Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Химия -> Уайт В. -> "Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации" -> 52

Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации - Уайт В.

Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации — М.: Клинрум, 2002. — 304 c.
ISBN 5-9900044-1-9
Скачать (прямая ссылка): tehnologiyachistihpomesheniy2002.djvu
Предыдущая << 1 .. 46 47 48 49 50 51 < 52 > 53 54 55 56 57 58 .. 98 >> Следующая


13.4 Измерения концентрации частиц (ISO 14644-1)

Класс чистоты помещения определяется предельной концентрацией аэрозольных частиц определённого размера (или размеров), значение которой не должно превышаться в данном состоянии чистого помещения. Эти предельные для данного класса концентрации рассчитываются с помощью уравнения (3.1), приведенного в разделе 3.4 этой книги. Предельные концентрации для различных классов чистоты и для различных размеров частиц приводятся в табл. 3.2, а также на рис. 3.2 в главе 3.

Чтобы определить класс чистоты помещения, необходимо проанализировать такой объём воздуха, который позволит с достоверностью подтвердить, что концентрация аэрозольных частиц в помещении находится в пределах, установленных стандартами. Количество точек пробоотбора должно соответствовать размерам чистого помещения и степени его чистоты. Чем больше и чище помещение, тем больше нужно точек пробоотбора. Объём пробы также должен быть достаточно большим, чтобы обеспечить достоверность результатов. Методы расчёта количества точек пробоотбора и определения минимального объёма пробы определены в стандарте ISO 14644-1 и поясняются ниже.
Определение концентрации аэрозольных частиц

163

Критерии соответствия, которым должно удовлетворять чистое помещение заданного класса, также приводятся в стандарте ISO 14644-1 и указаны ниже. Аналогичные методы используются и в федеральном стандарте США 209Е, а те случаи, когда имеются отклонения от метода ISO, оговорены особо. Разумеется, любой желающий проводить испытание чистого помещения должен приобрести соответствующие стандарты (информация приведена в разделе 4.2.1.3).

13.4.1 Число точек пробоотбора и их расположение

Формула для расчета минимального количества точек пробоотбора приводится в стандарте ISO 14644-1. В соответствии с ней

Nl = л/Л , (13.1)

где Nl - минимальное количество точек пробоотбора (округленное до целого числа1),

А - площадь чистого помещения (или зоны с контролируемой чистотой воздуха) в квадратных метрах.

Стандарт ISO требует, чтобы точки отбора проб равномерно распределялись по всей площади чистого помещения и находились на уровне проведения рабочих операций. Метод расчета количества точек пробоотбора, описанный в федеральном стандарте США 209Е, существенно отличается от стандарта ISO. Расчеты по стандарту 209Е различаются для чистых помещений с однонаправленным и неоднонаправленным потоками воздуха. Для получения более полной информации следует обратиться к тексту федерального стандарта 209Е. Если использовать метод расчета, изложенный в федеральном стандарте 209Е, то количество точек отбора проб получается больше, чем по расчётам в соответствии со стандартом ISO 14644-1. По моему мнению, федеральный стандарт 209Е слишком жесткий, а требования стандарта ISO более приемлемы.

13.4.2 Объем пробы

Перед измерениями следует определить минимальный объем пробы воздуха, который необходимо отобрать в каждой точке пробоотбора. Так как в более чистых помещениях частиц меньше, то в этом случае требуется больший объем пробы, чтобы быть уверенным в том, что полученные результаты находятся в пределах, установленных стандартами для данного класса. В соответствии со стандартом ISO 14644-1 и федеральным стандартом 209Е объем пробы

1 Округление следует проводить до большего целого числа (Прим. ред.).
164

Технология чистых помещений

должен быть достаточно большим для того, чтобы зарегистрировать 20 частиц самого большого из размеров, указанных в таблице классификации чистых помещений для ожидаемого класса чистоты.

Для расчета минимального объема пробы воздуха используется уравнение:

V =|г X 1000,

где V - минимальный объем пробы в одной точке пробоотбора, в литрах,

С - параметр класса чистоты (предельное количество частиц в м3) для самого большого из размеров, указанных в таблице классификации чистых помещений для данного класса чистоты,

20 - допустимое количество частиц, которое может быть зарегистрировано, если концентрация частиц соответствует данному классу чистоты.

В каждой точке можно отобрать одну или более проб. Объем пробы, отбираемой в каждой точке, должен быть не менее двух литров, а минимальное время отбора проб - не менее одной минуты.

13.4.3 Критерии соответствия

В стандарте ISO 14644-1 указано, что чистое помещение соответствует требуемой классификации, если:

1. средняя концентрация частиц в каждой точке измерения ниже предельного значения концентрации, установленного для данного класса;

2. при общем числе точек пробоотбора менее 10 рассчитанная верхняя до верительная граница счётной концентрации аэрозольных частиц в воздухе данного чистого помещения (при доверительной вероятности 95%) ниже предельного значения концентрации, установленного для данного класса.

Федеральный стандарт 209Е устанавливает почти идентичные требования.

*

13.5 Пример измерения в соответствии с ISO 14644-1

Для иллюстрации применения метода, заложенного в стандарте ISO 14644-1, рассмотрим такой пример:
Предыдущая << 1 .. 46 47 48 49 50 51 < 52 > 53 54 55 56 57 58 .. 98 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed