Научная литература
booksshare.net -> Добавить материал -> Биология -> Гоулдстей Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Том 1" -> 12

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Том 1 - Гоулдстей Дж.

Гоулдстей Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Том 1 — М.: Мир, 1984. — 348 c.
Скачать (прямая ссылка): rastovayaelektronnayamicroskopiya1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 6 7 8 9 10 11 < 12 > 13 14 15 16 17 18 .. 139 >> Следующая

низкоэнергетических рентгеновских линий можно улучшить при использовании
правильно подготовленных (гл. 8) эталонов, близких по составу к образцу.
В качестве примера точности, которую можно ожидать при хороших образцах,
на рис. 7.8 приведены гистограммы, показывающие распределение
относительной погрешности результатов анализа группы из 264 гомогенных,
хорошо исследованных образцов бинарных сплавов металлов. Эти сплавы были
исследо-
'> См. "Практическая растровая электронная микроскопия". - М.: Мир, 1978.
- Прим. ред.
Количественный рентгеновский микроанализ
33
55 (-т | I | |-| I I п Г~) I I I гл г~1 I I ГП ГЛ I I I
Относительная погрешность, %
Рис. 7.8. Гистограмма результатов количественного микрорентгеноспектраль-
ного анализа бинарного сплава при расчете поправки на поглощение по
Филиберу- Данкамбу - Хейнриху. Результаты 264 анализов, выполненных в
Национальном бюро стандартов США [J4J, 148]. Средний ионизационный
потенциал из [14].
ваны на промышленном микроанализаторе с кристалл-дифрак-ционными
спектрометрами в различных режимах работы. Значения относительных
интенсивностей корректировались по теоретической программе трех поправок
COR2 [141]. Некоторые экспериментальные измерения были проведены при
ускоряющих напряжениях выше оптимальных или когда в качестве
аналитических линий использовалось более длинноволновое рентгеновское
излучение, чем в оптимальном случае, например Cul вместо Сия- или AuM
вместо Aul. Результаты, полученные при неоптимальных экспериментальных
условиях, использовались Для того, чтобы показать, что получается, когда
природа объекта не позволяет исследователю достичь f(%)>0,7. Поправка на
поглощение является единственным фактором в уравнении
(7.5), который оператор может легко контролировать; эффекты флуоресценции
связаны с самим образцом, а поправка на атомный номер слабо зависит от
рабочего режима [134]. Единственный способ уменьшить величину поправки на
атомный номер заключается в выборе эталона, средний атомный номер которо-
34
Глава 7
го почти такой же, как у образца. Однако получить такой эталон не всегда
легко.
Одним из путей суммирования результатов рис. 7.8 является использование
вероятностных терминов: с вероятностями 2 : 1 результаты анализа
находятся в пределах 1 отн. % (1% от имеющегося количества), большинство
даже в пределах 2,5 отн. %, а при вероятности 7 : 1 результаты анализа
лежат в пределах 5 отн. %. Эти вероятности являются оценками точности для
почти оптимальных образцов, т. е. правильно подготовленных и
анализируемых при нормальном падении пучка в стандартном рентгеновском
микроанализаторе.
7.3. ЭМПИРИЧЕСКИЙ МЕТОД
В начале 60-х годов метод трех поправок был разработан недостаточно
полно, как в настоящее время. Следовательно, гистограммы, подобные
представленным на рис. 7.8, давали значительно больший разброс ошибок.
Кроме того, применение мини-ЭВМ для обработки данных было менее доступно.
В связи с этим Зиболд и Огилви [146] разработали метод, получивший
название гиперболического или эмпирического метода введения поправок,
впервые опубликованный в 1964 г. В действительности Кастен [120] заложил
основы для разработки этого метода в своей диссертации, где он его
называл "вторым приближением". Это второе приближение гласило, что
истинная весовая доля С и измеренная относительная интенсивность k
связаны таким образом, что график зависимости С от k должен быть
гиперболой.
В работе [146] авторы выразили эту зависимость в виде
Ясно, если можно приготовить образец, гомогенный на микронном уровне и с
известной концентрацией С, то по измеренной величине k можно определить
а. Например, Национальное бюро стандартов США гарантирует, что образец
SRM-480 является гомогенным и содержит 0,215Мо и 0,785W. Значения к,
измеренные при ускоряющем напряжении 20 кВ, составляли 0,143 для Мо и
0,772 для W. Решая уравнение (7.32) относительно а, получаем а =1,649 для
Мо в системе Мо - W и а = 1,078 для W в Мо - W. Эти значения справедливы
только для ускоряющего напряжения 20 кВ. Решение относительно С в случае
бинарного сплава дает
Поэтому образец любого состава системы W - Мо можно проанализировать,
тщательно определяя величину к при ускоряю-
[С/(1- С)][(1 - ?)/?] = а.
(7.32)
C = ka/[ \-\~k (а- 1)].
(7.33)
Количественный рентгеновский микроанализ
35
0,8 -
Рис. 7.9. Графики зависимости k/C от k для серебра в сплавах серебро -
золото.
Анализ проводился по линии . Уско-
ряющее напряжение равно 5. 10. 20. 30, 40 и 48,5 кВ. как отмечено на
рисунке. Данные, получению при 5 кВ, внутренне не согласованы, что
проявляется в отклонении от линейности.
щем напряжении 20 кВ и решая уравнение (7.33) с помощью настольного
калькулятора.
Следует отметить две основные трудности: во-первых, часто нелегко
получить желаемый эталон и, во-вторых, возможность распространения метода
на случай содержания более чем двух компонент не является сразу
очевидной. Эта возможность, а также точность гиперболической
Предыдущая << 1 .. 6 7 8 9 10 11 < 12 > 13 14 15 16 17 18 .. 139 >> Следующая

Реклама

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed

Есть, чем поделиться? Отправьте
материал
нам
Авторские права © 2009 BooksShare.
Все права защищены.
Rambler's Top100

c1c0fc952cf0704ad12d6af2ad3bf47e03017fed