Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка):
1. Персонал должен входить в чистое помещение и покидать его только через зону переодевания. Зона переодевания служит не только местом смены одежды, HO и является буфером между грязным внешним коридором и внутренней чистой производственной зоной. Персонал не должен использовать такие проходы, как аварийные выходы, которые ведут непосредственно из производственного помещения в коридор, так как это приведёт к немедленному загрязнению чистого помещения, а также одежды для чистого помещения.
2. Двери нельзя оставлять открытыми. В противном случае воздух будет перемещаться между смежными участками вследствие общего турбулентного движения и разницы температур (см. рис. 16.1).
3.Не следует резко открывать и закрывать двери, чтобы не допустить перемещения воздушных масс с одного участка на другой.
Рис. 16.1. Двери нельзя оставлять открытыми
Правила поведения в чистых помещениях
199
4. Обычно двери открываются внутрь производственного помещения и удерживаются закрытыми благодаря избыточному давлению в нем. Однако для облегчения передвижения персонала, переносящего различные материалы, некоторые двери можно сделать открывающимися наружу. Для того чтобы гарантировать плавное движение дверей и не оставлять их открытыми, следует оснастить двери доводчиками (рис. 16.2). Двери, не имеющие ручек, предотвращают загрязнение перчаток.
Рис. 16.2. Использование дверного доводчика
5.Проходя воздушный шлюз, персонал должен убедиться, что первая дверь закрыта, и лишь затем открывать следующую дверь. Обычно это обеспечивают электрические блокираторы, установленные между входной и выходной дверью, но при этом следует предусмотреть безопасность эвакуации в случае пожара. Рекомендуется также использовать индикаторные лампочки, которые подают световой сигнал, если дверь закрыта. Аналогичный порядок следует применять при использовании шлюзовых камер.
16.3.2 Поведение персонала
Для того чтобы гарантировать, что персонал не будет являться источником загрязнений в чистом помещении, необходимо принять во внимание следующие рекомендации:
1.В чистом помещении не допускается легкомысленное поведение; движения не должны быть порывистыми. Скорость отделения частиц и бактерий в воз-
200
Технология чистых помещений
дух прямо пропорциональна активности персонала (рис. 16.3). Оператор, не производящий движений, может генерировать примерно 100 ООО частиц размером > 0,5 мкм в минуту. При движении головы, рук и тела генерируется около 1 000 000 таких же частиц в минуту. Во время ходьбы оператор выделяет уже до 5 000 000 частиц размером > 0,5 мкм в минуту.
2. Персонал должен правильно располагаться по отношению к продукции, чтобы исключить попадание на неё загрязнений (рис. 16.4). Нельзя наклоняться над продуктом так, чтобы частицы, волокна или микроорганизмы могли падать на него. Если персонал работает в однонаправленном потоке воздуха, нельзя допускать, чтобы люди располагались между продуктом и источником чистого воздуха (т.е. фильтром), иначе поток частиц с них сможет попасть на продукцию. Метод работы следует спланировать заранее таким образом, чтобы минимизировать возможность подобных загрязнений.
3.Необходимо предусмотреть, каким образом продукт будет перемещаться и как проводить с ним различные операции. Следует предпочесть «бесконтактные» методы, чтобы не допустить переноса загрязнений с защищенных перчатками рук на продукцию. Несмотря на то, что перчатки применяются в чистых помещениях, их всё же надо рассматривать как источник загрязнения (хотя и незначительный). Примером «бесконтактного» метода может служить использование длинных щипцов (но не рук) для того, чтобы брать изделие (рис. 16.5).
Спокойное положение. Движение.
Генерация 100 000 Генерация 1 миллион частиц в минуту частиц в минуту
Ходьба. Генерация до 5 миллионов частиц в минуту
Рис. 16.3. Зависимость генерации частиц от вида движения
Правила поведения в чистых помещениях
201
Рис. 16.4. Нельзя наклоняться над продуктом из-за опасности загрязнения
Рис. 16.5. Щипцы снижают возможность контактного загрязнения
202
Технология чистых помещений
В каждом чистом помещении необходимо применять собственные «бесконтактные» методы, чтобы быть уверенным в том, что продукция не загрязнена. На рис. 16.6 - 16.9 представлены примеры манипуляций с кремниевыми пластинами на участках производства полупроводниковых изделий. Ситуации на этих фотографиях были специально инсценированы, поскольку в обычной практике работы на предприятиях электронной промышленности ручные операции с кремниевыми пластинами исключены, а применяются вакуумные манипуляторы или роботы. На рис. 16.6 показана пластина, которую держит рука без защитной перчатки, а большой палец руки касается поверхности изделия.
Рис. 16.6. Пластина, удерживаемая рукой без перчатки
Загрязнение пластины частицами жира или кожи может привести к катастрофическим результатам. Если пластину держать за ее края (рис. 16.7), то загрязнение будет меньше, но оно все-таки попадет на поверхность изделия.
