Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Химия -> Уайт В. -> "Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации" -> 53

Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.

Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации — М.: Клинрум, 2002. — 304 c.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка): tehnologiyachistihpomesheniy2002.djvu
Предыдущая << 1 .. 47 48 49 50 51 52 < 53 > 54 55 56 57 58 59 .. 98 >> Следующая


Площадь чистого помещения 4 м х 5 м. В состоянии «построенное» чистое помещение должно соответствовать классу ISO 3 при диаметре измеряемых частиц >0,1 мкм.

Расчет производится следующим образом.
Определение концентрации аэрозольных частиц

165

13.5.1 Количество точек пробоотбора

Площадь чистого помещения 4 м х 5 м. Следовательно, число точек пробоотбора равно л/4x5 = 4,47.

Таким образом, минимальное количество точек пробоотбора, округленное до ближайшего целого числа, равно 5. Если необходимо установить класс чистоты в соответствии с федеральным стандартом 209Е, расчет следует проводить иначе. Выбор формул будет зависеть от того, однонаправленный или неоднонаправленный воздушный поток в классифицируемом чистом помещении.

13.5.2 Минимальный объем пробы

Мин. объем (для частиц ____________________20____________________х 1000

диаметром > 0,1 мкм) пред. значение концентрации для данного размера

Предельное значение концентрации для частиц диаметром >0,1 мкм в чистых помещениях класса ISO 3 равно 1000 частиц/м3.

20

Таким образом, минимальный объем = Jqqq х Ю00 = 20 литров

При использовании счетчика частиц со скоростью пробоотбора 28,3 л, т.е. 1 куб.фут/мин, на отбор одной пробы в каждой точке будет требоваться 42 сек. Однако ISO 14644-1 устанавливает время пробоотбора в одной точке, как минимум, равным 1 минуте.

13.5.3 Результаты измерения

Чтобы удовлетворить требованиям, изложенным в стандарте ISO 14644-1, необходимо провести измерения в 5 точках. В табл. 13.1 приводятся результаты измерений.

Таблица 13.1. Результаты измерений количества частиц в чистом помещении

Точка пробоотбора

Количество частиц

> 0,1 мкм в 28 литрах

Количество частиц

> 0,1 мкм в куб. метре

2

3

4

5

12

22

20

15

10

580

612

706

530

553
166

Технология чистых помещений

Приведенные результаты соответствуют одному измерению в каждой точке и длительности пробоотбора в 1 минуту, хотя можно использовать средние значения нескольких замеров в одной точке или результаты более длительных измерений. Все приведенные результаты ниже предельного значения концентрации для частиц диаметром > 0,1 мкм в чистых помещениях класса ISO 3, т.е. 1000 частиц/м3. Таким образом, первая часть требований стандарта ISO удовлетворяется. Если же предельное значение концентрации превышено, то стандарт ISO допускает проведение измерений в дополнительных точках пробоотбора, равномерно распределенных по помещению. Эти результаты являются окончательными для определения класса чистоты.

Поскольку в нашем примере было взято менее 9 проб, то теперь необходимо показать, что верхняя доверительная граница счётной концентрации аэрозольных частиц, рассчитанная при доверительной вероятности 95%, не превышает предельного значения концентрации частиц диаметром >0,1 мкм для класса ISO 3. Это делается следующим образом. Прежде всего, рассчитываются средние арифметические значения концентрации в каждой точке пробоотбора, а затем - среднее арифметическое значение концентрации для всего чистого помещения по формуле

среднее арифметическое _ сумма средних арифметических в каждой точке значение (M) число точек пробоотбора

В данном примере средние арифметические значения в каждой точке соответствуют результатам измерений, поскольку в каждой точке пробоотбора проводилось только одно измерение. Таким образом, среднее арифметическое значение (M) концентрации частиц диаметром > 0,1 мкм можно рассчитать следующим образом:

Среднее арифметическое значение концентрации частиц диаметром > 0,1 мкм (M) =

580 + 612 + 706 + 530 + 553

= ------------------------= 596

Затем, зная среднее арифметическое значение концентрации частиц, равное 596, можно рассчитать стандартное отклонение (standard deviation - s.d.) результата измерений концентрации:

[(580 — 596)2 +(612-596)2 + (706 - 596)2 +(530-596): +(553-596)2 s.d. = ,I----------------------------------------------------------J7i-=

256 + 256 + 12100 + 4356 + 1849 --------------4---------=69,

где 5 в знаменателе соответствует числу точек пробоотбора.
Определение концентрации аэрозольных частиц

167

Теперь рассмотрим верхнюю границу концентрации частиц в воздухе чистого помещения при доверительной вероятности 95%. При расчетах используется коэффициент t, численные значения которого приведены в табл. 13.2. Поскольку количество точек в примере равно 5, выбранное из табл. 13.2 значение коэффициента t равно 2,1.

Таблица 13.2. Величина коэффициента t при доверительной вероятности 95%.

Количество точек пробоотбора 2 3 4 5 6 7-9
Коэффициент t 6,3 2,9 2,4 2,1 2,0 1,9

Верхняя граница концентрации частиц при доверительной вероятности 95% рассчитывается по формуле:

s.d.

M + [коэффициент t X —/=], л/п

где п - количество точек пробоотбора.

Таким образом, верхняя граница концентрации частиц диаметром >0,1 мкм в воздухе чистого помещения при доверительной вероятности 95% будет равна

69

596 + [2,1 X = 661.

Из этих расчетов можно видеть, что вычисленное значение верхней доверительной границы концентрации меньше предельного значения концентрации частиц диаметром >0,1 мкм для класса ISO 3, равного 1000. Следовательно, чистое помещение соответствует классу ISO 3.
Предыдущая << 1 .. 47 48 49 50 51 52 < 53 > 54 55 56 57 58 59 .. 98 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed