Спутник гальваника - Зальцман Л.Г.
ISBN 5—335—00257—3
Скачать (прямая ссылка):
Очистка предпотагает разрыв адсорбционных связей между подложкой и загрязнениями без нарушения поверхности самой подложки.
К рас1В0рите..ям которые используются для химической очистки, пр дьявляется следующее требование: высокая чистота й раствор иные загря нения, остающиеся на поверхности должны легко удаляться в вакууме при нагревании до температуры 30—35 °С.
В качестве эффективных растворителей используют деионизированную воду, дистиалированную воду и изо-пропиловыч спирт
Существуют ра личные метод л no.nj чения гонких пленок, но наибо- f; доступными с точки зрения пр [меняемого оборудования и простоты технологии являются электролитическое и химическое осаждение тонких пленок на токонепроводящие материалы В первом случае свойства осажденных пленок зависят от извеаных параметров гальванического процесса Основным требованием к этому процессу яв шется высокая чистота >лектролиы. исключающая np.ic\ !ствие в раствора .101 торонних ирим1сей, которые мп ут адсорбироваться одноьремеин влияя на свойства пленок.
При химическом осаждении в основном получают пленки из никеля, палладия и золота.
Для обеспечения плотного сцепления металла с подложкой в первом и во втором случае ее поверхность активируют в растворе хлористого палладия (табл. 52). Химическими методами осаждения пользуются, если необходимо осадить металл в труднодоступные места деталей, со сложным рельефом поверхности.
Для изготовления тонкопленочных электрических компонентов или отдельных схем необходимо создать геометрический рельеф иа пленке. Рельеф может быть получен либо нанесением лементов на пленку методом осаждения с помощью трафаретов либо селективным удалением осаж енной пленки с подложек при сохранении необходимого рисунка методами травления. В последнем случае участки схемы, защищаемые специальными веществами, например, фоторезистом, остаются на подложке, а незащищенные участки вытравливаются в растворителях.
Хороший травитель должен обладать высокой скоростью травления пленки, без подтравов фоторезиста и поверхности подложек. При всех прочих условиях, определяющих качество подготовки поверхности подложек, технологии нанесения, экспонирования, проявления фоторезиста и других, выбор травителя и режима его работы имеет первостепенное значение для получения геометрических размеров рельефа с заданной точностью.
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
И КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ АППАРАТУРА
ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛЕЙ
Шлифовально-полировальные станки. Наибольшее распространение получили двусторонние полировальные двухшпиндельиые станки моделей 3853 и ЗА-852 с частотой вращения шпинделя от 1420 до 2850 об/мин. Для шлифования применяются шлифовальные круги из хлопчатобумажных длинноволокнистых тканей, фетра и войлока, на рабочую поверхность которых наносится абразивный порошок; для полирования —• наборные круги из этих же материалов. Матирование производят дисковыми крап-цевальиыми щетками из проволоки с деревянным или
Средний диаметр крагевальной щетки составляет 250- -350 мм.
Материал, подверга
Сталь (00,05—С.ЗС Сталь нейзильбер Латунь, медь (00
. Чугун, сталь, бронза
В барабанах шлифуются и полируются мелкие детали, не требующие высокой чистоты обработки.
Эффективность шлифования и полирования в бараба-:олах определяется следующими факторами: и масс обрабатываемых деталей и абразивных
материалов; свойствами
частотой вращения барабана составом и температурой раствора (в случае
о барабана:
Рис. 5. Схема магнитио-гидроабразивного / — электропривод мешалки; 2 — многолопастная мешалка; 3 — сосуд с рабочим раствором; 4 — статор; 5 — корпус б рабаиа; 6 — электропривод перекачки охлаждающего раствора.
мокрой обработки).
Конструктивно барабаны подразделяются на консольные, герметические, перфорированные, специальные. Объем барабанов колеблется от 1 до 300 дм3. Детали, загружаемые в барабаны, должны занимать не более половины объема барабана.
Наибольшее распространение получили перфорированные барабаны (рис. 4). В стенках этих барабанов просвер-
оекы отверстия циаметром ?,5— 1 мм с тагом 6—10 мм, /беспечивающпе свободное поступление рл*твори в барабан при опускании его р ванну.
В .метящее время щя шлифования и полирования применяются специальные магнитно-гидроабразивные барабаны (рис. ¦) В ко пу барабана, i верстав яющнй ci бой статор с трехфазн >й бмогкой, вставлен сосуд из изоляционного материала, плотно прилегающий к стенкам кор-пуса. В сосуд загружаются детали и зяливя! тс я па^очий раствор При включении источника питания электрический
под д.-йс[E ' -л H Doro ici'di концен р pyroi я у тенок сосуда В свободное пространство последнего опу кается многолопастная мешалка. Вращаясь в сторону, противоположную движению деталей, она направляет рабочий раствор (табл. 66) навстречу им.
66. Растворы для шлифования и полирования
Состав
I
,1 ерохов^гость
|ъ
I !родол
обработ-
Ш
лифов
ние
Карборун1 или № 40—25 Щавелевая кисл
