Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Биология -> Гоулдстей Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Том 1" -> 16

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Том 1 - Гоулдстей Дж.

Гоулдстей Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Том 1 — М.: Мир, 1984. — 348 c.
Скачать (прямая ссылка): rastovayaelektronnayamicroskopiya1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 10 11 12 13 14 15 < 16 > 17 18 19 20 21 22 .. 139 >> Следующая

Количественный рентгеновский микроанализ
43
1 мкм
Рис. 7.12. Расчеты электронных траекторий в области взаимодействия для
сферической частицы из алюминия в зависимости от энергии пучка,
выполненные методом Монте-Карло [160].
d, мкм
Рис. 7.13. Приведенная интенсивность /Част//м. обр в зависимости от
диаметра сферической частицы стекла NBS К-309 (15% AI2O3, 40% Si02, 15%
СаО, 15% Fe203, 15% ВаО). Расчеты электронных траекторий выполнены
методом Монте-Карло.
в , град
Рис. 7.14. Приведенная интенсивность /@//о для плоского массивного
образца из железа в зависимости от угла наклона 0. Расчеты электронных
траекторий выполнены методом Монте-Карло. Е0-20 кэВ.
Рис. 7.15. Схематическая диаграмма для сравнения длины пути, на котором
происходит поглощение, в частице с эквивалентной длиной в массивной
мишени.
Количественный рентгеновский микроанализ
45
7.5.1.2. Эффект поглощения
Вследствие размера и формы частицы длина пути, на котором происходит
поглощение рентгеновского излучения, будет отличаться от пути в массивном
образце. Это явление показано схематически на рис. 7.15, где сравниваются
длины путей, на которых происходит поглощение, в сферической частице и в
массивной мишени. Поскольку поглощение экспоненциально зависит от длины
пути [формула (3.43), гл. 3], геометрия частицы может оказывать сильное
влияние на интенсивность выходящего рентгеновского излучения. Имеет смысл
особо отметить два случая.
1. Положение луча. Для частиц, размер которых немного превышает
область взаимодействия, измеряемый спектр может сильно зависеть от
местонахождения точки попадания пучка относительно детектора
рентгеновского излучения, как показано на рис. 7.16. Когда пучок попадает
на частицу со стороны, направленной к детектору (рис. 7.16, положение /),
длина пути, на котором происходит поглощение, минимальна; при этом
эффективно регистрируется полный рентгеновский спектр, включая
низкоэнергетическую часть ниже 3 кэВ (за исключением того, что
поглощается в окне). Если пучок располагается симметрично на вершине
частицы, а угол выхода на детектор большой (рис. 7.16, положение 2),
реализуется ситуация, подобная ситуации с массивной мишенью, и получается
приемлемый спектр. Однако, если луч попадает на сторону частицы,
противоположную детектору, дополнительный путь, на котором происходит
поглощение, будет заметно ослаблять рентгеновское излучение с малой
энергией (рис. 7.16, положение 3). Примеры спектров, иллюстрирующих это,
приведены на рис. 7.17. Следует отметить, что отношение Si/Ca сильно
изменяется при переходе на рис. 7.17, а к рис. 7.17,6, которые
соответствуют спектрам, из-
2
3
Рис. 7.16. Схема, поясняющая различие в пути поглощении, при попадании
пуч-та на переднюю (по отношению к детектору рентгеновского излучения)
сто-эону (1), на вершину (2) а на заднюю поверхность частицы (3).
46
Г лава 7
Рис. 7.17. Рентгеновские спектры, полученные с помощью спектрометра с
дисперсией по энергии, от сферической частицы диаметром 20 мкм эталонного
образца стекла К-411 , (15% MgO, 55% Si02, 15% СаО, 15% FeO).
Пик золота появляется от напыленного по-крытпи. а, в - со стороны,
обращенном к детектору; б, г - с противоположной дс-дектору стороны; 0 -
сравнение наложенных друг па друга спектров 0 и г, приведенных к равной
интенсивности по
меряемым с передней и задней поверхностей гомогенной части-цы из-за
повышенного поглощения низкоэнергетической Si Калинин. При анализе
неизвестных образцов нет смысла использовать относительные высоты пиков
для диагностики сильного поглощения, которое могло бы случайно
встретиться. Сильное поглощение в рентгеновских спектрах, полученных при
помощи
Количественный рентгеновский микроанализ
47
Рис. 7.18. Схематическая диаграмма для иллюстрации влияния размера
частицы и положения детектора или длины пути, на котором происходит
поглощение рентгеновского излучения.
а - детектор с малым углом выхода, пучок падаег симметрично нп частицу; 6
- детектор с большим углом выхода, пучок расположен симметрично на
частице; в - детектор с малым углом выхода, частица возбуждается целиком;
j - детектор с малым углом выхода, размер области взаимодействия меньше
размера частицы.
спектрометра с дисперсией по энергии, можно легко распознать по смещению
резкого спада измеряемой интенсивности в область энергий выше 2 кэВ (До =
20 кэВ), как это видно в спектрах, приведенных на рис. 7.17,6-д. Для
сведения к минимуму эффекта, связанного с положением луча, при анализе
малых частиц можно проводить анализ частицы растром при быстром
сканировании, в результате чего возбуждается спектр при всех положениях
зонда.
Влияние такого дополнительного пути на ослабление спектра усиливается при
обычной геометрии детектора рентгеновско-
48
Глава 7
Днг^етр д.'.гичдра , мвм
Рис. 7.19. Приведенная интенсивность рентгеновского излучения в
зависимости от диаметра частицы для частиц, измеряемых при больших углах
выхода (угол между осями детектора и пучка 47,5°) и малых углах выхода
Предыдущая << 1 .. 10 11 12 13 14 15 < 16 > 17 18 19 20 21 22 .. 139 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed