Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Электротехника -> Фалькевич Э.С. -> "Технология полупроводникового кремния" -> 142

Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.

Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червоный И.Ф. Технология полупроводникового кремния — М.: Металлургия, 1992. — 408 c.
ISBN 5-229-00740-0
Скачать (прямая ссылка): tehpolkremniya1992.djvu
Предыдущая << 1 .. 136 137 138 139 140 141 < 142 > 143 144 145 146 147 148 .. 162 >> Следующая


Для хранения и транспортировки водорода и гелия используют сосуды с более качественной изолящ ей, так как при тех же тепло-притоках из окружающей среды испаряемость этих газов выше из-за низких теплот испарения и температур кипения.

На рис. 169 приведена конструктивная схема аппарата, который состоит из внутреннего сосуда 2, азотного экрана 3 и кожуха 4. Все элементы, кроме медной нижней части азотного экрана, выполнены из коррозионностойкого материала - стали. Внутренний сосуд подвешен в кожухе на горловине диам. 0,025 м с толщиной стенки 3 • IO-4 м, которая в средней части имеет тепловой контакт с азотным экраном, включающим в себя камеру, куда заливают жидкий аэот, и медный экран, находящийся в тепловом контакте с азотной камерой. Он подвешен в кожухе на тонкостенной трубке, расположенной концентрично вокруг горловины гелиевого сосуда, и зафиксирован в нижней части кожуха опорой из стеклопласта АГ-4В.

Изоляция внутреннего сосуда 2 высоковакуумная, изоляция азотного экрана 5 вакуумно-многослойная. Для уменьшения теплопритока излучением от экрана к жидкому гелию наружная поверхность внутреннего сосуда оклеена фольгой из алюминия. В изоляционном пространстве создается вакуум. Для сохранения высокого вакуума в азотной камере и внутреннем сосуде в них засыпают адсорбент - уголь СКТ-4. Горловина внутреннего сосуда закрывается головкой 1 со штуцером газосброса, манометром, предохранительной мембраной и штуцером

3«3
для подсоединения сифона. Испаряемость гелия из таких сосудов составляет ~ 1 % за 1 сут, расход азота 3-5 • IO-3 мэ/сут.

Для передачи сжиженных газов служат криогенные трубопроводы, снабженные высококачественной изоляцией. Трубопроводы изготар-ливают обычно из стали или цветных металлов (меди, латуни, алюминия). Трубы соединяют между собой и присоединяют их к аппаратам с помощью пайки мягким (ПОС-40) или твердым (ПМЦ-54, ПСР-12) припоями, сварки или с помощью фланцевых и ниппельных соединений.

Очень важна компенсация температурных деформаций криогенных трубопроводов, которая может достигать десятков миллиметров. В качестве компенсаторов используют сильфоны, устанавливаемые на внутренней или наружной трубах. Применяют также материалы с малым коэффициентом удлинения для внутреннего трубопровода, например инвар.

Газификация сжиженного газа

При использовании азота, аргона и др. сжиженный газ подвергается газификации на месте потребления. Известны три способа газификации [280].

Метод холодных газификаторов применяется, когда потребление газа более или менее равномерно и требуется среднее давление < 1,0— 1,6 МПа. Жидкий газ переливают из транспортной цистерны в холодный газификатор, отличающийся от танка для хранения тем, что внутренний сосуд и испарители рассчитаны на рабочее давление до 1,6 МПа. Жидкость поступает в расположенный вне изоляции змеевик-испаритель по мере расходования газа, и в сосуде поддерживается с помощью автоматических вентилей или вручную необходимое давление. Газификатор заполняется жидкостью периодически, по мере потребности,

В случае тепловых газификаторов подогрев осуществляется горячей водой или паром, а сосуд помещается в корпус, выдерживающий высокое давление. При этом можно получать газ давлением до 1,65 МПа. .

Схема метода с использованием насоса сжиженного газа показана иа рис. 170. Сжиженный газ подается в хранилище II по трубопроводу I. С помощью насоса III жидкость подается в испаритель IV, где газифицируется при необходимом давлении. Газ поступает к потребителю в линию через регулирующий клапан VII. Ресиверы VIII служат для хранения газа и дополнительной его подачи при кратковременных повышениях расхода. Испаряющийся в хранилище газ собирается в газгольдере V и компрессором VI также подается к потребителю. Испаритель IV нагревают паром или воздухом.

364
Рис. 17V. Схема газификации жидкого газа с использованием насоса

3. ХОЛОДИЛЬНЫЕ МАШИНЫ

Умеренное охлаждение в промышленных условиях достигается путем использования так называемых холодильных машин, при работе которых теплота от охлаждаемого тела отводится к холодильному агенту, переносящему теплоту. Температуру холодильного агента снижают либо с помощью испарения жидкостей с низкой температурой кипения (например, аммиака, фреонов и др.), либо расширения предварительно сжатых газов.

Холодильные агенты (хладагенты) - рабочие вещества паровых холодильных машин, которые в процессе кипения при низких температурах отводят тепло от охлаждаемой среды и передают его за счет последующей конденсации паров охлаждающей среде при относительно высоких температурах. Хладагенты должны иметь низкие температуры кипения при давлениях несколько выше атмосферного, умеренные температуры и давления паров при их конденсации, высокую величину теплоты парообразования при кийеиии при малых удельных объемах пара, низкую температуру затвердевания и высокую критическую температуру.

Кроме того, они должны быть относительно безвредны для человека, негорючи, взрывобезопасны, неагрессивны к металлам (во избежание коррозии).
Предыдущая << 1 .. 136 137 138 139 140 141 < 142 > 143 144 145 146 147 148 .. 162 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed