкции уплотнительного элемента может передаваться вводами движения с контактным, деформируемым и неподвижным уплотнительными элементами.

В установках для получения монокристаллов кремния по Чохральс-кому или бестигельной зонной плавкой используют уплотнения Вильсона для ввода движущегося штока в камеру выращивания и уплотне-

382
ния с резиновыми армированными манжетами (рис. 184). Уплотнительные элементы изготовляют из маслостойкой вакуумной резины. Надежная работа устройства может быть обеспечена лишь при полированной поверхности вала и тщательном изготовлении резиновых колец. Особое внимание следует обращать на качество изготовления внутренних кромок колец. Между резиновыми кольцами заливают вакуумное масло, устройства требуют периодического контроля и переборки.

Для обеспечения перемещения элементов в вакуумных установках используются также сильфоны, мембраны резиновые, металлические и гофрированные, магнитные устройства.

В промышленных условиях хорошо себя зарекомендовали агрегаты серии АВЗ (вакуумные золотниковые) с быстротой действия 20-180 л/с в диапазоне давлений от атмосферного до 0,26 кПа, предельное остаточное давление 5S 6,7 • 10~1 Па. Для получения высокого вакуума используют агрегаты типа АВП с быстротой действия до 12000 л/с при

1,33 • 10_3-1,33 • 10-1 Па и с предельным остаточным давлением < 6,65х XlO'5 Па. Для установок выращивания монокристаллов кремния по Чохральскому разработаны агрегаты АВР-50 и ABP-150.

5. ОЧИСТКА ВОДЫ

В технологии производства полупроводникового кремния требуется очищенная вода с низким содержанием металлических и кислотных ионов, органических веществ, газов, взвешенных частиц, микроорганизмов и т.д.

Основными показателями чистоты являются УЭС, окисляємося, и содержание кремнекислот. Даже тщательно очищенная вода является раствором, содержащим загрязнения, такие как растворенные кислоты, оксиды, основания, соли, о количестве которых суммарно судят по УЭС воды. Измеряют УЭС мегомметром при температуре воды 293 К с помощью стандартного датчика, представляющего собой сосуд, заполненный водой, правильной геометрической формы с двумя электродами. Чтобы исключить растворение электродов и осаждение на них растворенных в воде примесей, УЭС воды определяют с помощью переменного электрического тока.
Предыдущая << 1 .. 142 143 144 145 146 147 < 148 > 149 150 151 152 153 154 .. 162 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed